• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2014 Fiscal Year Annual Research Report

先進プラズマ活用グラフェンナノリボンの革新的応用開発

Research Project

Project/Area Number 25706028
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

加藤 俊顕  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 講師 (20502082)

Project Period (FY) 2013-04-01 – 2016-03-31
Keywordsグラフェンナノリボン / プラズマCVD / トランジスタ / 集積化 / 合成機構
Outline of Annual Research Achievements

三年計画の二年目にあたる今年度は, 前年度までに明らかにした, グラフェンナノリボン(GNR)合成におけるプラズマ効果に関する研究をさらに発展させ以下の成果を得た.

(1) 前年度までの結果は, プラズマCVDによりNi中に炭素が固溶し, GNR合成に必要不可欠な触媒である“Niナノバー”の高温安定性が改善される可能性を示唆していた. 一方で, Ni中炭素濃度に関する直接的な測定, 及び架橋GNRの析出機構等に関してはまだ不明な点が多く残されていた. そこで, X線光電子分光測定により, Ni中における炭素濃度の深さ分布を測定したところ, 熱CVDではNi表面にわずかに炭素が吸着している程度であるのに対し, プラズマCVDの場合, 表面から深い位置においても10%以上の炭素が存在することが判明した. このことは, 前年度予測したプラズマによる高効率炭素供給の正当性を実証するものである. また, NiーC系の相図を用いて, GNR合成に関する統一的モデルの構築を試みた. 相図を用いることにより, Ni中の炭素濃度上昇に伴い, 固ー液相の相転移温度閾値が上昇することが判明した. これは, プラズマにより高効率で炭素供給が行われたNiがより高い温度耐性を持つ実験結果と一致している. また, 冷却過程においてGNRが析出する場合, グラフェン形成に伴いNi中の炭素濃度が著しく減少することが考えられる. 前述の通り, 低炭素濃度のNiは高温耐性が劣化するため, 不安定な液相に相転移し, 結果としてGNR下部から消失し架橋GNR構造が形成されると説明できる. このように, プラズマCVD中の架橋GNR合成モデルを提唱することに成功した.
(2)上記合成モデルをもとに合成条件を最適化した結果, GNRの合成効率を90%以上に高効率化することに成功し, さらに約400本のGNRを高密度で配列合成したGNRアレーの形成に成功した.

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

今年度の予定では, グラフェンナノリボン集積化に向けたドーピング制御等を実施する予定であった. 一方で, 研究を進めていくにつれ, これらの高集積デバイス実現には多数のグラフェンナノリボンを高効率で基板上に合成する技術が必要不可欠であるという課題を認識するに至った. そこで, 今年度は, ドーピング技術の確立の前段階として, 集積化において必須の合成効率向上という課題に対する実験を行った. 合成モデルの構築, 及びそれに基づく条件最適化の結果, 約400本のグラフェンナノリボンを90%以上の効率で合成することに成功した. この成果は, 今後の集積化デバイス実現に向け非常に大きな成果と言えるため, "おおむね順調に進展している"と判断した次第である.

Strategy for Future Research Activity

今年度実施予定だったドーピングによるグラフェンナノリボントランジスタの伝導特性制御に関する研究を行い, さらに今年度確立した超高効率グラフェンナノリボン合成技術を用いて, 最終目標であるグラフェンナノリボンを用いた集積デバイスの動作実証を行う.

  • Research Products

    (47 results)

All 2015 2014

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results,  Acknowledgement Compliant: 3 results) Presentation (38 results) (of which Invited: 9 results) Book (5 results)

  • [Journal Article] Effect of Ion Impact on Incubation Time of Single-Walled Carbon Nanotubes Grown by Plasma Chemical Vapor Deposition2014

    • Author(s)
      B. Xu, T. Kato, K. Murakoshi, and T. Kaneko
    • Journal Title

      Plasma and Fusion Research: Rapid Communications

      Volume: 9 Pages: 1206075-1-3

    • DOI

      10.1585/pfr.9.1206075

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Improvement of Electrical Device Performances for Graphene Directly Grown on a SiO2 Substrate by Plasma Chemical Vapor Deposition2014

    • Author(s)
      H. Suzuki, T. Kato, and T. Kaneko
    • Journal Title

      Plasma and Fusion Research: Rapid Communications

      Volume: 9 Pages: 1206079-1-3

    • DOI

      10.1585/pfr.9.1206079

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Fabrication of Stable PN Junction Single-Walled Carbon Nanotube Thin Films by Position Selective Cs Plasma Irradiation Method2014

    • Author(s)
      Y. Abiko, T. Kato, R. Hatakeyama, and T. Kaneko
    • Journal Title

      Journal of Physics: Conference Series

      Volume: 518 Pages: 012013-1-5

    • DOI

      10.1088/1742-6596/518/1/012013

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Optical Detection of a Highly Localized Impurity State in Monolayer Tungsten Disulfide2014

