2015 Fiscal Year Annual Research Report
テラヘルツ周波数領域二重変調型エリプソメータ及び複合偏光解析手法の開発
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26289066
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| Research Institution | The University of Tokushima |
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Principal Investigator |
岩田 哲郎 徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 (50304548)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
安井 武史 徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 (70314408)
水谷 康弘 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (40374152)
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| Project Period (FY) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| Keywords | テラヘルツ / エリプソメータ / 膜厚測定 / 塗装膜 / 薄膜 / 光計測 / 分光計測 / 幾何学的位相 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
「二重変調タンデムロックイン検出方式のテラヘルツ(THz）周波数領域エリプソメータ」の提案と製作，及び評価を行うことが最大の目標である．それによって，通常の可視・紫外及び赤外波長域では不透明なため，測定が全く行えない工業材料や生体関連試料の精密評価が行えるようにする．さらに，深さ方向の膜厚分布や複素屈折率スペクトルの取得が非破壊かつ同時に行えるようにする．本年度は，目的とした装置をほぼ完成させ，一層の塗装膜の測定が可能であることを示した．さらに二層膜の測定の可能性も示した．また，THz周波数領域での幾何学的位相の直接測定が可能性について検討した．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
当初の計画通り，「二重変調方式タンデムロックイン検出方式のテラヘルツ(THz）周波数領域エリプソメータ」を完成させた．さらに塗装膜の測定を実施した．また，THz周波数領域での幾何学的位相の直接測定が可能性の検討を行った．
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| Strategy for Future Research Activity |
金属基板上に設けた周期的な右ネジ穴，及び左ネジ穴構造から構成される簡易的なメタマテリアルなキラル後続を作成し，テラヘルツ周波数領域エリプソメータでその測定を試みる．さらに，光学系にマイナーチェンジを施し，テラヘルツ周波数領域において，幾何学的位相の周波数依存性の直接測定を初めて試みる．
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| Causes of Carryover |
研究の過程において，金属平面上に設けたキラルメタマテリアルの測定が，テラヘルツ周波数領域で可能であることを見出した．そこで，それによって生じる幾何学的位相の周波数依存性の直接測定の確認実験を集中的に行った．結果として，高周波ロックインアンプの購入時期がずれこみ，それに付随して使用する高精度パルス発生器と遅延発生器の購入が先送りとなっってしまったため．
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
当初の計画に戻り，高精度パルス発生器と遅延発生器を早急に購入し，測定装置のハード的な完成度を高める予定である．一方で，幾何学的位相の周波数依存性の直接測定の実験もさらに進める予定である．
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