2015 Fiscal Year Annual Research Report
多成分同時測定ワンチップガスセンサのためのセルフアラインメント局所陽極酸化技術
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25289080
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| Research Institution | Tokyo University of Technology |
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Principal Investigator |
木村 康男 東京工科大学, 工学部, 教授 (40312673)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
馬 騰 東北大学, 電気通信研究所, 助教 (10734543)
庭野 道夫 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (20134075)
平野 愛弓 東北大学, 医工学研究科, 准教授 (80339241)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| Keywords | ガスセンサ / 陽極酸化 / 酸化チタン / ナノチューブ |
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| Outline of Annual Research Achievements |
フォトリソグラフィー技術と陽極酸化技術を組み合わせた局所陽極酸化技術を用い、酸化チタンナノチューブを用いた微小ガスセンサを作製した。さらに、作製した微小ガスセンサに触媒金属をナノ粒子として印加電圧波形が制御された電気化学的手法に堆積することにより、特性の異なるガスセンサを作製した。多孔質の表面に触媒金属をナノ粒子として均一に堆積させるために、印加電圧の波形を詳細に検討した結果、核形成頻度や核成長速度が印加電圧によって制御されており、核形成及びその成長によるモデルによって説明可能であることがわかった。また、更なる高感度化のためには、基板からの影響を取り除くことが重要でありナノチューブ膜を自立させることが重要であると考えられるため局所的なガラス基板のウェットエッチング技術の確立を行った。フッ酸、フッ化アンモニウム、硝酸、塩酸をベースとする溶液を用いることにより、無アルカリガラス基板に対して表面のラフニングを抑制して1～2ミクロン/min.のエッチング速度を達成した。そして、ウェットエッチングと機械的な切削と合わせ、厚さ0.7mmの無アルカリガラス基板に対して直径数十ミクロンの貫通孔を形成した。
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| Research Progress Status |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Causes of Carryover |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
27年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(2 results)