    • Author(s)
      T. Kato and T. Kaneko
    • Journal Title

      ACS Nano

      Volume: 8 Pages: 12777-12785

    • DOI

      10.1021/nn5059858

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] Advanced Plasma Processing for Controlled Synthesis of Atomically-Thin2015

    • Author(s)
      T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015/IC-PLANTS2015)
    • Place of Presentation
      Nagoya University (Nagoya, Japan)
    • Year and Date
      2015-03-26 – 2015-03-31
    • Invited
  • [Presentation] CVD synthesis of monolayer transition metal dichalcogenides2015

    • Author(s)
      T. Takahashi, T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      7th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2015/IC-PLANTS2015)
    • Place of Presentation
      Nagoya University (nagoya, Japan)
    • Year and Date
      2015-03-26 – 2015-03-31
  • [Presentation] プラズマCVDによるグラフェンナノリボンの架橋合成機構2015

    • Author(s)
      鈴木 弘朗, 加藤 俊顕, 金子 俊郎
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学(神奈川県)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] Improvement of Growth Yield for Graphene Nanoribbons by Plasma Chemical Vapor Deposition2015

    • Author(s)
      H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko
    • Organizer
      The Joint Symposium of 9th International Symposium on Medical, Bio- and Nano-Electronics, and 6th International Workshop on Nanostructures & Nanoelectronics
    • Place of Presentation
      Tohoku University (Sendai, Japan)
    • Year and Date
      2015-03-02 – 2015-03-04
  • [Presentation] High Purity Small Diameter Single-Walled Carbon Nanotube Synthesized by Precisely-Controlled Pluse Plasma CVD2015

    • Author(s)
      B. Xu, T. Kato, and T. Kaneko
    • Organizer
      The Joint Symposium of 9th International Symposium on Medical, Bio- and Nano-Electronics, and 6th International Workshop on Nanostructures & Nanoelectronics
    • Place of Presentation
      Tohoku University (Sendai, Japan)
    • Year and Date
      2015-03-02 – 2015-03-04
  • [Presentation] 2次元半導体薄膜の構造制御合成と光物性2015

    • Author(s)
      加藤 俊顕 金子 俊郎
    • Organizer
      「東北大学電気通信研究所 平成26年度共同プロジェクト研究発表会」
    • Place of Presentation
      東北大学 (宮城県)
    • Year and Date
      2015-02-23 – 2015-02-23
    • Invited
  • [Presentation] プラズマCVD中グラフェンナノリボンの合成機構2015

    • Author(s)
      鈴木 弘朗, 加藤 俊顕, 金子 俊郎
    • Organizer
      仙台“プラズマフォーラム”平成26年度 東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会
    • Place of Presentation
      東北大学(宮城県)
    • Year and Date
      2015-02-19 – 2015-02-20
  • [Presentation] 単層二硫化タングステンにおける強局在不純物準位の光学的観測2015

    • Author(s)
      加藤 俊顕, 金子 俊郎
    • Organizer
      第3回ナノカーボン研究会
    • Place of Presentation
      高湯温泉旅館玉子湯 (福島県)
    • Year and Date
      2015-02-09 – 2015-02-10
    • Invited
  • [Presentation] Plasma Synthesis and Functionalization of Semiconductor Graphen2015

    • Author(s)
      T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      プラズマ材料科学第153委員会 第119回研究会 「機能化ナノカーボンの実用化プラズマ技術戦略」
    • Place of Presentation
      秋保リゾート・ホテルクレセント(宮城県)
    • Year and Date
      2015-01-30 – 2015-01-30
    • Invited
  • [Presentation] Infrared Solar Cell with Multi Exciton Generation Based on PN Junction Carbon Nanotubes2015

    • Author(s)
      T. Kaneko, T. Akama, T. Kato, R. Hatakeyama
    • Organizer
      第7回NEDO革新国際シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京大学 (東京都)
    • Year and Date
      2015-01-19 – 2015-01-20
  • [Presentation] Pulse Plasma CVD for Narrow Chirality Distribution Growth of Single-Walled Carbon Nanotubes2014

    • Author(s)
      B. Xu, T. Kato, and T. Kaneko
    • Organizer
      第24回日本MRS年次大会
    • Place of Presentation
      横浜市開港記念会館 (神奈川県)
    • Year and Date
      2014-12-10 – 2014-12-12
  • [Presentation] High Yield Synthesis of Graphene Nanoribbon by Plasma CVD2014

    • Author(s)
      H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko
    • Organizer
      第24回日本MRS年次大会
    • Place of Presentation
      横浜市開港記念会館 (神奈川県)
    • Year and Date
      2014-12-10 – 2014-12-12
  • [Presentation] Advanced plasma processing for atomic scale layered-semiconductor materials2014

