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2014 Fiscal Year Annual Research Report

ナノ加工によるSi熱電変換デバイスの創製

Research Project

Project/Area Number 25709090
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

野村 政宏  東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (10466857)

Project Period (FY) 2013-04-01 – 2016-03-31
Keywords熱電変換 / フォノニック結晶 / 環境発電
Outline of Annual Research Achievements

低環境負荷なシリコンを用いた熱電変換材料の高性能化を目的とし、ナノサイエンスに立脚したアプローチで取り組んでいる。高性能化の鍵は、電気伝導率を損なわずに、熱伝導率を低下させることであり、熱伝導を担う格子振動の量子であるフォノンの輸送を制御することが目的となる。
当該年度は、単結晶シリコンに300 nm程度の周期をもつフォノニック結晶ナノ構造を形成し、フォノンおよび熱伝導特性について室温および4 Kにおける測定を行った。様々な結晶構造や構造パラメータのフォノニック結晶を作製し、系統的な熱伝導率の評価実験を行うことで、従来のマクロな系で支配的な拡散過程の物理とは全く異なる、ナノ構造に特有の弾道的なフォノン伝導を観測することができた。特に、現在主流のナノワイヤー構造に比べて、高い熱伝導率低減効果があることを示したことは、学術的価値の高い知見となっており論文として出版された。
また、熱電変換デバイスの作製に向けて、安価で大量生産が可能な多結晶シリコン材料についても研究を開始した。本研究の一部は、熱電変換デバイスの研究を行っているドイツのフライブルク大学のPaul教授との共同研究として進めている。n型およびp型多結晶シリコンにフォノニック結晶ナノ構造を形成し、熱伝導特性のみならず電気伝導特性を行った結果、ナノ加工によって3倍程度の性能向上を実現した。この結果から、本研究のアプローチが確実にデバイス性能を向上させるとの確証が得られたため、来年度はデバイス作製を進める。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

本研究は、シリコン熱電変換デバイスの開発を目的としており、当該年度では、熱伝導率測定の高速化、電気伝導率測定法の確立と実施により、ナノ加工によってどの程度熱電変換性能が向上可能かを定量的に評価することができた。本研究で提案するナノ加工によって、シリコンの熱電変換能が、ファーストトライで3倍以上向上することを実証した。この結果は、最終年度のデバイス作製に向けて取り組む価値を保障するものであり、本研究が順調に進んでいると評価した。
また、ナノ構造におけるフォノンおよび熱伝導の理解という基礎物理研究においても、ナノワイヤーとフォノニック結晶中での違いや、スケールの異なるフォノン散乱機構を導入することで効果的な熱伝導率制御を可能にするマルチスケール構造を提案した上で、その有効性を実証するなど、新しい知見や提案を生み出せたことも評価できると考え、本研究は順調に成果を出していると評価した。

Strategy for Future Research Activity

本年度は、引き続き半導体ナノ構造による熱伝導制御を進めるとともに、熱電変換材料にとって重要な電気的性質に対する知見を引き継ぎ、熱電変換性能の定量的評価を行う。半導体ナノ加工によって、未加工の材料に比べてどの程度の性能向上が可能になるかを定量的に評価し、応用可能性を示すことを目指す。
本年度は、昨年度開始した多結晶シリコン材料を中心にフォノニック結晶ナノ構造を作製し、人工結晶構造による熱伝導制御が可能なことを世界に先駆けて示すことを第一の目標とする。そして、熱電変換応用に関しては、スケールの異なるフォノン散乱メカニズムを導入することで、熱フォノンのマルチスケール性に対応した、高い熱伝導率制御効果を発揮する独特の構造の作製を行う。具体的には、n型およびp型の多結晶シリコン薄膜に対して、電子線描画装置で周期300 nm程度の様々な構造パラメータを有するフォノニック結晶構造を形成し、電気伝導率および熱伝導率測定を行う。最も高い熱電変換能を与えるよう、ドープ濃度や結晶構造を最適化する。これらにより、未加工材料よりも飛躍的に熱電変換能を向上させたナノ構造シリコン熱電変換材料を形成し、デバイス化を目指す。

