2013 Fiscal Year Research-status Report
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25800309
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Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Research Institution | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
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Principal Investigator |
金 載浩 独立行政法人産業技術総合研究所, エネルギー技術研究部門, 主任研究員 (30376595)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2015-03-31
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| Keywords | グラフェン / カーボンナノ材料 / 透明導電膜 / プラズマCVD / 大気圧プラズマ / マイクロ波プラズマ |
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| Research Abstract |
本研究は、大気圧低温プラズマCVD法を用いることにより、グラフェン膜の量産基礎技術を確立することを目的としている。H25年度は、大気圧CVD用のマイクロ波励起プラズマ源の開発と大気圧CVD用実験システムを構築を行った。通常の導波管を代わりにマイクロストリップ線路を用いてマイクロ波回路を構成することにより、広い幅の吹き出し形大気圧プラズマを安定に生成することにも成功した。現在、このプラズマ源を用いてグラフェンの大気圧・低温成膜技術を開発するための実験を順調に進めている。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
H25年度に大気圧における安定にプラズマを生成する技術の開発、大気圧プラズマCVDシステムの構築をしておる。マイクロストリップとガス流路をアレイすることにより大気圧プラズマを大規模化する技術も開発しているので、計画の通りに大面積グラフェン成膜技術を開発するための実験を進めている。
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| Strategy for Future Research Activity |
今後、大気圧低温プラズマによるグラフェン透明導電膜の大面積・連続成膜の基礎技術を確立するとめの研究に取り込む予定である。
具体的には、（１）最適なプラズマCVD条件と基板材料の探索、及び基板表面のCVD前後処理技術の開発を行い、グラフェンの一様な合成技術の開発する。（２）揺動基板ステージを用いてグラフェン連続成膜の基礎技術を確立する。（３）グラフェンの透明導電膜としての膜特性の評価と実用可能性の評価を行う。これらの研究を行い、本研究課題をクリアさせる予定である。
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| Expenditure Plans for the Next FY Research Funding |
消耗品の購入の上、残高として66円が残った。
翌年度分として請求した助成金と合わせて消耗品購入に使用する予定である。
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