2014 Fiscal Year Annual Research Report
色収差のない結像型X線顕微鏡の開発と顕微分光への応用
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26286077
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
松山 智至 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (10423196)
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| Project Period (FY) |
2014-04-01 – 2018-03-31
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| Keywords | 量子ビーム / 応用光学・量子光光学 / X線顕微鏡 / 放射光 / X線ミラー |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究では，長時間にわたって結像システムの性能を安定に保つことができる一体型ミラーシステムの開発を進め，これによってXAFSイメージングや蛍光X線イメージングへの応用を目指している．本年度は，①一体型ミラーの開発，②一体型ミラーの白金コーティング，③結像性能の評価，④フィルターの設計を行った．
①では，合成石英基板に2枚の反射面を持つ一体型ミラーを作製した．粗加工を工夫することで効率的に作製することができた．既存干渉計によって形状を評価したところ2nmの形状精度を達成した．
②では，マグネトロンスパッタによって白金を製膜した．有効領域だけに製膜できるようにマスクを導入した．均一な100nm厚のコーティングを行うことができた．
③では，SPring-8にて吸収コントラストの拡大結像実験を行った．10keVのX線を用いたところ，100nmの空間分解（レーリー分解能）を達成した．本実験は予備実験であるため，来年度に本実験を実施し，本格的に分解能を評価する．
④では，計算によってさまざまなフィルターを設計した．有望ないくつかのフィルターは実際に作製し，耐久性や表面粗さを調べた．フィルターの検討は今後も続けていく．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
一体型ミラーの作製に成功し，予備実験で100nmの空間分解能を達成することができた．
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| Strategy for Future Research Activity |
研究計画通り着実に推進していく．
今後，照明光学系の構築と顕微鏡システムの開発を行う．これを使って試料観察やスペクトロスコピーへの応用に進んでいく．
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| Causes of Carryover |
実験用消耗品を当初想定していたよりも安い金額で購入することができたため．
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
来年度の実験用消耗品費として使用する．
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