2014 Fiscal Year Annual Research Report
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25600136
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
江島 丈雄 東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (80261478)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
柳原 美廣 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (40174552)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| Keywords | 軟X線顕微鏡 / 多層膜光学系 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
13年度に引き続き、構造照明による超解像を利用した結像光学実験を行うために、構造照明を実現するための照明光学系の作製・評価と、試料を透過した光の位相情報を得るための位相検出装置の作製を行った。
昨年度に設計・開発した照明光学系の反射多層膜が基板から剥離した。照明光学系と同時期に平面基板上に蒸着した反射多層膜は剥離を示さなかったことから、球面基板上で膜の応力が平面基板に比べて強いためと考えられる。研究を推進するため反射材としてCo/C多層膜の使用の代わりに広帯域で反射する反射材料としてAuを選び、照明光学系を作製しなおした。計算から予想される反射率はCo/C多層膜の２桁ほど小さい。
昨年度に完成した透過型回折格子を回転させるための回転機構を備えた５軸型のマニピュレータの設計図面を基に、マニピュレータの作製と評価を行った。高精度のレーザー変位計を用いて移動量、回転量の精度測定を行ったところ、移動量は信号パルスあたり約25nm、回転量は8x10^-4degで移動した。従って測定に必要な高い精度の移動量、回転量を備えたマニピュレータを作製できた。
以上の装置を既設の密着型軟Ⅹ線顕微鏡に組込み、パルス幅150psecのNd:YAGレーザーを用いたレーザー生成プラズマ光源を用いて電顕試料用の200メッシュの透過像の撮像を行い、透過光学系の評価を行った。おおよそ２秒の露光でピクセルあたりのカウント数が６となった。またマウス肝臓の200nm厚の切片試料を使って撮像したか結果、60秒の露光でマウス肝臓の撮像に成功した。
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[Journal Article] Efficient extreme ultraviolet emission from one-dimensional spherical plasmas produced by multiple lasers2014
Author(s)
K. Yoshida, S. Fujioka, T. Higashiguchi, T. Ugomori, N. Tanaka, H. Ohashi, M. Kawasaki, Y. Suzuki, C. Suzuki, K. Tomita, R. Hirose, T. Ejima, M. Nishikino, A. Sunahara, E. Scally, B. Li, T. Yanagida,H. Nishimura, H. Azechi, and G. O’Sullivan
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Journal Title
Appl. Phys. Exp.
Volume: 7
Pages: 086202
DOI
Peer Reviewed
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