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2015 Fiscal Year Annual Research Report

ナノ加工によるSi熱電変換デバイスの創製

Research Project

Project/Area Number 25709090
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

野村 政宏  東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (10466857)

Project Period (FY) 2013-04-01 – 2016-03-31
Keywordsフォノニクス / フォノニック結晶 / フォノンエンジニアリング / フォノン
Outline of Annual Research Achievements

バルクでは非常に低い熱電変換能にとどまるシリコンをフォノニクスの学理と半導体ナノ加工により高効率熱電変換材料に昇華させ、実用的なバルク性能を有するSi熱電変換デバイスの実現を目指して研究を行った。
本研究では、フォノニック結晶ナノ構造と呼ばれる人工周期構造を100 nm程度の微細周期で作製し、ナノスケールフォノン伝導の物理探求を進め、熱伝導率を低減することで熱電変換能の増強を実証し、性能向上を実現した。
基礎物理では、世界で初めてフォノンの波動性を用いた熱伝導制御に成功し、学会で大きな注目を浴びた。これは、従来の熱伝導制御がフォノンの粒子的描像で記述される世界から、波動性を活用する領域に踏み出す第一歩となり、伝熱工学や固体物理学におけるマイルストーン的成果のひとつであるといえる。
一方、熱電変換材料開発では、周期300 nmの周期円孔配列を有するフォノニック結晶の形成により、多結晶シリコン薄膜の熱電変換性能が3倍に向上することを定量的に示し、初めて性能指数値を報告した。これにより、微細構造導入がどの程度の性能向上を可能にするかの手がかりを与えることができた。これは、ドイツフライブルク大学との共同研究により得られた成果であり、日経産業新聞でも取り上げられた。
以上をまとめると、ナノスケールのフォノン輸送において重要な成果を上げつつ、低環境負
荷なシリコン熱電変換材料の高性能化を行った。来るべきスマート社会化の構築に貢献するエネルギー自立型マイクロセンサーに利用可能なエネルギーハーベスターの候補の一つにナノ加工シリコンがなりえることを示したといえる。

Research Progress Status

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Causes of Carryover

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Expenditure Plan for Carryover Budget

27年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (42 results)

All 2016 2015 Other

All Int'l Joint Research (2 results) Journal Article (13 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results,  Peer Reviewed: 13 results,  Acknowledgement Compliant: 10 results) Presentation (25 results) (of which Int'l Joint Research: 13 results,  Invited: 6 results) Book (1 results) Remarks (1 results)

  • [Int'l Joint Research] フライブルク大学/工学部マイクロシステム工学科/Oliver Paul(ドイツ)

    • Country Name
      GERMANY
    • Counterpart Institution
      フライブルク大学/工学部マイクロシステム工学科/Oliver Paul
  • [Int'l Joint Research] CNRS/CentraleSupélec/Sebastian Volz(フランス)

    • Country Name
      FRANCE
    • Counterpart Institution
      CNRS/CentraleSupélec/Sebastian Volz
  • [Journal Article] Reduction of thermal conductance in two-dimensional phononic crystals by coherent phonon scattering2016

    • Author(s)
      R. Anufriev and M. Nomura
    • Journal Title

      Phys. Rev. B

      Volume: 93 Pages: 045410

    • DOI

      10.1103/PhysRevB.93.045410

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Reduction of thermal conductivity by surface scattering of phonons in periodic silicon nanostructures2016

    • Author(s)
      R. Anufriev, J. Maire and M. Nomura
    • Journal Title

      Phys. Rev. B

      Volume: 93 Pages: 045411

    • DOI

      10.1103/PhysRevB.93.045411

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Heat conduction in nanostructured materials2016

    • Author(s)
      S. Volz, J. Shiomi, M. Nomura, and K. Miyazaki
    • Journal Title

      J. of Therm. Sci. and Technol.

      Volume: 11 Pages: 15-00529

    • DOI

      10.1299/jtst.2016jtst0001

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Control of Phonon Transport by Phononic Crystals and Application to Thermoelectric Materials2016

    • Author(s)
      M. Nomura
    • Journal Title

      Materials Transactions

      Volume: -

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Near-field radiative heat transfer: The heat through the gap2016

    • Author(s)
      M. Nomura
    • Journal Title

      Nature Nanotechnology

      Volume: -

    • DOI

      10.1038/nnano.2016.24

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Crystal structure dependent thermal conductivity in two-dimensional phononic crystal nanostructures2015

    • Author(s)
      J. Nakagawa, Y. Kage, T. Hori, J. Shiomi, and M. Nomura
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.

      Volume: 107 Pages: 023104

    • DOI

      10.1063/1.4926653

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] フォノニック結晶によるフォノン輸送制御と熱電材料への応用2015

    • Author(s)
      野村政宏
    • Journal Title

      日本金属学会誌

      Volume: 79 Pages: 555-561

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] フォトニクスからフォノニクスへ~熱フォノニクスによる熱伝導制御~2015

    • Author(s)
      野村政宏
    • Journal Title

      日本機械学会誌

      Volume: 77 Pages: 7-12

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Thermal conductance boost in phononic crystal nanostructures2015

    • Author(s)
      R. Anufriev and M. Nomura
    • Journal Title

      Phys. Rev. B.

