2014 Fiscal Year Research-status Report
表面層深さ方向の迅速評価が可能な回転楕円面鏡全反射ラマン散乱光学系の開発
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26420004
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| Research Institution | Akita University |
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Principal Investigator |
山口 誠 秋田大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (90329863)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
川手 悦男 独立行政法人産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員 (80344216)
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| Project Period (FY) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| Keywords | ラマン散乱 / 全反射 / 楕円面鏡 / 加工変質層 / 分光分析 / 材料評価 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
様々な機能性を付与するための製膜技術の発展に伴い、極表面層の評価が課題としてあげられている。ラマン分光法は非破壊・非接触・大気中で測定可能という利点を有することから注目されているが、吸収係数の小さな試料ではラマン励起光が試料内部まで侵入することから、表面層のみからの信号を得ることが困難であることが課題である。ラマン分光法による深さ方向の情報を選択できる評価法の確立を目指している。本研究では、エバネッセント波の浸み出しを利用した極表層部のラマンスペクトルを測定する全反射法に着目し、複数の回転楕円体面鏡からなる入射・集光光学系により入射角度連続可変で全散乱角度同時計測可能な光学システムしている。
今年度は，2種類4台の回転楕円体面鏡光学系を構築した。この光学系は、同じ長軸と短軸からなるものであり、これにより、従来の指摘されていた内部多重反射問題とMagnification 問題を克服する構造である。回転楕円体面および入射角度調整ミラーを自動回転ステージから制御を行えるようにし、さらに、光学系の評価として金属ミラーの反射率の偏光および角度依存性の評価を行った。あわせて、表面層に特徴的な構造を持つ加工面や製膜試料の顕微ラマン分光による評価を行った．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
回転楕円体面鏡光学系を用いた角度可変光学系の構築と基礎的検討を行うことができた。
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| Strategy for Future Research Activity |
構築した回転楕円面鏡光学系を用いて，全反射ラマン散乱による表面層の評価に向けて計画に従い遂行していく予定である。
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| Causes of Carryover |
3月末に分担者との打合せを予定していたが，都合により行うことができなかったため．
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
研究遂行のため共同研究者との打合せを行うことを予定している．
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Research Products
(3 results)