Causes of Carryover

新しく博士研究員を雇用した関係で、物品費から人件費に研究費をまわした関係で、使用額に若干のずれが生じたため。

Expenditure Plan for Carryover Budget

来年度もその博士研究員の雇用を継続するため、その人件費に充てる。

  • Research Products

    (26 results)

All 2015 2014 Other

All Journal Article (6 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 5 results,  Acknowledgement Compliant: 5 results) Presentation (19 results) (of which Invited: 8 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Thermal phonon transport in silicon nanowires and two-dimensional phononic crystal nanostructures2015

    • Author(s)
      M. Nomura, J. Nakagawa, Y. Kage, J. Maire, D. Moser, and O. Paul
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.

      Volume: 106 Pages: 143102

    • DOI

      10.1063/1.4917036

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Thermal conductance of silicon interfaces directly bonded by room-temperature surface activation2015

    • Author(s)
      M. Sakata, T. Oyake, J. Maire, M. Nomura, E. Higurashi, and J. Shiomi
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.

      Volume: 106 Pages: 081603

    • DOI

      10.1063/1.4913675

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Towards heat conduction control by phononic nanostructures2014

    • Author(s)
      M. Nomura and J. Maire
    • Journal Title

      Thermal Science and Engineering

      Volume: 53 Pages: 67

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Mechanism of reduced thermal conduction in fishbone type Si phononic crystal nanostructures2014

    • Author(s)
      M. Nomura and J. Maire
    • Journal Title

      J. of Electron. Matter.

      Volume: 44 Pages: 1426

    • DOI

      10.1007/s11664-014-3387-8

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Reduced thermal conductivities of Si 1D periodic structure and Nanowires2014

    • Author(s)
      J. Maire and M. Nomura
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys

      Volume: 53 Pages: 06JE09

    • DOI

      10.7567/JJAP.53.06JE09

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] ナノ構造化によるコヒーレント熱伝導制御と熱電変換応用2014

    • Author(s)
      野村政宏
    • Journal Title

      固体物理

      Volume: 49 Pages: 1

    • Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] フォノンの波動性を利用した熱伝導制御2015

    • Author(s)
      野村政宏
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • Invited
  • [Presentation] マルチスケールフォノンブロッキングによる熱伝導の低減効果2015

    • Author(s)
      野村政宏, 鹿毛 雄太、中川 純貴、Maire Jeremie、Moser Dominik、Paul Oliver
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] Impact of the phononic structure design on the reduction of thermal conductivity2015

    • Author(s)
      Roman Anufriev and Masahiro Nomura
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] Thermal conductivity reduction mechanism in Si 1D phononic crystals at room temperature2015

    • Author(s)
      Jeremie Maire, Takuma Hori, Junichiro Shiomi, Masahiro Nomura
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] 非対称シリコンナノ構造における熱伝導に関する研究2015

    • Author(s)
      鹿毛 雄太、萩野 春俊、宮崎 康次、Maire Jeremie、野村 政宏
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] 結晶Si二次元フォノニック結晶における熱伝導率の空隙率依存性2015

    • Author(s)
      中川 純貴、鹿毛 雄太、Jeremie Mair、野村 政宏
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] フォノニック結晶の展望2014

    • Author(s)
      野村政宏
    • Organizer
      伝熱学会・特定推進研究課題「ナノスケール伝熱機能発現とその応用への展望」冬の学校
    • Place of Presentation
      大分県別府市
    • Year and Date
      2014-12-12 – 2014-12-12
    • Invited
  • [Presentation] シリコン接合界面の構造と熱コンダクタンスの関係2014

    • Author(s)
      坂田 昌則,小宅 教文, Jeremie Maire, 日暮 栄治, 野村 政宏, 塩見 淳一郎
    • Organizer
      第35回日本熱物性シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京工業大学 大岡山キャンパス
    • Year and Date
      2014-11-22 – 2014-11-24
    • Invited
  • [Presentation] Reduced thermal conductivity in 1D and 2D phononic crystal n4anostructures2014

