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2014 Fiscal Year Research-status Report

超親水性ブラシと表面との相互作用およびナノパーティクル除去メカニズムの解明

Research Project

Project/Area Number 25420112
Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

真田 俊之  静岡大学, 工学研究科, 准教授 (50403978)

Project Period (FY) 2013-04-01 – 2016-03-31
KeywordsPVAブラシ / 洗浄 / 濡れ性
Outline of Annual Research Achievements

超親水性を有するPVAブラシの摩擦特性について、特に、ブラシの粘弾性と対象物の濡れ性に着目して研究を行った。その結果、PVAブラシに設置されているノジュールの役割について説明することができた。すなわち垂直荷重に依存する摩擦力を増加させるために、粘弾性を有するノジュールを衝突させることによって、垂直荷重が非定常的に増加することを示した。それに伴って摩擦力の増加も実験から確認した。なおその垂直力の緩和時間は数秒程度と非常に長いことが明らかになった。またその粘弾性の影響を無視できるように、垂直荷重を十分緩和させた後の摩擦試験によって、PVAブラシは速度の増加に伴い摩擦力が減少することを示した。その際の摩擦係数は0.5から1.0程度であり、PVAブラシと表面は局所的に接触しており、その真実接触面積が時間と共に増加する系であることが示された。すなわち、従来提案されている、流体潤滑に伴うスライディングによる粒子除去モデルは、現実とは異なることが予想される。
また、実機に近いロールブラシで観察された、摩擦力に及ぼす対象物表面の濡れ性の影響は、単一ノジュールの摩擦試験では観察されず、単一ノジュールをロールブラシ先端で衝突させる際にのみ観察される現象であることが示された。ロールブラシの衝突の高速度撮影結果から、この摩擦力の濡れ性依存は、ブラシが衝突する際に、ブラシから出入りする水の影響を強く受けていることが示唆された。この結果より、対象物のゼータ電位によって説明されていたPVAブラシと表面との付着は、対象物表面の濡れ性で整理できることが示唆される。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

ロールブラシおよび単一ノジュールの摩擦特性をある程度解明できたため。

Strategy for Future Research Activity

これまでの研究で明らかにされたブラシの粘弾性とPVAスポンジの構造の関係を明らかにする。特に含まれる水の挙動に着目する。
また、対象物に付着させた不純物の除去性から除去モデルを構築する。

Causes of Carryover

次年度作成予定の粒子付着力測定装置の消耗品に使用するため

Expenditure Plan for Carryover Budget

微細粒子の付着力測定のための消耗品を購入

  • Research Products

    (6 results)

All 2015 2014

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results,  Acknowledgement Compliant: 1 results) Presentation (5 results) (of which Invited: 1 results)

  • [Journal Article] Effect of surface wettability on frictional conditions during scrubbing using polyvinyl acetal brush2015

    • Author(s)
      Y. Hara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    • Journal Title

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      Volume: 4 Pages: 141-148

    • DOI

      10.1149/2.0111505jss

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] PVAロールブラシの摩擦特性に及ぼす表面濡れ性の影響2015

    • Author(s)
      西尾賢哉,原義高,真田俊之,福永明,檜山浩國
    • Organizer
      機械学会関東支部第21期講演会
    • Place of Presentation
      横浜国立大学, 横浜市, 神奈川県, 日本
    • Year and Date
      2015-03-20 – 2015-03-21
  • [Presentation] Measurements of Normal and friction forces during brush cleaning2014

    • Author(s)
      K. Nishio, Y. Hara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    • Organizer
      International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2014)
    • Place of Presentation
      神戸国際会議場, 神戸, 兵庫県, 日本
    • Year and Date
      2014-11-19 – 2014-11-21
  • [Presentation] Viscoelasticity behavior of PVA brush and its impact on friction: A Guideline for Nodule Configuration2014

    • Author(s)
      Y. Hara, T. Sanada, A. Fukunaga, H. Hiyama
    • Organizer
      12th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces(UCPSS2014)
    • Place of Presentation
      Brussels44Center, Brussels, ベルギー王国
    • Year and Date
      2014-09-21 – 2014-09-24
  • [Presentation] PVAブラシ粘弾性と摩擦特性2014

    • Author(s)
      真田俊之,原義高,福永明,檜山浩國
    • Organizer
      応用物理学会シンポジウム
    • Place of Presentation
      北海道大学, 札幌市, 北海道, 日本
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-17
  • [Presentation] Viscoelasticity behavior of PVA brush and its impact on friction2014

    • Author(s)
      T. Sanada, Y. Hara, A. Fukunaga, H. Hiyama
    • Organizer
      19th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
    • Place of Presentation
      Albany Marriott Hotel, Albany, New York, アメリカ合衆国
    • Year and Date
      2014-08-10 – 2014-08-13
    • Invited

URL: 

Published: 2016-05-27  

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