    • Author(s)
      T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      第24回日本MRS年次大会
    • Place of Presentation
      横浜市開港記念会館 (神奈川県)
    • Year and Date
      2014-12-10 – 2014-12-12
    • Invited
  • [Presentation] プラズマCVD中グラフェンナノリボン合成におけるプラズマ効果2014

    • Author(s)
      鈴木 弘朗, 加藤 俊顕, 金子 俊郎
    • Organizer
      PLASMA CONFERENCE 2014
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県)
    • Year and Date
      2014-11-18 – 2014-11-20
  • [Presentation] 非平衡マイルドプラズマプロセスによるグラフェンの構造制御合成とデバイス応用2014

    • Author(s)
      加藤 俊顕,金子 俊郎
    • Organizer
      PLASMA CONFERENCE 2014
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県)
    • Year and Date
      2014-11-18 – 2014-11-20
    • Invited
  • [Presentation] Novel-Concept Solar Cells Using Plasma-Functionalized SWNTs Thin Films2014

    • Author(s)
      R. Hatakeyama, T. Akama, T. Kato, and T. Kaneko
    • Organizer
      The 5th International Symposium on Plasma Nanoscience (iPlasmaNano-V)
    • Place of Presentation
      Meliá Costa del Sol Hotel (Málaga, Spain)
    • Year and Date
      2014-09-28 – 2014-10-02
    • Invited
  • [Presentation] 半導体原子層物質のプラズマ合成2014

    • Author(s)
      加藤 俊顕,金子 俊郎
    • Organizer
      平成26年度 東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会「微粒子プラズマ物理に基づいた新規ナノ材料創成 」
    • Place of Presentation
      東北大学 (宮城県)
    • Year and Date
      2014-09-25 – 2014-09-26
    • Invited
  • [Presentation] 高配向半導体カーボンナノチューブ薄膜を用いた 太陽電池の創製2014

    • Author(s)
      赤間俊紀, 加藤俊顕, 安彦嘉浩, 畠山力三, 金子俊郎
    • Organizer
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学 (北海道)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] 単層WS2グレインバウンダリーからの特異な発光現象2014

    • Author(s)
      加藤 俊顕,金子 俊郎
    • Organizer
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学 (北海道)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] 架橋グラフェンナノリボンアレイの高校率合成2014

    • Author(s)
      鈴木 弘朗, 加藤 俊顕, 金子 俊郎
    • Organizer
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(北海道)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] プラズマCVD中グラフェンナノリボンの合成機構2014

    • Author(s)
      加藤 俊顕,鈴木 弘朗, 畠山 力三, 金子 俊郎
    • Organizer
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(北海道)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • Invited
  • [Presentation] パルスプラズマCVDによる(6,4)単層カーボンナノチューブの高純度合成2014

    • Author(s)
      許斌,加藤俊顕,金子俊郎
    • Organizer
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(北海道)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] マイルドプラズマによる遷移金属ダイカルコゲナイドの機能化(Functionalization of Transition Metal Dichalcogenides by Mild Plasma Treatment)2014

    • Author(s)
      髙橋 智之, 加藤 俊顕,金子 俊郎
    • Organizer
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(北海道)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] Bound excitons in monolayer tungsten disulfide2014

    • Author(s)
      T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      第47回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      名古屋大学 (愛知県)
    • Year and Date
      2014-09-03 – 2014-09-05
  • [Presentation] Photovoltaic features of densely-arrigned pn junction semiconducting single-walled carbon nanotube filmsd Carbon Nanotube Films2014

    • Author(s)
      T. Akama, T. Kato, Y. Abiko, R. Hatakeyama and T. Kaneko
    • Organizer
      第47回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      名古屋大学 (愛知県)
    • Year and Date
      2014-09-03 – 2014-09-05
  • [Presentation] The growth of high density aligned graphene nanoribbons array from nickel nanobar under rapid heating plasma CVD2014

    • Author(s)
      H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko
    • Organizer
      第47回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      名古屋大学(愛知県)
    • Year and Date
      2014-09-03 – 2014-09-05
  • [Presentation] High yield synthesis of (6,4) single-walled carbon nanotube by pulse plasma CVD2014

    • Author(s)
      B. Xu, T. Kato, T. Kaneko
    • Organizer
      第47回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      名古屋大学(愛知県)
    • Year and Date
      2014-09-03 – 2014-09-05
  • [Presentation] Growth and Mild Plasma Functionalization of Transition Metal Dichalcogenides2014

    • Author(s)
      T. Takahashi, T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      第47回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      名古屋大学(愛知県)
    • Year and Date
      2014-09-03 – 2014-09-05
  • [Presentation] Cs内包半導体カーボンナノチューブを用いた赤外光吸収太陽電池の創製2014

