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2016 Fiscal Year Annual Research Report

Low friction properties of graphene films

Research Project

Project/Area Number 26289024
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

崔 ジュン豪  東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (30392632)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 加藤 孝久  東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60152716)
Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Keywordsグラフェン / 摩擦 / プラズマ利用イオン注入法 / 三次元イオン注入
Outline of Annual Research Achievements

(1)プラズマ利用イオン注入成膜法(PBII&D法)を用いた大面積グラフェン膜の合成と層数の制御:平成28年度は、PBII&D法を用いて炭素イオン注入を大面積(50X50mm2)にかつ均一に行うことでグラフェンを合成することに成功した。50X50mm2の面積はサンプルホルダーの面積であり、より大面積のホルダーを使用するとより大面積のグラフェンの合成が可能である。さらに、触媒金属として使用するニッケル膜の膜厚と炭素イオン注入量を制御することで、グラフェンの層数が制御ができることを明らかにした。また、炭素イオン注入深さとニッケル膜の厚さを同時に制御することで、イオン注入後のアニールの際、ニッケル膜の凝集が制御でき、SiO2に基板にグラフェンが直接合成できることを示した。
(2)グラフェンの摩擦特性評価:グラフェンの超潤滑性の解明のため、摩擦特性の評価を以下のとおり行った。①プラズマ改質による異原子修飾:グラフェンの表面にフッ素プラズマ処理を行い、表面にフッ素原子を修飾することで、グラフェンの耐久性が向上することを明らかにした。②摩擦相手材の制御:摩擦相手材として鋼球、異なる構造を有する非晶質炭素膜(PLC、DLC、GLC構造)を用いることで、グラフェンの超潤滑特性に対する摩擦相手材の影響を明らかにした。③摩擦雰囲気の制御:摩擦環境(雰囲気ガスおよび相対湿度)を制御することでグラフェンの超潤滑特性に対する雰囲気ガスの影響を明らかにした。さらに相対湿度を制御することで大気中におけるグラフェンの摩擦が制御できることを明らかにした。
(3)曲面形状物上への炭素イオンの注入:グラフェンを三次元形状物に応用するためには、炭素イオンの三次元イオン注入メカニズムを明らかにする必要があり、異なるスケールの三次元形状物に炭素イオン注入を行い、注入特性を明らかにした。

Research Progress Status

28年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

28年度が最終年度であるため、記入しない。

Causes of Carryover

28年度が最終年度であるため、記入しない。

Expenditure Plan for Carryover Budget

28年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (15 results)

All 2017 2016

All Journal Article (5 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 5 results,  Acknowledgement Compliant: 3 results) Presentation (10 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results)

  • [Journal Article] Effect of Ar+ ion assist on the properties of a-C:H films deposited on a trench2017

    • Author(s)
      Y Hirata, K Onishi, J Choi
    • Journal Title

      Thin Solid Films

      Volume: 631 Pages: 57, 63

    • DOI

      https://doi.org/10.1016/j.tsf.2017.04.011

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Deposition of a-C:H films on inner surface of high-aspect-ratio microchannel2016

    • Author(s)
      Y Hirata, J Choi
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 120 Pages: 65305-1,65305-7

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1063/1.4960694

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] ラマン分光法によるDLC膜の機械特性評価および予測(第2報)―種々の原料ガスを用いてバイポーラPBII&D法により作成したDLC膜―2016

    • Author(s)
      崔埈豪, 日比貴之, 古野晃久, 川口雅弘, 加藤孝久
    • Journal Title

      トライボロジスト

      Volume: 62 Pages: 76, 83

    • DOI

      http://doi.org/10.18914/tribologist.16-00027

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] a-C:H 膜の内部構造と摩擦特性の相関2016

    • Author(s)
      石川功, 崔埈豪
    • Journal Title

      トライボロジスト

      Volume: 62 Pages: 122, 128

    • DOI

      http://doi.org/10.18914/tribologist.16-00021

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Load dependent frictional response of vertically aligned single-walled carbon nanotude films2016