    • Author(s)
      M. Nomura, J. Maire, Y. Kage, D. Moser, and O. Paul
    • Organizer
      Eurotherrm 103, Nanoscale and Microscale Heat Transfer IV
    • Place of Presentation
      Lyon, France
    • Year and Date
      2014-10-15 – 2014-10-17
  • [Presentation] 強磁性体球形光共振器を用いた磁気光学効果の観測2014

    • Author(s)
      長田有登, 久富隆佑, 野口篤史, 田渕豊, 山崎歴舟, M. Sadgrove, R. Yalla, 野村政宏, 宇佐見康二, 中村泰信
    • Organizer
      日本物理学会
    • Place of Presentation
      中部大学(春日井キャンパス)
    • Year and Date
      2014-09-18 – 2014-09-21
  • [Presentation] 単結晶および多結晶シリコンナノワイヤーの熱伝導特性比較2014

    • Author(s)
      鹿毛雄太,Maire Jeremie,Moser Dominik,Paul Oliver,野村政宏
    • Organizer
      第75会応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学札幌キャンパス(北海道札幌市北区北8条西5丁目)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] Temperature dependence of thermal conductivity for Si nanostructures2014

    • Author(s)
      Jeremie Maire, 野村政宏
    • Organizer
      第75会応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学札幌キャンパス(北海道札幌市北区北8条西5丁目)
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] Thermal conduction control by phononic crystal nanostructures2014

    • Author(s)
      M. Nomura
    • Organizer
      8th US-Japan Joint Seminar on Nanoscale Transport Phenomena
    • Place of Presentation
      Santa Cruz, USA
    • Year and Date
      2014-07-13 – 2014-07-16
    • Invited
  • [Presentation] Thermal conduction engineering by 1D phononic crystal nanostructures2014

    • Author(s)
      M. Nomura
    • Organizer
      International Conference on Thermoelectrics
    • Place of Presentation
      Nashville, USA
    • Year and Date
      2014-07-06 – 2014-07-10
    • Invited
  • [Presentation] Thermal conduction control by phonon-band engineering and application to thermoelectrics2014

    • Author(s)
      M. Nomura
    • Organizer
      Photonic North 2014
    • Place of Presentation
      Montreal, Canada
    • Year and Date
      2014-05-28 – 2014-05-30
    • Invited
  • [Presentation] フォノニックナノ構造による伝熱制御にむけて2014

    • Author(s)
      野村政宏, Jeremie Maire
    • Organizer
      第51回日本伝熱シンポジウム
    • Place of Presentation
      アクトシティ浜松・コングレスセンター(静岡県浜松市)
    • Year and Date
      2014-05-21 – 2014-05-23
    • Invited
  • [Presentation] 焼結シリコン界面の熱コンダクタンス2014

    • Author(s)
      坂田昌則,小宅教文,Jeremie Maire,堀琢磨,野村政宏,塩見淳一郎
    • Organizer
      第51回日本伝熱シンポジウム
    • Place of Presentation
      アクトシティ浜松・コングレスセンター(静岡県浜松市)
    • Year and Date
      2014-05-21 – 2014-05-23
  • [Presentation] Reduced thermal conduction in Si nanowires and phononic crystal nanostructures fabricated using EB lithography2014

    • Author(s)
      M. Nomura and J. Maire
    • Organizer
      The 9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
    • Place of Presentation
      Hawaii, USA
    • Year and Date
      2014-04-13 – 2014-04-16
  • [Presentation] From photonic to phononic - toward heat transfer control by MEMS nanostructures2014

    • Author(s)
      M. Nomura
    • Organizer
      Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS
    • Place of Presentation
      Cannes, France
    • Year and Date
      2014-04-01 – 2014-04-04
    • Invited
  • [Remarks] 東京大学生産技術研究所 野村研究室

    • URL

      http://www.nlab.iis.u-tokyo.ac.jp/index.html

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Published: 2016-06-01  

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