      Volume: 91 Pages: 245417

    • DOI

      10.1103/PhysRevB.91.245417

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Electrical and thermal properties of polycrystalline Si thin films with phononic crystal nanopatterning for thermoelectric applications2015

    • Author(s)
      M. Nomura, Y. Kage, D. Muller, D. Moser, and O. Paul
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.

      Volume: 106 Pages: 223106

    • DOI

      10.1063/1.4922198

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Impeded thermal transport in Si multiscale hierarchical architectures with phononic crystal nanostructures2015

    • Author(s)
      M. Nomura, Y. Kage, J. Nakagawa, T. Hori, J. Maire, J. Shiomi, R. Anufriev, D. Moser, and O. Paul
    • Journal Title

      Phys. Rev. B

      Volume: 91 Pages: 205422

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Phononic band engineering for thermal conduction control and similarity with photonic band engineering2015

    • Author(s)
      M. Nomura
    • Journal Title

      J. of Microsys. Technol.

      Volume: 22 Pages: 473

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Thermal phonon transport in silicon nanowires and two-dimensional phononic crystal nanostructures2015

    • Author(s)
      M. Nomura, J. Nakagawa, Y. Kage, J. Maire, D. Moser, and O. Paul
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.

      Volume: 106 Pages: 143102

    • DOI

      10.1063/1.4917036

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Presentation] Reduction of thermal conductivity in periodic silicon nanostructures2016

    • Author(s)
      R. Anufriev, J. Maire, and M. Nomura
    • Organizer
      Compound Semiconductor Week (CSW) 2016
    • Place of Presentation
      富山(国際会議場)
    • Year and Date
      2016-06-27 – 2016-06-30
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Nanoscale heat transport in single-crystalline Si and amorphous SiGe phononic crystals2016

    • Author(s)
      J. Nakagawa, J. Maire, K. Sawano, and M. Nomura
    • Organizer
      Compound Semiconductor Week (CSW) 2016
    • Place of Presentation
      富山(国際会議場)
    • Year and Date
      2016-06-26 – 2016-06-30
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] フォノニック結晶ナノ構造による熱伝導制御2016

    • Author(s)
      野村 政宏
    • Organizer
      日本物理学会第71回年次大会
    • Place of Presentation
      仙台(東北学院大学泉キャンパス)
    • Year and Date
      2016-03-19 – 2016-03-22
    • Invited
  • [Presentation] TDTR法を用いたテラヘルツ検出用GaAs MEMS両持ち梁構造の評価2016

    • Author(s)
      細野 優, 張 亜, メール ジェレミ, 長井 奈緒美, 肥後 昭男, 中野 義昭, 野村 政宏, 平川 一彦
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京(東京工業大学大岡山キャンパス)
    • Year and Date
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [Presentation] アモルファスSiGeフォノニック結晶ナノ構造の熱伝導2016

    • Author(s)
      中川純貴, Jeremie Maire, 澤野 憲太郎, 野村 政宏
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京(東京工業大学大岡山キャンパス)
    • Year and Date
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [Presentation] フォノニック結晶におけるネック効果による熱伝導率の低減2016

    • Author(s)
      柳澤 亮人, アヌフリエフ ロマン, メール ジェレミ, 野村 政宏
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京(東京工業大学大岡山キャンパス)
    • Year and Date
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [Presentation] Thermal conduction control by thermal phononics and its mechanism2016

    • Author(s)
      Jeremie Maire, Roman Anufriev, Ryoto Yanagisawa, Sebastian Volz, and Masahiro Nomura
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京(東京工業大学大岡山キャンパス)
    • Year and Date
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [Presentation] Crystal structure dependent thermal conductivity in 2D phononic crystals2016

    • Author(s)
      M. Nomura, J. Nakagawa, J. Maire, and A. Roman
    • Organizer
      Pacific Rim Thermal Engineering Conference
    • Place of Presentation
      コナ(アメリカ)
    • Year and Date
      2016-03-14 – 2016-03-18
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Thermal phonon engineering for thermoelectric materials2016

    • Author(s)
      M. Nomura
    • Organizer
      EMN Spring Meeting 2016
    • Place of Presentation
      台北(台湾)
    • Year and Date
      2016-03-08 – 2016-03-10
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Silicon phononic crystals for thermoelectric applications2016

    • Author(s)
      J. Maire, O. Paul and M. Nomura
    • Organizer
      EMN Meeting on Thrmoelectric Materials 2016
    • Place of Presentation
      オーランド(アメリカ)
    • Year and Date
      2016-02-21 – 2016-02-25
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] シリコンフォノニクスと応用への展望2015

