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2015 Fiscal Year Annual Research Report

オンチップAFMによる単原子摩擦計測の実現

Research Project

Project/Area Number 25630034
Research InstitutionTokyo University of Agriculture and Technology

Principal Investigator

安藤 泰久  東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00344169)

Project Period (FY) 2013-04-01 – 2016-03-31
Keywords温度ドリフト / 摩擦係数 / フォースカーブ / 実効荷重
Outline of Annual Research Achievements

オンチップAFMの性能を評価するため、まずFEM解析によって温度変化に対するプローブとステージ間の変位を求めた。カンチレバーベースをプローブに取り付けるために用いる傾斜ブロックの材質は試作したオンチップAFMと同じアルミニウムを選択した。ブロックと基板及びカンチレバーベースの間にはエポキシを挟んだ。全体に1℃の温度変化を与えた時の相対変位は、カンチレバーの長手方向に0.4 nm、基板と垂直方向に8.5 nmとなった。次に、櫛歯アクチュエータに交流成分を含む電圧を印加し、周波数とステージの振動振幅との関係を測定した。その結果、一次共振ピークとして16.3 kHzという値が得られ,解析値と近い値であることを確認した.
次にオンチップAFMを市販のAFMコントローラで制御して、フォースカーブ測定、摩擦測定を行った。まず、フォースカーブ測定においては、カンチレバーの変位の軌跡から、ステージの動作にヒステリシスが無いことを確認した。摩擦測定においては、friction loop測定によって、実効荷重(外部荷重+凝着力)が2 nN以下で摩擦力測定を行えることを確認した。面走査による摩擦測定では、外部荷重をマイナスにした状態で安定して摩擦試験を行うことが可能であることを確認した。さらに、走査速度を変化させた測定によって、摩擦速度と摩擦力の関係がストライベック曲線と同様な傾向を示すことを明らかにした。

  • Research Products

    (2 results)

All 2016 2015

All Presentation (2 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results)

  • [Presentation] カンチレバー一体型3次元マイクロステージの開発とトライボロジー計測への応用に関する研究2016

    • Author(s)
      高原大地, 安藤泰久
    • Organizer
      第16回 日本機械学会 機素潤滑設計部門講演会
    • Place of Presentation
      グランディア芳泉(福井県あわら市)
    • Year and Date
      2016-04-18 – 2016-04-19
  • [Presentation] Measurement of Diminishing Friction Force under Ultra-light Load Using Atomic Force Microscope2015

    • Author(s)
      Daichi Takahara, Yasuhisa Ando
    • Organizer
      International Tribology Conference, Tokyo 2015
    • Place of Presentation
      東京理科大学(東京都葛飾区)
    • Year and Date
      2015-09-16 – 2015-09-20
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2017-01-06  

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