2014 Fiscal Year Annual Research Report
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25630084
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
芳賀 洋一 東北大学, 医工学研究科, 教授 (00282096)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
石井 賢治 東北大学, その他の研究科, その他 (70422079) [Withdrawn]
松永 忠雄 東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 助教 (00396540)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| Keywords | チューブ形状 / 非平面プロセス / フレキシブル基板 / MEMS（微小電気機械システム）技術 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
非平面フォトファブリケーション技術を用いて温度センサなど各種センサおよび体腔内留置デバイスの内腔への電気的な機能化、流体制御、細径化を目指し、チューブ形状の内面と外面に非平面フォトファブリケーション技術による微細加工を行った。具体的には外径約400μmのポリイミドチューブに電極構造および絶縁層を積層し電気的機能を付加し電気的評価を行うとともに、レーザーアブレーションによりチューブ壁を貫通加工し、内腔と外部をつなぐ構造とした。
さらに、薄肉で柔軟な構造を目指し、気相で成膜可能な生体適合性のポリパラキシリレン樹脂(パリレン)をチューブ壁材料として用い、複数個(8個)の電極と独立した構造を内部に有したポリマー多層チューブを形成した。作成プロセスとして金属ロッド表面に犠牲層を形成し、その上にパリレンを成膜、さらに電極構造などの形成を行い、ポリマー犠牲層をエッチング除去し金属ロッドを抜去しチューブを形成した。
また、流体制御などを目指し、内壁に立体構造をフォトファブリケーションにより一括で形成する目的で、複数の凹面部を形成したセラミック基板内壁へ凸形状を形成し、金属シードレイヤーのスパッタリング後に電解めっきにより内腔へ厚く金属層を形成し、内腔側に突出する金属構造とした。
さらに、内壁に液体、気体を通す構造を形成する目的で複数の凹面部を形成したセラミック基板へフォトファブリケーションにより厚く形成した銅層を犠牲層として形成し、ポリマー層成膜後に銅層をエッチング除去することで、流路構造の形成を行った。
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