• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2014 Fiscal Year Research-status Report

裏面照射粉体PLD法による薄膜作製プロセスの開発

Research Project

Project/Area Number 26390099
Research InstitutionSasebo National College of Technology

Principal Investigator

須田 義昭  佐世保工業高等専門学校, その他部局等, 教授 (20124141)

Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Keywordsプラズマプロセス / レーザアブレーション / 粉体ターゲット / 裏面照射PLD / X線回折装置
Outline of Annual Research Achievements

平成26年度は、実験準備として裏面照射型の粉体PLD法による薄膜作製ができるシステムを構築を主に行った。また、裏面PLD法によるプラズマの確認と薄膜作製を試みたが、明確なプルームの確認や薄膜の作製まで至らなかった。
(1)現有のPLD装置を、裏面照射型の粉体PLD薄膜用に改造(ガラス製基板ホルダーの作製、基板の固定・改造)し、成膜ができるようにした。
(2)まず初めに、ターゲットとして、我々がこれまで行ってきたチタン(Ti)やタングステン(W)の粉体を選択し、それを用いて裏面照射PLD法による薄膜作製を試みた。このとき、異なるサイズや性質のターゲットを数種類準備し、それら単体あるいはそれらを混合させたターゲットを用いて薄膜作製を試みた。
(3)裏面照射PLD法では薄膜作製には至らなかったが、同一条件で粉体、バルク両方のターゲットを用いた通常のPLD法で薄膜を作製し、作製薄膜の表面形状をプローブ顕微鏡(SPM:現有)、表面成分の分析をX線光電子分光器(XPS:現有)、X線回折装置(XRD:現有)を用いて調べた。さらに、成膜の空間内にドロップレットが基板上に付着しないためにメッシュを設け、バイアス電圧(DC,RF)を印加し薄膜の膜質向上について検討した。
(4)プラズマ全体の形状変化の測定を、ICCDカメラ(現有)を用いて試みた。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

本研究では、これまで行われていなかった裏面からのパルスレーザアブレーションを考えている。そのため特殊な薄膜作製装置の作製が必要となる。薄膜作製装置の改造は平成26年度に完成しており、その点では順調に進んできた。しかしながら、プラズマプルームの確認等ができておらず、薄膜の作製は成功していない。この点を考え、やや遅れているとした。今後は、レーザ波長などに工夫を施し、薄膜作製を進める予定である。

Strategy for Future Research Activity

これまでは可視光によるレーザアブレーションを行ってきたが、本年度はより高い蒸発エネルギーを持ち、透過率も高い基本波によるアブレーションを行う。これでもアブレーションが難しい場合は蒸発エネルギーが低い粉体ターゲットを使用し、ホルダーを振動させたり、斜め入射を検討するなど工夫を施す。
また、より高エネルギーのレーザを利用するなど、薄膜作製を目指す。薄膜作製に成功した場合はその分析を急ぎ行う。特に、結晶性の分析などに力を入れる。

Causes of Carryover

新たな粉体ターゲットを次年度購入する計画があり、そのことが次年度使用額が生じた主な理由である。

Expenditure Plan for Carryover Budget

新たな粉体ターゲット購入に使用する計画である。

  • Research Products

    (10 results)

All 2015 2014

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 4 results,  Open Access: 4 results,  Acknowledgement Compliant: 4 results) Presentation (5 results) (of which Invited: 1 results)

  • [Journal Article] Kinetics of the thin film preparation by sputtering deposition using metal based powder target2015

    • Author(s)
      Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Takeshi Ihara, Yoshihito Yagyu Yuki Tanaka and Yoshiaki Suda
    • Journal Title

      Trans. Mat. Res. Soc. Japan

      Volume: 40 Pages: 7-10

    • DOI

      http://doi.org/10.14723/tmrsj.40.7

    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Titanium Oxide Thin Film Preparation by Pulsed Laser Deposition Method Using Ti and TiO2 Powder Target2015

    • Author(s)
      H. Kawasaki, T. Ohshima,Y. Yagyu, T. Ihara, Y. Tanaka, Y. Suda
    • Journal Title

      Trans. Mat. Res. Soc. Japan

      Volume: 40 Pages: 21-25

    • DOI

      http://doi.org/10.14723/tmrsj.40.21

    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Characteristics of plasma parameters in sputtering deposition using a powder target2014

    • Author(s)
      H Kawasaki,D Taniyama, S Takeichi, T Ohshima, Y Yagyu, T Ihara, Y Tanaka, Y. Suda
    • Journal Title

      Journal of Physics: Conference Series

      Volume: 518 Pages: 012003

    • DOI

      10.1088/1742-6596/518/1/012003

    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Effect of UV Light on Breakdown Voltage of Amosphere Air2014

    • Author(s)
      H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Suda, Y. Yagyu, T. Ihara, F. Mitsugi, T. Kawasaki, S. Aoqui, T. Baba
    • Journal Title

      Trans. Mat. Res. Soc. Japan

      Volume: 39 Pages: 289-292

    • DOI

      http://doi.org/10.14723/tmrsj.39.289

    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Thin Film Preparation by PLD Method Using Several Metal Powder Targets2014

    • Author(s)
      Hiroharu KAWASAKI, Tamiko OHSHIMA, Yoshihito YAGYU, Takeshi IHARA and Yoshiaki SUDA
    • Journal Title

      Proc. Plasma Conference 2014

      Volume: 1 Pages: P-17

  • [Presentation] Sputtering Deposition of Titanium-Base Thin Films by Powder Target2015

    • Author(s)
      Tamiko Ohshima, Takashi Maeda, Yuki Tanaka, Hiroharu Kawasaki, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yoshiaki Suda
    • Organizer
      ISPlasma2015 /IC-PLANTS2015
    • Place of Presentation
      名古屋大学
    • Year and Date
      2015-03-30
  • [Presentation] Preparation of Bi, Fe Thin Film by Pulsed Laser Deposition Method Using a Powder Target2015

    • Author(s)
      Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Takeshi Ihara, Yuki Tanaka, Yoshiaki Suda
    • Organizer
      ISPlasma2015 /IC-PLANTS2015
    • Place of Presentation
      名古屋大学
    • Year and Date
      2015-03-28
  • [Presentation] Film Fabrication by RF Magnetron Sputtering Using Mixed Powder Target2014

    • Author(s)
      Tamiko OHSHIMA, Takashi MAEDA, Hiroharu KAWASAKI, Yuki TANAKA, Yoshihito YAGYU, Takeshi IHARA, Yoshiaki SUDA,
    • Organizer
      MRSJ
    • Place of Presentation
      横浜市開校記念会館
    • Year and Date
      2014-12-10
  • [Presentation] Thin Film Preparation by PLD Method Using Several Metal Powder Targets2014

    • Author(s)
      H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyu, T. Ihara and Y. Suda
    • Organizer
      Plasma Conference 2014
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ (新潟市)
    • Year and Date
      2014-11-18
  • [Presentation] Thin Film Deposition by Plasma Process with Powder Target2014

    • Author(s)
      T. Ohshima, H. Kawasaki, T. Maeda, Y. Tanaka, Y. Yagyu, T. Ihara and Y. Suda
    • Organizer
      15th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • Place of Presentation
      National Institute for Fusion Science
    • Year and Date
      2014-10-16
    • Invited

URL: 

Published: 2016-05-27  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi