2014 Fiscal Year Research-status Report
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25420306
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| Research Institution | National Institute for Materials Science |
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Principal Investigator |
吉武 道子 独立行政法人物質・材料研究機構, その他部局等, その他 (70343837)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2016-03-31
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| Keywords | 電気コンタクト / 非破壊 / 可逆 / 極薄膜 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
ヘアピン上に加工したタングステンワイヤーとその頂点に溶融Ａｕ球が溶着されたコンタクトプローブを開発した。溶融前にタングステンワイヤーにセットする金の量を制御することでコンタクトプローブの球のサイズを制御した。制御した球のサイズは、直径で、５００ミクロン～１ミリメートル程度である。
また、この溶融Ａｕ上に、スパッタ蒸着により数十ｎｍ厚のプラチナ膜を蒸着することで、Ａｕ球表面が完全にプラチナで覆われた、接触という観点からはプラチナ球と考えてよいプローブを作製した。
さらに、ヘアピン上に加工したタングステンワイヤーに、銅ワイヤーやアルミニウムワイヤーをセットすることで、頂点に溶融銅球、溶融アルミニウム球が溶着されたコンタクトプローブの作製に成功した。
これらのコンタクトプローブを、マイカ上に２００ｎｍの金を蒸着した試料上にたわみ量が数ｍｍになるように押し付け、コンタクトプローブによる接触を通じた金膜の電気抵抗値をテスターを用いて測定した。その結果、電気抵抗値はゼロの値を示し、コンタクトプローブとテストサンプルであるマイカ上の金との間に接触抵抗ゼロの良好な電気コンタクトが得られていることが判明した。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
1: Research has progressed more than it was originally planned.
Reason
当初、コンタクト球の材質としては、金のみを考えていたが、銅、アルミニウム、蒸着による白金コートと、電気コンタクトに必要とされるほとんどすべての電極材料に対応したコンタクトプローブが作製できることが示されたため。
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| Strategy for Future Research Activity |
当初予定のもう一つの目玉、超高真空中で、電気コンタクトの脱着が可能な機構を開発し、その有用性を実証する。
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Research Products
(4 results)
