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2016 Fiscal Year Annual Research Report

Development of memory diode and its application to densest array memory

Research Project

Project/Area Number 26289099
Research InstitutionTokyo University of Agriculture and Technology

Principal Investigator

須田 良幸  東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10226582)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 塚本 貴広  東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (50640942)
Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Keywords半導体メモリ / 不揮発性メモリ / 抵抗変化型メモリ / PNダイオード / クロスポイント型配列 / SiC / 界面準位
Outline of Annual Research Achievements

本研究は研究代表者が初めて提案実証した、現在の3端子メモリより高密度化が可能な2端子で動作し、且つ、メモリ素子にダイオード特性が要請される理論的に最密なクロスポイント配列が実現可能な、ダイオード特性とメモリ機能を併せ持つ、新概念の「pnメモリダイオード」について、動作原理の探索と、材料と構造と製造プロセスとの相関の解析と最適化に関する研究を進めた。このメモリは金属(M)/p-Cu2O/電子捕獲層/n-SiC/n-Si/金属(M)の基本構造から成る。電子捕獲層にAlOxを用いて探索した結果、Al2O3の完全酸化膜が形成されていて且つ薄い方が特性が良く、300万回の良好なエンデュランス(スイッチング)特性を達成した。また、電子捕獲層にSiCの酸化膜を用いていたが、酸化度と酸化膜厚を独立に制御できるリアクティブスパッタ法を導入し、SiOx層の酸化度と酸化膜厚の独立制御を可能とした。この方法で、電子捕獲層としてSiOx層を形成した。形成後のアニールによって、上層にSiO2完全酸化膜を形成した場合に300万回の良好なエンデュランス特性を得た。さらに、電子捕獲層としてSiNxを用いることを検討した。この形成にリアクティブスパッタ法を導入し、SiNx層の窒化度と窒化膜厚の独立制御を可能とした。この方法で、電子捕獲層としてSiNx層を形成した。その結果、30万回の良好なエンデュランス特性を得た。以上、本メモリの動作を決定する中核構造の電子捕獲層について、膜中の深さ方向の組成分布、および、膜厚が繰り返しメモリ特性に強く相関するという、極めて重要な構造と動作特性との相関に関する知見を得、メモリ特性を決定する最適化の指針を得た。

Research Progress Status

28年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

28年度が最終年度であるため、記入しない。

Causes of Carryover

28年度が最終年度であるため、記入しない。

Expenditure Plan for Carryover Budget

28年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (8 results)

All 2017 2016 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Acknowledgement Compliant: 1 results) Presentation (4 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Crystallinity control of SiC grown on Si by sputtering method2017

    • Author(s)
      Ryosuke Watanabe, Takahiro Tsukamoto, Koichi Kamisako, Yoshiyuki Suda
    • Journal Title

      J. Crystal Growth

      Volume: 463 Pages: 67-71

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2017.01.042

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] p-Cu2O/SiOx/n-SiC/n-Si memory diode fabricated with room-temperature-sputtered n-SiC and SiOx2016

    • Author(s)
      Atsushi Yamashita, Takahiro Tsukamoto, Yoshiyuki Suda
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 55 Pages: 124103(1)-5)

    • DOI

      http://doi.org/10.7567/JJAP.55.124103

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] p-Cu2O/AlOx/n-SiC/n-Si構造の不揮発性pnメモリダイオードと低電圧動作2016

    • Author(s)
      土屋充沙、塚本貴弘、須田良幸
    • Journal Title

      信学技報

      Volume: 116 Pages: 17-20

  • [Presentation] p-Cu2O/SiNx/n-SiC/n-Si構造の抵抗変化型不揮発性メモリダイオード2017

    • Author(s)
      素村晃浩, 塚本貴広, 加藤格, 雑賀章浩, 須田良幸
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜(神奈川県、横浜市)
    • Year and Date
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [Presentation] SiCxOyおよびSiOx電子捕獲層を用いた不揮発性pnメモリダイオードの特性制御SiCxOyおよびSiOx電子捕獲層を用いた不揮発性pnメモリダイオードの特性制御2017

    • Author(s)
      土屋充沙,塚本貴広,加藤格,雑賀章浩,須田良幸
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜(神奈川県、横浜市)
    • Year and Date
      2017-03-14 – 2017-03-17
  • [Presentation] p-Cu2O/AlOx/n-SiC/n-Si-structured nonvolatile pn memory diode with low switching voltages2016

    • Author(s)
      Misa Tsuchiya, Tsukamoto Tsukamoto and Yoshiyuki Suda
    • Organizer
      29th Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf.
    • Place of Presentation
      ANA Crowne Plaza Kyoto (Kyoto, Japan)
    • Year and Date
      2016-11-08 – 2016-11-11
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] p-Cu2O/AlOx/n-SiC/n-Si構造の不揮発性pnメモリダイオードと低電圧動作2016

    • Author(s)
      土屋充沙、塚本貴弘、須田良幸
    • Organizer
      電子情報通信学会電子デバイス研究会
    • Place of Presentation
      首都大学東京(東京都、八王子市)
    • Year and Date
      2016-07-23 – 2016-07-24
  • [Remarks] 須田研究室

    • URL

      http://www.tuat.ac.jp/~boss/

URL: 

Published: 2018-01-16  

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