    • Author(s)
      赤間俊紀, 加藤俊顕, 安彦嘉浩, 畠山力三, 金子俊郎
    • Organizer
      第8回プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール
    • Place of Presentation
      国立中央青少年交流の家(静岡県)
    • Year and Date
      2014-08-31 – 2014-09-02
  • [Presentation] マイルドプラズマによる遷移金属ダイカルコゲナイドの合成と機能化2014

    • Author(s)
      髙橋 智之, 加藤 俊顕,金子 俊郎
    • Organizer
      第8回プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール
    • Place of Presentation
      国立中央青少年交流の家(静岡県)
    • Year and Date
      2014-08-31 – 2014-09-02
  • [Presentation] Synthesis of (6,5) enriched single-walled carbon nanotubes with parameter-controlled plasma CVD process2014

    • Author(s)
      B. Xu, T. Kato, T. Kaneko
    • Organizer
      International Union of Materials Research Societies- The IUMRS International Conference in Asia
    • Place of Presentation
      Fukuoka University (Fukuoka, Japan)
    • Year and Date
      2014-08-24 – 2014-08-30
  • [Presentation] Growth and Functionalization of Transition Metal Dichalcogenides2014

    • Author(s)
      T. Takahashi, T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      平成26年度電気関連学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      山形大学(山形県)
    • Year and Date
      2014-08-20 – 2014-08-21
  • [Presentation] Solar Cell Fabrication with Controllably Carrier doped Semiconducting Single-Walled Carbon Nanotube Films2014

    • Author(s)
      赤間俊紀, 加藤俊顕, 安彦嘉浩, 畠山力三, 金子俊郎
    • Organizer
      平成26年度電気関連学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      山形大学(山形県)
    • Year and Date
      2014-08-20 – 2014-08-21
  • [Presentation] Fabrication of infrared solar cell with controllably carrier doped stable semiconducting single-walled carbon nanotube filmss2014

    • Author(s)
      T. Akama, T. Kato, Y. Abiko, R. Hatakeyama and T. Kaneko
    • Organizer
      The Fourteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT14)
    • Place of Presentation
      University of Southern California (Los Angeles, USA)
    • Year and Date
      2014-06-02 – 2014-06-07
  • [Presentation] Photoluminescence study of tungsten disulfide grain boundaries2014

    • Author(s)
      T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      The 15th International Conference on the Science and Application of Nanotubes(NT14)
    • Place of Presentation
      University of Southern California (Los Angeles, USA)
    • Year and Date
      2014-06-02 – 2014-06-07
  • [Presentation] Selectively synthesis of (6,5) and (6,4) enriched SWNTs by pulse plasma CVD2014

    • Author(s)
      B. Xu, T. Kato, M, Murakoshi, T. Kaneko
    • Organizer
      The Fifteenth International Conference on the Science and Application of Nanotube (NT14)
    • Place of Presentation
      University of Southern California (Los Angeles, USA)
    • Year and Date
      2014-06-02 – 2014-06-07
  • [Presentation] Effects of plasma on growth of suspended graphene nanoribbon from nickel nanobar under rapid heating plasma CVD2014

    • Author(s)
      H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko
    • Organizer
      The Fifteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT14)
    • Place of Presentation
      University of Southern California (Los Angeles, USA)
    • Year and Date
      2014-06-02 – 2014-06-07
  • [Presentation] Growth and functionalization of layered transition metal dichalcogenides by controllable mild plasma treatment2014

    • Author(s)
      T. Takahashi, T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      The Fifteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT14)
    • Place of Presentation
      University of Southern California (Los Angeles, USA)
    • Year and Date
      2014-06-02 – 2014-06-07
  • [Book] 電気学会誌2015

    • Author(s)
      加藤俊顕, 金子俊郎
    • Total Pages
      194 (151-153)
    • Publisher
      一般社団法人 電気学会
  • [Book] Frontiers of Graphene and Carbon Nanotubes2015

    • Author(s)
      Toshiaki Kato, Rikizo Hatakeyama, and Toshiro Kaneko
    • Total Pages
      289 (37-52)
    • Publisher
      Springer
  • [Book] Frontiers of Graphene and Carbon Nanotubes2015

    • Author(s)
      Rikizo Hatakeyama, Toshiaki Kato, Yongfeng Li, and Toshiro Kaneko
    • Total Pages
      289 (143-164)
    • Publisher
      Springer
  • [Book] プラズマエレクトロニクス分科会会報2014

    • Author(s)
      加藤俊顕, 畠山力三
    • Total Pages
      90 (9-10)
    • Publisher
      公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
  • [Book] ニューダイヤモンド2014

    • Author(s)
      加藤俊顕, 畠山力三, 金子俊郎
    • Total Pages
      53 (3-5)
    • Publisher
      オーム社

URL: 

Published: 2016-06-01  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi