2014 Fiscal Year Annual Research Report
超塑性発泡法を用いた新規機能性セラミックスの創製と特性向上
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25289229
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| Research Institution | Okayama University |
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Principal Investigator |
岸本 昭 岡山大学, 自然科学研究科, 教授 (30211874)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
林 秀考 岡山大学, 自然科学研究科, 准教授 (90164954)
寺西 貴志 岡山大学, 自然科学研究科, 助教 (90598690)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| Keywords | 超塑性 / 多孔体 / 圧力センサー |
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| Outline of Annual Research Achievements |
圧力センサーは，気体，液体，固体など，あらゆる物質間に作用する力量検出素子であり，通常歪みに依存した抵抗変化を示す材料が用いられる．圧力センサーのうち，金属製の歪ゲージは約800℃まで使用可能であるが精度がシリコン製に劣る．シリコン製のものは精度の面で金属製よりも優れているが，シリコンが約300℃で塑性変形するため耐熱限界温度が300℃程度となっている．そこで，300℃以上の耐熱性を有し，高精度な圧力センサーの開発が求められている．当研究室では，セラミック中に導入した気孔の圧力による形状変化を利用したセンサーの開発を行なっている．この気孔導入には当研究室で開発した超塑性発泡法を用いている．この方法では母体が緻密化した後超塑性変形を用いて，気孔を拡張させる．このセンサーは材料がセラミックであるため耐久性，耐食性，耐熱性に優れ，またシンプルな構造のため量産しやすいメリットがある．
試料の高温（300℃）での測定したところ、常温での場合と同様に，試料の抵抗は圧力の増加に伴って減少した．また感度についても1.25×10-08(Pa-1)と，従来のシリコン製センサーよりも高感度を示している．従来のシリコン製センサーが塑性変形を起こす温度においても，高感度のセンサー特性が確認されたことから，今回の試料が高温条件下で使用可能な圧力センサー材料になり得るということが示された．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
低誘電率基板以外に圧力センサーについても着手できた。
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| Strategy for Future Research Activity |
圧力センサーについてさらに研究を深め、他の機能材料をも模索する。
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