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2014 Fiscal Year Research-status Report

電子線誘起蒸着を用いたナノ粒子の選択的固定によるプラズモニック回路の作製

Research Project

Project/Area Number 25390032
Research InstitutionShibaura Institute of Technology

Principal Investigator

下条 雅幸  芝浦工業大学, 工学部, 教授 (00242313)

Project Period (FY) 2013-04-01 – 2016-03-31
Keywordsプラズモニック導波路 / 表面プラズモン共鳴 / 金ナノ粒子 / 電子線
Outline of Annual Research Achievements

表面プラズモン共鳴を利用したナノスケールの光回路や光導波路に関する研究が注目されている。これらプラズモニック回路に関する従来の研究では、AuまたはAgのナノ粒子やナノロッドのコロイド溶液を用いたものが多い。しかし、基板上にナノ粒子を含むコロイド溶液を滴下・分散させた場合、一般に粒子はランダムな配置になってしまい、光導波路などの特定の回路を作ることは困難である。本研究では、有機分子修飾と局所的な電子線照射を利用して、ランダムな配置ではなく、意図的に機能的な配列のナノ粒子構造体を作製し、光導波路や光トランジスターなどのプラズモニック回路の開発につなげようとするものである。
計画している手順は以下の通りである。(1)まず基板上にAuコロイド溶液を滴下し乾燥する。(2)その基板上の所望の粒子に対し電子線を照射することにより、その粒子付近に炭素膜を形成し、これによって粒子を基板に固定する。(3)この基板を溶液中で洗浄することで、固定されていない不要な粒子を基板から除去する。
平成25年度に(2)と(3)はおおむね達成できたが、(1)の段階での粒子の配置が不均一になる問題点があった。平成26年度は、粒子や基板を修飾している有機分子を変えることで、この問題の解決を図った。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

本研究では、(1)基板上にAuナノ粒子を分散し、(2)狙った粒子の表面に吸着している有機分子を電子線で壊すことにより、粒子を基板上に固着し、(3)他の粒子を除去することで目的の配列作製を目指している。
まず、 手順(2)における、狙った粒子に電子線を照射することによる固着について検討した。Auナノ粒子のコロイド溶液をシリコン基板上に滴下・乾燥し、その中の狙った粒子に電子線を照射すると、その粒子が基板に固着することが明らかとなった。このとき、特に有機物を外部から供給する必要はなかった。
つぎに、手順(3)における、不要な粒子の除去について検討した。これは、ナノ粒子コロイド溶液を滴下・乾燥した基板について、水への浸漬、界面活性剤の投入、pH調整、超音波照射の効果について検討した。その結果、溶液をアルカリ性にして超音波照射することにより粒子の99.9%以上を除去できることが分かった。
以上のように、狙った粒子を基板上に固着し、不要な粒子を除去する方法が概ね確立した。しかし、手順(1)において、粒子が密に並んでいないことおよび不均一であることが問題点であった。そこで、本年度は、粒子や基板を修飾している有機分子を変えて、基板上への配置を検討した。その結果、3-glycidoxypropyltrimethoxysilaneと2-aminoethanethiolを使う方法では、完全ではないが部分的に粒子が密に配列することがわかった。また、amino-1-undecanethiolを使う方法では、最密ではないが比較的均一に分布することがわかった。また、どちらの場合も電子線照射により基板に固定することができた。よって、これらの方法を使い分けることにより、目的とする構造を作製できると考えられる。
また、ここまでの成果を査読付き論文として投稿し、掲載可(accept)になっている。

Strategy for Future Research Activity

これまでの研究で、本研究手法の手順(1), (2), (3)において、概ねめどがついた。しかし、固定される範囲は電子線照射範囲よりやや大きいことがある。今後は、精密な構造作製ができるように、手順(2)において照射する電子線のエネルギーや電流量と、粒子が固定される範囲の関係を計測して、最適条件を探す。また、少しチャレンジングではあるが、実際にプラズモニック回路を作製してプラズモンの伝播を計測したいと考えている。

Causes of Carryover

申請段階で必要と考えていた薬品の一部が、研究を進めていくと、不要であることが明らかとなったため、若干の差が生じた。具体的には、粒子を基板に固定する場合に炭素を堆積させる原料が不要であった。

Expenditure Plan for Carryover Budget

次年度は、この額を初期配列を制御するための薬品を増やすことで、使用する計画である。

  • Research Products

    (8 results)

All 2015 2014

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Open Access: 2 results,  Acknowledgement Compliant: 1 results) Presentation (6 results) (of which Invited: 1 results)

  • [Journal Article] Patterning technique for gold nanoparticles on substrates using a focused electron beam2015

    • Author(s)
      T. Noriki, S. Abe, K. Kajikawa, M. Shimojo
    • Journal Title

      Beilstein Journal of Nanotechnology

      Volume: NA Pages: 未定

    • DOI

      n/a

    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Microstructural analysis and transport properties of MoO and MoC nanostructures prepared by focused electron beam induced deposition2014

    • Author(s)
      K. Makise, K. Mitsuishi, M. Shimojo, B. Shinozaki
    • Journal Title

      Scientific Reports

      Volume: 4 Pages: 5740

    • DOI

      10.1038/srep05740

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] Fabrication of nanostructures using focused electron beams2015

    • Author(s)
      M. Shimojo
    • Organizer
      7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015)
    • Place of Presentation
      Nagoya, Japan
    • Year and Date
      2015-03-26 – 2015-03-31
    • Invited
  • [Presentation] 単分子膜を作製したAuナノ粒子への電子線照射の影響2015

    • Author(s)
      乘木貴宏、下条雅幸
    • Organizer
      日本金属学会2015年春期(第156回)講演大会
    • Place of Presentation
      東京
    • Year and Date
      2015-03-18 – 2015-03-20
  • [Presentation] Transmission of light across a gold thin film through gold nanospheres2014

    • Author(s)
      K. Fujii, R. Fujimura, M. Shimojo, K. Kajikawa
    • Organizer
      5th International Topical Meeting on Nanophotonics and Metamaterials (NANOMETA 2015)
    • Place of Presentation
      Seefeld, Austria
    • Year and Date
      2014-12-01 – 2014-12-03
  • [Presentation] 反応性単分子膜を用いたAuナノ粒子配列法における粒径の影響2014

    • Author(s)
      乘木貴宏、下条雅幸
    • Organizer
      日本金属学会2014年秋期(第155回)講演大会
    • Place of Presentation
      名古屋
    • Year and Date
      2014-09-24 – 2014-09-26
  • [Presentation] A patterning technique for gold nanoparticles on silicon substrates using focused electron beams2014

    • Author(s)
      T. Noriki, M. Shimojo
    • Organizer
      5th Workshop on Focused Electron Beam Induced Processing (FEBIP 2014)
    • Place of Presentation
      Frankfurt, Germany
    • Year and Date
      2014-07-22 – 2014-07-24
  • [Presentation] Auナノ粒子の二次元配列と電子線照射による粒子の固定2014

    • Author(s)
      乘木貴宏、阿部翔吾、下条雅幸
    • Organizer
      日本顕微鏡学会第70回記念学術講演会
    • Place of Presentation
      千葉
    • Year and Date
      2014-05-11 – 2014-05-13

URL: 

Published: 2016-05-27  

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