2014 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
25630327
|
|---|
| Research Institution | Kyoto University |
|---|
Principal Investigator |
三宅 正男 京都大学, エネルギー科学研究科, 准教授 (60361648)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
平藤 哲司 京都大学, エネルギー科学研究科, 教授 (70208833)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2015-03-31
|
| Keywords | 電析 / めっき |
|---|
| Outline of Annual Research Achievements |
タングステンは難加工性の材料として知られるが、近年、デバイスの小型化や高性能化のため、微細形状化のニーズが高まっている。微細構造形成技術として、電析法の適応が考えられるが、タングステンは水溶液から単体金属として電析できないため、これらの金属の電析技術は十分に確立されていない。本研究では、タングステンを 100 °C 付近で電析する技術の確立を目指し、有機溶媒を電解浴として用いる電析法の開発を行った。
前年度までの研究により、電析浴中に酸素を含む分子が含まれる場合、金属タングステンの電析が困難であることが示唆された。そこで、酸素を含まない分子からなる溶媒を電析浴として用い、金属タングステン電析の可能性を調べた。アセトニトリルを溶媒に用いた場合、塩化タングステンの溶解度が低く、電析には至らなかった。イオン液体を用いた場合には、単体タングステンを電析させることはできなかったが、これまでに報告例のない様々な組成のタングステン合金を電析させることができた。電析物中のタングステン含有率は、電析条件により調整が可能であることを確認した。電析条件の最適化により、密着性が高く、緻密で平滑な合金膜を得ることができた。得られたタングステン合金は、多くの場合、アモルファスであった。いくつかの合金については耐食性試験を行い、タングステンの固溶により、塩化物イオン存在下での耐食性が大幅に向上することが明らかとなった。
|
