2014 Fiscal Year Research-status Report
ロールナノインプリント法による金属ナノ構造転写技術の確立
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25420067
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| Research Institution | Tokyo University of Science |
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Principal Investigator |
谷口 淳 東京理科大学, 基礎工学部, 准教授 (40318225)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| Keywords | ナノインプリント / ロールナノインプリント / 金属転写 / モスアイ構造 / ナノ配線 / 反射防止構造 / プラズモン |
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| Outline of Annual Research Achievements |
金属ナノパターンを形成する場合、平面へのパターニングだけでなく、積層構造が必要な場合もある。この積層構造はプラズモンメモリやメタマテリアルなどの光学デバイスに用いることができるが、有効な手法が無いのが現状である。従来は、電子ビーム露光と金属のリフトオフ工程を繰り返して積層を行う手法を用いていたが、この手法では時間がかかりすぎるという欠点がある。そこで、昨年の成果であるモールド底部の金属を光硬化樹脂で掬い取る方式を用いてナノ金属積層構造の作製を試みた。この方法は、まずモールドに金属を蒸着する。この時点で金属は、モールド全体に蒸着している。この後、モールド上部の金属はマイクロコンタクトプリントで取り除き、光硬化樹脂を流し込んで底部の金属を紫外線ナノインプリントにより硬化させ、金属と樹脂一体構造をを掬い取る。これで、樹脂の上に金属ナノパターンが乗っかった構造が作製できた。ここでもう一つ問題となるのが、光硬化樹脂の膜厚を制御することである。そのため、ロールを用いたプレス方式により、樹脂膜厚を約１ミクロンの厚さに制御して、金属ナノパターンの転写に成功した。また、５層積層にも成功し、金では赤色の、銀では青色のプラズモン発色も確認できた。このように、ロールプレスにより、金属ナノパターンの積層構造も作製可能となった。また、反射防止構造（モスアイ構造）においてもこの手法を用い、ガラス基板上へも残膜を薄く均一な状態で転写することが可能となった。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
今年度は、ロールを用いた新方式としてロールプレス方式によるナノ金属パターン積層方法を確立できた。これは、従来では作製に時間がかかったり、作製自体困難なものであるが、本手法により、容易に再現性良く作製ができるようになった。成果もあがっており、順調に進んでいる。
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| Strategy for Future Research Activity |
今後は今年度開発したロールプレス方式を応用し更なるデバイスの作製と、ロールナノインプリントによる連続した金属ナノパターンの形成を行う予定である。
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| Causes of Carryover |
当初見積もりしていた金額より、物品が安く購入できたため。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
次年度は最終年になるので、物品を当初より多く購入し全額使用予定である。
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