    • Author(s)
      A S Westover, J Choi, K Cui, T Ishikawa, T Inoue, R Xiang, S Chiashi, T Kato, S Maruyama, C L Pint
    • Journal Title

      Scripta Materialia

      Volume: 125 Pages: 63, 67

    • DOI

      https://doi.org/10.1016/j.scriptamat.2016.07.032

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Presentation] グラフェンのマクロスケール摩擦特性に及ぼす相手材の影響2017

    • Author(s)
      松村 健人, 崔 埈豪
    • Organizer
      日本機械学会関東支部第23期総会・講演会
    • Place of Presentation
      東京都葛飾区東京理科大学葛飾キャンパス
    • Year and Date
      2017-03-17 – 2017-03-17
  • [Presentation] プラズマ利用イオン注入法を用いたグラフェンの合成2017

    • Author(s)
      米山 長春, 崔 埈豪
    • Organizer
      日本機械学会関東支部第23期総会・講演会
    • Place of Presentation
      東京都葛飾区東京理科大学葛飾キャンパス
    • Year and Date
      2017-03-17 – 2017-03-17
  • [Presentation] Graphene Synthesis by Methane ion Implantation2016

    • Author(s)
      T. Yoneyama, K. Ishimuro, J. Choi
    • Organizer
      26th Annual Meeting of MRS-Japan 2016
    • Place of Presentation
      Industry & Trade Center, Yokohama
    • Year and Date
      2016-12-20 – 2016-12-20
  • [Presentation] Load-Dependent Frictional Response of Vertically Aligned Single-Walled Carbon Nanotube Surfaces2016

    • Author(s)
      Andrew Westover, Cary Pint, Shigeo Maruyama, Junho Choi
    • Organizer
      Materials Science and Engineering 2016 (MSE2016)
    • Place of Presentation
      Darmstadt University of Technology, Germany
    • Year and Date
      2016-09-27 – 2016-09-27
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Macroscale tribological properties of fluorinated graphene2016

    • Author(s)
      J Choi, K Matsumura
    • Organizer
      20th International Vacuum Congress (IVC-20)
    • Place of Presentation
      Bexco, Busan, Korea
    • Year and Date
      2016-08-25 – 2016-08-26
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Friction Properties of a-C:H Films in a Microstructural Point of View2016

    • Author(s)
      J. Choi, U. Fujita, T. Ishikawa
    • Organizer
      The 8th International Conference on Technological Advances of Thin Films & Surface Coatings (ThinFilms2016)
    • Place of Presentation
      Holiday Inn Atrium, Singapore
    • Year and Date
      2016-07-14 – 2016-07-14
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] マイクロチャネル内面への非晶質炭素膜の成膜2016

    • Author(s)
      平田祐樹, 崔埈豪
    • Organizer
      トライボロジー会議2016春東京
    • Place of Presentation
      東京渋谷区国立オリンピック記念青少年総合センター
    • Year and Date
      2016-05-25 – 2016-05-25
  • [Presentation] a-C:H膜の内部構造と摩擦特性の相関―第1報2016

    • Author(s)
      藤田右京,石川功,崔埈豪
    • Organizer
      トライボロジー会議2016春東京
    • Place of Presentation
      東京渋谷区国立オリンピック記念青少年総合センター
    • Year and Date
      2016-05-24 – 2016-05-24
  • [Presentation] a-C:H膜の内部構造と摩擦特性の相関―第2報2016

    • Author(s)
      石川功,崔埈豪
    • Organizer
      トライボロジー会議2016春東京
    • Place of Presentation
      東京渋谷区国立オリンピック記念青少年総合センター
    • Year and Date
      2016-05-24 – 2016-05-24
  • [Presentation] プラズマ処理により他原子を修飾したグラフェンの摩擦特性に関する研究2016

    • Author(s)
      松村健人, 崔埈豪
    • Organizer
      トライボロジー会議2016春東京
    • Place of Presentation
      東京渋谷区国立オリンピック記念青少年総合センター
    • Year and Date
      2016-05-23 – 2016-05-23

URL: 

Published: 2018-01-16  

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