2014 Fiscal Year Research-status Report
マイクロカロリメータEDSによる透過型電子顕微鏡での組成分析の高度化とその応用
| Project/Area Number |
25390086
|
|---|
| Research Institution | National Institute for Materials Science |
|---|
Principal Investigator |
原 徹 独立行政法人物質・材料研究機構, その他部局等, その他 (70238161)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2016-03-31
|
| Keywords | 分析電子顕微鏡 / 組成分析 / 超伝導遷移端センサ / 金属材料 |
|---|
| Outline of Annual Research Achievements |
平成25年度の実施状況報告書にも記載した通り、本課題提案後にJST先端計測【機器開発】に採択され、さらに新しい検出器の開発を実施している。そのため、当初計画より進んだ内容でのスペクトル定量化を計画しているが、装置開発が加わったために計画から若干の遅れが生じている。平成26年度末の段階で、JST課題で単素子TES検出器を新規に導入したSTEMに取り付けて、スペクトルを得るとともにマップ機能を実装している。当初計画では、多素子検出器を搭載した電子顕微鏡を用いる予定であったが、現時点では単素子検出器であり、多素子検出器はJST課題で新型を開発後に搭載することとした。
本課題では「単素子検出器」の装置を利用して実際の材料開発の課題に応用しながら定量化手法の検討を実施している。「応用研究に供しながら性能を向上させる」という点では計画書通りの進捗状況である。集光素子形状および調整の最適化は平成25年度中に実施した通りであるが、さらに検出器ステージの高剛性化や本検出器の配置に適した試料ホルダの導入などにより、より高い機械的安定性と検出効率の向上を実現した。
本課題の成果の一部は、平成26年(2014)9月にプラハで開催された国際顕微鏡学会議(IMC)において発表した。
|
| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
平成25年度の実施状況報告書にも記載した通り、本課題提案後にJST先端計測【機器開発】に採択され、さらに新しい検出器の開発を実施している。そのため、当初計画より進んだ内容でのスペクトル定量化を計画しているが、装置開発が加わったために計画から若干の遅れが生じている。当初計画では、多素子検出器を搭載した電子顕微鏡を用いる予定であったが、現時点では単素子検出器であり、多素子検出器はJST課題で新型を開発後に搭載することとした。そのため、装置的には当初計画と異なるが、内容的には計画と同等の作業が進行しており、新装置導入時に無駄になるものではないので、「おおむね順調」と判断している。
|
| Strategy for Future Research Activity |
平成27年度は、開発した装置専用の部屋が準備出来たので、夏頃に装置を移設する予定である。そのための遅れが生じることが予想されるが、当初計画通り応用研究を実施することが可能と考えている。また、装置開発を並行して行っているが、新規開発の装置への更新と整合して本課題の内容が進められるよう手順を検討しながら実施する。
|
