2014 Fiscal Year Annual Research Report

軌道角運動量の自由度を持つ新規伝播モード中性子ビームの生成法の開発

Research Project

Project/Area Number	25610080
Research Institution	Japan Atomic Energy Agency
Principal Investigator	久保田正人独立行政法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門量子ビーム応用研究センター, 研究副主幹 (10370074)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	内田正哉埼玉工業大学, 付置研究所, 准教授 (80462662)
Project Period (FY)	2013-04-01 – 2015-03-31
Keywords	微細加工
Outline of Annual Research Achievements	微細加工スピード・駆動モードやビームサイズなどを検討し、集束イオンビーム加工装置 (FIB)により作成したマスクの観察評価を行った。マスクの設計は、大きさが10μmであり、線幅が1μmの湾曲ラインで構成されている。走査型電子顕微鏡 (scanning electron microscope;SEM)を用いて捉えた画像情報から、湾曲ラインどうしの間隔は、設計通り約1μm幅で作成されていることが明らかとなった。一方、3Dレーザー顕微鏡を用いた測定では、SEM観察で一様な高さに見えた湾曲ラインが、局所的には凸凹していることを明らかにした。レーザー光のプローブ径が0.5μm程度のため、正確な掘削深さを正確に評価することは困難であった。特に、深くなるに連れて、奥の方までは、矩形上に堀り進められていないことが、観察像から明らかになった。ラインが２つに分かれる接合部では、表面が荒れ、非常にもろい構造となっていた。要因としては、アスペクト比が1:20と大きいことが挙げられ、掘ったガドリニウムが側面に堆積し、FIBビームによる加工を少なからず阻害しているためであると考えられる。