    • Author(s)
      野村政宏
    • Organizer
      応用物理学会応用電子物性研究会
    • Place of Presentation
      東京(金沢工業大学大学院 虎ノ門キャンパス)
    • Year and Date
      2015-11-25 – 2015-11-25
    • Invited
  • [Presentation] シリコンフォノニック結晶による熱伝導率チューニングの実現2015

    • Author(s)
      メール ジェレミ,アヌフリエフ ロマン,野村 政宏
    • Organizer
      第 7 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • Place of Presentation
      新潟(朱鷺メッセ)
    • Year and Date
      2015-10-28 – 2015-10-30
  • [Presentation] Heat Transfer in Phononic Crystal Nanostructures and Thermoelectric Applications2015

    • Author(s)
      M. Nomura
    • Organizer
      12th International Conference on Flow Dynamics
    • Place of Presentation
      仙台(国際会議場)
    • Year and Date
      2015-10-27 – 2015-10-29
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] フォノニック結晶ナノパターニングによる多結晶Si薄膜の熱電変換能の増強2015

    • Author(s)
      野村政宏, 鹿毛雄太, David Muller, Dominik Moser, and Oliver Paul
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋(名古屋国際会議場)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] Si二次元フォノニック結晶ナノ構造における熱伝導率の結晶構造依存性2015

    • Author(s)
      中川 純貴, 鹿毛 雄太, Maire Jeremie, 野村政宏
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋(名古屋国際会議場)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] サーモクリスタルを用いた熱伝導制御2015

    • Author(s)
      野村 政宏, Maire Jeremie, Anufriev Roman, 中川 純貴
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋(名古屋国際会議場)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] Thermal conduction control by phononic crystal nanostructures2015

    • Author(s)
      Jeremie Maire, Roman Anufriev, and Masahiro Nomura
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋(名古屋国際会議場)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] 線形弾性理論による一次元フォノニック結晶の熱伝導率解析2015

    • Author(s)
      柳澤 亮人, Roman Anufriev, 野村政宏
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋(名古屋国際会議場)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] Thermal conductivity tuning by disorder in Silicon phononic crystal2015

    • Author(s)
      J. Maire, R. Anufriev, and M. Nomura
    • Organizer
      Phonons 2015
    • Place of Presentation
      ノッティンガム(イギリス)
    • Year and Date
      2015-07-12 – 2015-07-17
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Efficient reduction of thermal conductivity in Si multiscale architecture2015

    • Author(s)
      M. Nomura, Y. Kage, J. Nakagawa, T. Hori, J. Maire, J. Shiomi, D. Moser, and O. Paul
    • Organizer
      34th Annual International Conference on Thermoelectrics
    • Place of Presentation
      ドレスデン(ドイツ)
    • Year and Date
      2015-06-28 – 2015-07-02
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Thermophysical property of poly-Si phononic crystals for thermoelectrics2015

    • Author(s)
      M. Nomura and O. Paul,
    • Organizer
      International Conference on Ceramic Materials and Components for Energy and Environmental Applications
    • Place of Presentation
      バンクーバー(カナダ)
    • Year and Date
      2015-06-14 – 2015-06-19
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Multiple-Scale Phonon Transport Control by Polycrystalline Si Phononic Crystal Nanostructures2015

    • Author(s)
      M. Nomura, Y. Kage, J. Nakagawa, J. Maire, D. Moser, and O. Paul
    • Organizer
      Phononics 2015
    • Place of Presentation
      パリ(フランス)
    • Year and Date
      2015-05-31 – 2015-06-05
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Impact of the Phononic Structure Design on the Reduction of Thermal Conductivity2015

    • Author(s)
      R. Anufriev, J. Maire, and M. Nomura
    • Organizer
      Phononics 2015
    • Place of Presentation
      パリ(フランス)
    • Year and Date
      2015-05-31 – 2015-06-05
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Large reduction in thermal conductivity of polycrystalline Si by phononic patterning2015

    • Author(s)
      Y. Kage, J. Maire, D. Moser, O. Paul, and M. Nomura
    • Organizer
      MRS Spring Meeting
    • Place of Presentation
      サンフランシスコ(アメリカ)
    • Year and Date
      2015-04-06 – 2015-04-10
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Thermal conductivity reduction mechanism in Si 1D phononic crystals at room temperature2015

    • Author(s)
      J. Maire, T. Hori, J. Shiomi, and M. Nomura
    • Organizer
      MRS Spring Meeting
    • Place of Presentation
      サンフランシスコ(アメリカ)
    • Year and Date
      2015-04-06 – 2015-04-10
    • Int'l Joint Research
  • [Book] エネルギーハーベスティングの設計と応用展開2015

    • Author(s)
      桑野博喜、竹内敬治編集 分担執筆:野村政宏
    • Total Pages
      241
    • Publisher
      シーエムシー出版
  • [Remarks] 野村研究室ホームページ

    • URL

      http://www.nlab.iis.u-tokyo.ac.jp/

URL: 

Published: 2017-01-06  

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