2014 Fiscal Year Research-status Report
次世代半導体デバイスのための不純物分布計測技術の開発
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25420285
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
田中 成泰 名古屋大学, エコトピア科学研究所, 准教授 (70217032)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2017-03-31
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| Keywords | 電子線誘起電流 / EBIC / SEM / シリコン / 不純物濃度 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
今年度は、引き続きEBIC観察実験を行うとともにシミュレーションを行うためのプログラムを構築し、実験条件の検討を行った。昨年度と同様、テスト試料としてはイオン注入により表面付近に濃度分布を導入したp-Siを用いた。試料はface-to-faceで貼り合わせ、機械研磨により楔形に加工した。その後、オーミック電極とショットキー電極を形成し、観察に用いた。昨年度の観察実験ではEBIC電流量が非常に小さくて、明瞭なEBIC像を得ることが出来なかったが、今年度は、試料の研磨方法および電極蒸着の方法を改善することにより大きなEBICを得ることが出来るようになり、不純物濃度分布に対応した明瞭なEBIC像を得ることが出来た。EBICは、不純物濃度だけではなく、膜厚や加速電圧でも変化する。このためEBICより不純物濃度を導出するには、それらの関係を知っておく必要があり、シミュレーション計算のプログラムを作成した。プログラミングは、３次元の有限要素法を用いた解析ツールを用いて行い、楔形の試料構造を想定し、電子ビームによって生じる少数キャリアの拡散による電流を計算出来るようにした。まだ、予備的な計算しか出来ていないが、プログラムの正しさを実験結果と比較し確認したところである。今後は、実験およびシミュレーション計算を引き続き行い、EBICによって高い空間分解能で不純物分布の解析が出来ることを示していく予定である。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
実験および解析は、ほぼ計画通りに進んでいるから。
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| Strategy for Future Research Activity |
不純物濃度の定量的評価および空間分解能の観点で研究を進める。このために本年度はシュミレーションプログラムを作成した。来年度は、実験のほかシミュレーションを併用して、上記課題に取り組む。
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| Causes of Carryover |
研究代表者の他大学への異動が決まり、研究遂行のために電子顕微鏡の移設が必要不可欠となった。電子顕微鏡の移設のための費用を確保するために次年度使用額が生じた。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
電子顕微鏡の移設のため。
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