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2015 Fiscal Year Annual Research Report

先進プラズマ活用グラフェンナノリボンの革新的応用開発

Research Project

Project/Area Number 25706028
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

加藤 俊顕  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 講師 (20502082)

Project Period (FY) 2013-04-01 – 2016-03-31
Keywordsグラフェンナノリボン / プラズマCVD / トランジスタ / 集積化
Outline of Annual Research Achievements

三ヶ年計画の最終年度にあたる今年度は, 架橋グラフェンナノリボンの統一的合成モデル化と大規模集積回路の実現に向けた研究を行い以下の成果を得た.
(1)架橋グラフェンナノリボンの統一合成モデル化
前年度までの研究により, 本手法によるグラフェンナノリボンの合成において, プラズマ反応場におけるニッケルナノバー触媒への炭素の高効率供給が重要であることが判明した. またその後ニッケルナノバーが液体状となりグラフェンナノリボンが析出合成することが明らかとなっていた. 一方で, 最終的に架橋構造のグラフェンナノリボンが形成される理由に関しては未解明のままであった. これに対して, 分子動力学シュミレーション, 及び相図を用いた理論解析を行った結果, グラフェンの析出過程において, ニッケルナノバーが液体状となり, それらがプラトー―レイリー不安定性により液滴に分裂し, その後界面エネルギーの大小関係によりニッケル液滴がグラフェンナノリボン両端方向へ移動することにより, ニッケル粒子を架橋した構造のグラフェンナノリボンが合成されることが判明した. これにより, 本手法で合成されるグラフェンナノリボンの統一的合成モデルを提唱することに成功した.
(2)グラフェンナノリボンの大規模集積回路形成
上記の通り, 本手法による架橋グラフェンナノリボンの合成機構が明らかになった. そこで, この情報をもとにプラズマCVD条件(プラズマ生成電力, プラズマ照射時間, ガス混合比, ガス圧力, 加熱・冷却速度等)の詳細な最適化を行った. その結果, 2x2cm角の基板上一面に1,000,000本以上の架橋グラフェンナノリボンを大規模集積化合成することに世界で初めて成功した. この成果により, 本研究で開発した架橋グラフェンナノリボンを用いた実用デバイス化の可能性が大いに高まったと言える.

Research Progress Status

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Causes of Carryover

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Expenditure Plan for Carryover Budget

27年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (31 results)

All 2016 2015 Other

All Int'l Joint Research (1 results) Journal Article (3 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 2 results,  Acknowledgement Compliant: 2 results,  Open Access: 1 results) Presentation (25 results) (of which Int'l Joint Research: 10 results,  Invited: 4 results) Patent(Industrial Property Rights) (2 results)

  • [Int'l Joint Research] University of Antwerp(ベルギー)

    • Country Name
      BELGIUM
    • Counterpart Institution
      University of Antwerp
  • [Journal Article] Wafer scale fabrication and growth dynamics of suspended graphene nanoribbon arrays2016

    • Author(s)
      Hiroo Suzuki, Toshiro Kaneko, Yasushi Shibuta, Munekazu Ohno, Yuki Maekawa, and Toshiaki Kato
    • Journal Title

      Nature Communications

      Volume: - Pages: -

    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Kinetics of Energy Selective Cs Encapsulation in Single-walled Carbon Nanotubes for Damage-free and Position-selective Doping2015

    • Author(s)
      T. Kato, E. Neyts, Y. Abiko, T. Akama, R. Hatakeyama, and T. Kaneko
    • Journal Title

      The Journal of Physical Chemistry C

      Volume: 119 Pages: 11903-11908

    • DOI

      10.1021/acs.jpcc.5b00300

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Effects of Time Parameter in Pulse Plasma CVD on Narrow-Chirality Distributed growth of Single-Walled Carbon Nanotubes2015

    • Author(s)
      Bin Xu, Toshiaki Kato, Toshiro Kaneko
    • Journal Title

      Proceedings of 9th International Conference on Reactive Plasmas / 68th Gaseous Electronics Conference / 68th Symposium on Plasma Processing(ICRP9/GEC68)

      Volume: - Pages: QR2.00004-1-2

  • [Presentation] マイルドプラズマによる架橋型遷移金属ダイカルコゲナイドデバイスの機能化2016

    • Author(s)
      R. Nagai, T. Takahashi, T. Kato, T. Kaneko
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学(東京都,目黒区)
    • Year and Date
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [Presentation] 数層WSe2ショットキー型太陽電池における光発電特性の高性能化2016

