• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2014 Fiscal Year Annual Research Report

単一MEMSセンサ素子による近接覚・触覚計測手法

Research Project

Project/Area Number 25540069
Research InstitutionNiigata University

Principal Investigator

寒川 雅之  新潟大学, 自然科学系, 助教 (70403128)

Project Period (FY) 2013-04-01 – 2015-03-31
Keywords触覚センサ / 近接センサ / 複合センシング
Outline of Annual Research Achievements

近接検知手法の有効性検討のため、LED光をプローブとした近接距離検知における温度や環境光の電気インピーダンスへの影響を計測した。その結果、温度に対しては1℃あたり-0.5%程度のインピーダンス変化となり、近接距離にして最大1mmの誤差となる。このため、高温の物体が接近する場合等での温度補正の必要性が示された。また、環境光については、一般の製造工場等での照度基準(500lx)の明滅に対し、-1.2%程度の変化となり、通常の一定照明下での誤差はそれよりはるかに小さいものとなる。
また、光での近接検知では接触直前の検知が困難となる。そこで、電極間静電容量変化により接触状態検知の可能性を検討した。Si基板の代わりに光に対して感度を持たないガラス基板を用いた試料を作製し、PTFE板が試料に接触した状態から離れていくにつれ、インピーダンスは単調に減少した。これは、有限要素法による電界分布解析から、配線間の誘電率に依存した静電容量の減少によるものと示された。
さらに、近接・触覚同時計測用の複合センサを設計した。電極間距離に対するインピーダンスの光強度依存性から、導電率よりも空乏層容量が光に対する感度が大きいことが分かった。また、基板としてはn型よりp型の方が電極の仕事関数との関係から光感度が高いことを明らかにした。これにより、近接・触覚複合検知センサの設計指針を見出した。
研究期間を通じて、Siを用いて作製したMEMSカンチレバーセンサにより、カンチレバー上のひずみゲージの直流抵抗変化により接触力を、高周波でのインピーダンス変化により物体近接を、単一の素子・回路にて複合的に検知する原理について解明し、その設計手法を確立した。今後は、より簡便な計測システムの構築や外乱の影響を排除する手法について検討するとともに、近接・触覚複合計測を応用し、視覚的情報を含めた複合的質感計測法に展開していく。

  • Research Products

    (11 results)

All 2015 2014

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Acknowledgement Compliant: 1 results) Presentation (9 results) (of which Invited: 1 results)

  • [Journal Article] BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討2015

    • Author(s)
      三原雅人, 野沢瑛斗, 安部隆, 奥山雅則, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之
    • Journal Title

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      Volume: 135 Pages: 未定

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 光・歪複合検知MEMSセンサによる近接覚・触覚計測2014

    • Author(s)
      横山輔久登, 金島岳, 奥山雅則, 安部隆, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之
    • Journal Title

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      Volume: 134 Pages: 229-234

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.134.229

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] MEMS多軸触覚センサを用いた定量的質感計測のための基礎検討2015

    • Author(s)
      髙橋賢太, 安部隆, 奥山雅則, 野間春生, 寒川雅之
    • Organizer
      ロボティクス・メカトロニクス講演会2015
    • Place of Presentation
      京都市勧業館「みやこめっせ」
    • Year and Date
      2015-05-17 – 2015-05-19
  • [Presentation] 積層マイクロカンチレバー構造の作製とそれを用いた小型センサデバイス2015

    • Author(s)
      寒川雅之, 安部隆
    • Organizer
      交通・電気鉄道/フィジカルセンサ合同研究会
    • Place of Presentation
      豊橋技術科学大学
    • Year and Date
      2015-03-18 – 2015-03-18
  • [Presentation] 褥瘡管理用装置のためのマイクロメカニカルセンサ2015

    • Author(s)
      寒川雅之, 安部隆, 奥山雅則, 野間春生, 縄田厚
    • Organizer
      日本機械学会北陸信越部 第52期 総会・講演会
    • Place of Presentation
      新潟工科大学
    • Year and Date
      2015-03-07 – 2015-03-07
  • [Presentation] Texture measurement and identification of object surface by MEMS tactile sensor2014

    • Author(s)
      Masayuki Sohgawa, Kosuke Watanabe, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma
    • Organizer
      IEEE Sensors 2014
    • Place of Presentation
      Valencia, Spain
    • Year and Date
      2014-11-03 – 2014-11-05
  • [Presentation] Multimodal Measurement of Proximity and Touch Force by Light-and Strain-Sensitive Multifunctional MEMS Sensor2014

    • Author(s)
      Masayuki Sohgawa, Akito Nozawa, Hokuto Yokoyama, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Takashi Abe, Haruo Noma, Teruaki Azuma
    • Organizer
      IEEE Sensors 2014
    • Place of Presentation
      Valencia, Spain
    • Year and Date
      2014-11-03 – 2014-11-03
  • [Presentation] 近接覚・触覚マルチモーダルセンサの近接検知原理の解析2014

    • Author(s)
      野沢瑛斗, 安部隆, 奥山雅則, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之
    • Organizer
      第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • Place of Presentation
      くにびきメッセ(島根県立産業交流会館)
    • Year and Date
      2014-10-20 – 2014-10-22
  • [Presentation] Multifunctional tactile sensors using MEMS cantilevers2014

    • Author(s)
      Masayuki Sohgawa
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Sapporo, Hokkaido, Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
    • Invited
  • [Presentation] BiFeO3圧電体薄膜を用いたマイクロカンチレバー触覚センサの検討2014

    • Author(s)
      三原雅人, 安部隆, 奥山雅則, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之
    • Organizer
      平成26年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
    • Place of Presentation
      東京大学
    • Year and Date
      2014-05-27 – 2014-05-28
  • [Presentation] 光・ひずみ複合MEMSセンサを用いた近接覚・触覚マルチモーダル計測2014

    • Author(s)
      野沢瑛斗, 横山輔久登, 金島岳, 奥山雅則, 安部隆, 野間春生, 東輝明, 寒川雅之
    • Organizer
      ロボティクス・メカトロニクス講演会2014
    • Place of Presentation
      富山市総合体育館
    • Year and Date
      2014-05-25 – 2014-05-29

URL: 

Published: 2016-06-01  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi