2016 Fiscal Year Annual Research Report
High efficient super-planarization of hard materials for a wafer by the advanced superfinishing with the mechanochemical super abrasive stones
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26420065
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| Research Institution | Kansai University |
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Principal Investigator |
山口 智実 関西大学, システム理工学部, 教授 (10268310)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
古城 直道 関西大学, システム理工学部, 准教授 (80511716)
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| Project Period (FY) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| Keywords | 超平滑化加工 / 超仕上げ / ダイヤモンド超砥粒砥石 / サファイア / 光学ガラス / メカノケミカル / 複合砥粒砥石 / シリコン |
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| Outline of Annual Research Achievements |
１．ダイヤモンド(SD)超砥粒砥石を用いた多段工程によるサファイアの超平滑化加工において，前年度までの研究により，弾性変形を考慮した砥石の作業面積率評価方法と砥粒切り込み量を測定することで，砥石の表面形状からサファイアの接触面積と限界到達粗さを推定することができる超仕上げ特性シミュレーションモデルの構築を行った．本年度は，本モデルを基本とした多段工程超仕上げ特性シミュレーションモデルの構築を図り，計算機内にて，過去に実際に行った多段超仕上げによって得られたサファイアの加工面粗さ，および超仕上げ量とほぼ等しい結果を得ることができた．また，今まで用いていた#2000, #4000, #6000, #20000のSD砥粒砥石に，新たに#8000のSD砥粒砥石の導入を加え，さらなる工程時間の短縮を図った．
２．メカノケミカル砥粒砥石を用いた各種ガラスの超仕上げにおいて，前年度までの研究により，ビッカース圧痕による除去量の測定方法は確立できた．これにより，表面化損傷(SSD: Sub-Surface Damage)の発生深さもサブミクロンオーダで特定できるようになったが，個々のSSDの形状や全体としての存在領域をイメージ化することが難しいという課題が出てきた．そこで，本年度は，加工実験で得られるSSDの2次元形状データを深さ方向に繋げることでSSDの3(or 2.5)次元データの取得システムの開発に取り組み，基本システムの開発を行った．
３．シリコンに対するメカノケミカル砥粒砥石の超仕上げにおいては，本年度において，ドレッシングの影響を調べる方向に研究方針を転換し，2種類のドレッシングと5つの超仕上げ条件との関係を明らかにする実験計画を立てた．
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