    • Author(s)
      赤間 俊紀,加藤 俊顕,金子 俊郎
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学(東京都,目黒区)
    • Year and Date
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [Presentation] 単層単結晶WS2の広域集積化合成2016

    • Author(s)
      髙橋 智之, 加藤 俊顕,金子 俊郎
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学(東京都,目黒区)
    • Year and Date
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [Presentation] Photovoltaic features of few-layer WSe2 schottky solar cells2016

    • Author(s)
      T. Akama, T. Kato, T. Kaneko
    • Organizer
      第50回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京大学(東京都,文京区)
    • Year and Date
      2016-02-20 – 2016-02-22
  • [Presentation] Large scale synthesis of monolayer and single crystal tungsten disulfide array2016

    • Author(s)
      髙橋 智之, 加藤 俊顕,金子 俊郎
    • Organizer
      第50回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京大学(東京都,文京区)
    • Year and Date
      2016-02-20 – 2016-02-22
  • [Presentation] Plasma nanoscience toward atomic structure control of nanocarbon materials2015

    • Author(s)
      T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      The 9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology, 28th Symposium on Plasma Science for Materials (9th APSPT / 28th SPSM)
    • Place of Presentation
      Nagasaki University (Nagasaki, Japan)
    • Year and Date
      2015-12-12 – 2015-12-15
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Time evolution study of single-walled carbon nanotubes growth during pulse plasma CVD toward narrow chirality distribution2015

    • Author(s)
      B. Xu, T. Kato, and T. Kaneko
    • Organizer
      The 9th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology, 28th Symposium on Plasma Science for Materials (9th APSPT / 28th SPSM)
    • Place of Presentation
      Nagasaki University (Nagasaki, Japan)
    • Year and Date
      2015-12-12 – 2015-12-15
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Mild Plasma Treatment for Modulation of Optoelectrical property of Few-Layer Tungsten Diselenide2015

    • Author(s)
      R. Nagai, T. Kato, T. Takahashi, and T. Kaneko
    • Organizer
      第25回日本MRS年次大会
    • Place of Presentation
      横浜市開港記念会館 (神奈川県,横浜市)
    • Year and Date
      2015-12-08 – 2015-12-10
  • [Presentation] Synthesis and Optoelectrical Applications of Atomically-Thin Semiconductor Nanomaterials2015

    • Author(s)
      T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      6th RIEC-RLE Meeting on Research Collaboration in Photonics
    • Place of Presentation
      東北大学 (宮城県, 仙台市)
    • Year and Date
      2015-10-25 – 2015-10-27
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Effects of Time Parameter in Pulse Plasma CVD on Narrow-Chirality Distributed growth of Single-Walled Carbon Nanotubes2015

    • Author(s)
      B. Xu, T. Kato, and T. Kaneko
    • Organizer
      9th International Conference on Reactive Plasmas / 68th Gaseous Electronics Conference / 68th Symposium on Plasma Processing(ICRP9/GEC68)
    • Place of Presentation
      Hawaii Convention Center (Honolulu, Hawaii, USA)
    • Year and Date
      2015-10-12 – 2015-10-16
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Novel Infrared Solar Cells Using Plasma Processed Single-Walled Carbon Nanotubes2015

    • Author(s)
      T. Kaneko, T. Akama, T. Kato, and R. Hatakeyama
    • Organizer
      Workshop on Nanomaterials for Energy Applications
    • Place of Presentation
      AIST (Tsukuba, Japan)
    • Year and Date
      2015-09-29 – 2015-09-30
    • Invited
  • [Presentation] 単層カーボンナノチューブ/遷移金属ダイカルコゲナイドヘテロ接合太陽電池2015

    • Author(s)
      T. Akama, T. Kato, R. Hatakeyama and T. Kaneko
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場 (愛知県,名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] 単層二硫化タングステンの大面積合成とその合成機構2015

    • Author(s)
      髙橋 智之, 加藤 俊顕,金子 俊郎
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場 (愛知県,名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] Large scale synthesis of densely-aligned suspended graphene nanoribbons array by plasma CVD2015

    • Author(s)
      H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko
    • Organizer
      第49回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      北九州国際会議場 (福岡県,北九州市)
    • Year and Date
      2015-09-07 – 2015-09-09
  • [Presentation] Study of Narrow-Chirality Distributed Single-Walled Carbon Nanotubes Synthesis during Pulse Plasma CVD2015

