2016 Fiscal Year Annual Research Report
Scanning Probe Microscope capable of irradiation of nano-meter scale plasma jet.
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26289016
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| Research Institution | Shizuoka University |
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Principal Investigator |
岩田 太 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (30262794)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
永津 雅章 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (20155948)
荻野 明久 静岡大学, 工学部, 准教授 (90377721)
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| Project Period (FY) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| Keywords | 走査型プローブ顕微鏡 / ナノピペット / ナノ加工 / ナノ計測 / 大気圧プラズマ |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究課題はナノピペット（先端に数十ナノメートルの微細開口を有するキャピラリーガラス管）を用いて，ナノスケールでの大気圧プラズマジェットを照射可能な走査型プローブ顕微鏡システムを開発することである．走査型プローブ顕微鏡により試料表面上に精度よく位置決め制御されたピペットプローブ先端より照射されたプラズマジェットによりナノスケールでの加工分解能を有する表面微細加工を実現する．また本装置のプローブ顕微計測機能を用いてプラズマ照射後の加工痕のその場観察を行い，加工特性を評価する．
28年度は走査型プローブ顕微鏡の複合化によるプラズマ微細加工・観察システムの改良と最適化
に取り組んだ．具体的には27年度までに最適化されたプラズマジェット照射可能なナノピペットをプローブとしたSPMに関して加工精度向上と更なる微細加工を実現した．被加工材料に用いたレジスト膜表面にヘリウムガスのAPPJを照射することでサブマイクロメートルのドット加工やライン加工を実現した．また，プラズマ照射による表面帯電で加工精度が低下してしまう問題に対して，イオナイザーを照射することにより除電しながら実験することで走査型プローブ顕微鏡の制御性を向上させた．この結果，観察やピペット先端の位置決めを高精度に行うことができ，加工精度の向上を実現した．加工パラメータとして，パルス印加電圧やピペット先端―試料表面間距離の依存性を評価した．パルス印加電圧を大きくすることやナノピペット先端を試料表面に近づけることで，加工効率を向上できることを実証した．
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| Research Progress Status |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Causes of Carryover |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(6 results)