    • Author(s)
      B. Xu, T. Kato, T. Kaneko
    • Organizer
      第49回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      北九州国際会議場 (福岡県,北九州市)
    • Year and Date
      2015-09-07 – 2015-09-09
  • [Presentation] Functionalization of few-layer tungsten diselenide with mild O2 plasma treatment2015

    • Author(s)
      R. Nagai, T. Kato, T. Takahashi, and T. Kaneko
    • Organizer
      第49回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • Place of Presentation
      北九州国際会議場 (福岡県,北九州市)
    • Year and Date
      2015-09-07 – 2015-09-09
  • [Presentation] マイルドO2プラズマ照射に伴う数層WSe2の光電気特性の変化2015

    • Author(s)
      永井 黎人, 加藤 俊顕, 高橋 智之, 金子 俊郎
    • Organizer
      第9回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • Place of Presentation
      国立中央青少年交流の家 (静岡県,御殿場市)
    • Year and Date
      2015-09-01 – 2015-09-03
  • [Presentation] Mild oxygen plasma treatment for functionalization of multi-layer tungsten diselenide2015

    • Author(s)
      R. Nagai, T. Kato, T. Takahashi, and T. Kaneko
    • Organizer
      平成27年度電気関係学会東北支部連合大会
    • Place of Presentation
      岩手県立大学 (岩手県,滝沢市)
    • Year and Date
      2015-08-27 – 2015-08-28
  • [Presentation] High purity synthesis of narrow-chirality distributed single-walled carbon nanotube and its growth mechanism by pulse plasma CVD2015

    • Author(s)
      B. Xu, T. Kato, and T. Kaneko
    • Organizer
      The Sixteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT15)
    • Place of Presentation
      Nagoya University (Nagoya, Japan)
    • Year and Date
      2015-06-29 – 2015-07-03
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Control of optoelectrical property of few-layer tungsten diselenide with mild O2 plasma treatment2015

    • Author(s)
      R. Nagai, T. Kato, T. Takahashi, and T. Kaneko
    • Organizer
      The Sixteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT15)
    • Place of Presentation
      Nagoya University (Nagoya, Japan)
    • Year and Date
      2015-06-29 – 2015-07-03
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Large area synthesis of monolayer tungsten disulfide and its growth kinetics2015

    • Author(s)
      T. Takahashi, T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      The Sixteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT15)
    • Place of Presentation
      Nagoya University (Nagoya, Japan)
    • Year and Date
      2015-06-29 – 2015-07-03
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Photoluminescence study for highly-localized impurity state in monolayer tungsten disulfide2015

    • Author(s)
      T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      The Sixteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT15)
    • Place of Presentation
      Nagoya University (Nagoya, Japan)
    • Year and Date
      2015-06-29 – 2015-07-03
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Fabrication of densely aligned suspended graphene nanoribbons array by plasma CVD and its growth mechanism2015

    • Author(s)
      H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko
    • Organizer
      The Sixteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT15)
    • Place of Presentation
      Nagoya University (Nagoya, Japan)
    • Year and Date
      2015-06-29 – 2015-07-03
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Performance of solar cell fabricated with Cs encapsulated semiconducting single-walled carbon nanotube films2015

    • Author(s)
      T. Akama, T. Kato, R. Hatakeyama and T. Kaneko
    • Organizer
      The Sixteenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes (NT15)
    • Place of Presentation
      Nagoya University (Nagoya, Japan)
    • Year and Date
      2015-06-29 – 2015-07-03
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Growth mechanism of graphene nanoribbon under plasma CVD2015

    • Author(s)
      T. Kato and T. Kaneko
    • Organizer
      Workshop of carbon nanotubes and graphene at Utokyo
    • Place of Presentation
      東京大学 (東京都, 文京区)
    • Year and Date
      2015-05-13 – 2015-05-13
    • Invited
  • [Patent(Industrial Property Rights)] ショットキー型デバイス2016

    • Inventor(s)
      加藤俊顕, 金子俊郎
    • Industrial Property Rights Holder
      加藤俊顕, 金子俊郎
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      特願2016-30492
    • Filing Date
      2016-02-19
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 遷移金属ダイカルコゲナイドの合成方法2016

    • Inventor(s)
      加藤俊顕, 金子俊郎
    • Industrial Property Rights Holder
      加藤俊顕, 金子俊郎
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      特願2016-30493
    • Filing Date
      2016-02-19

URL: 

Published: 2017-01-06  

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