2015 Fiscal Year Research-status Report
揺動機構内蔵スピンドルを有する硬脆ウエハ研削盤の開発
Project/Area Number |
26420069
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Research Institution | 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群) |
Principal Investigator |
由井 明紀 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 教授 (70532000)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
北嶋 孝之 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 准教授 (50546174)
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Project Period (FY) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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Keywords | ロータリー研削盤 / 磁気軸受 / 砥石スピンドル / 揺動研削 / SiCウエハ / 裏面研削 / 周波数 / 振幅 |
Outline of Annual Research Achievements |
平成27年度は,SiCウエハの揺動研削実験を実施する予定であったが,初年度(平成26年度)の機材(研削盤テーブルの水静圧軸受)故障により,研究実施計画の日程変更を余儀なくされた. スピンドルを揺動するためのソフトウェアを完成し,既存の切込み機能内蔵スピンドルを有するロータリー研削盤にインストールした.スピンドルの揺動性能を評価したところ,最大振幅9μm,4-15Hzの周波数範囲で揺動することがわかった.振幅はほぼ予定通りの値が得られたが,振動周波数に関しては,仕様の200Hzから比べると1桁低い値となった.いずれにしても,実験装置の試作を完了することができた. また,シリコンウエハに対して揺動研削を試みたが,表面粗さが劣化し,揺動の効果は見られなかった.
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Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
3: Progress in research has been slightly delayed.
Reason
初年度にロータリー研削盤の水静圧ロータリーテーブルが故障し,修理に半年以上を用した.その後の研究は,ほぼ予定通り進んでおり,平成29年3月までには報告書を完成する予定である.ただし,GaNウエハは入手が困難なため,サファイア及びSiCウエハを被削材とした揺動研削加工を実施予定である.
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Strategy for Future Research Activity |
当初は,研削対象としてSiCウエハやGaNウエハを想定していたが,材料の入手が困難なため,同様な硬脆材料であるサファイアやSiCウエハを加工対象とする.様々な,振幅と周波数で研削実験を行い,揺動研削のメリットとデメリットを明らかにする.また,最適加工条件を実験的に明らかにする.
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Causes of Carryover |
次年度は最終年度であり,研削盤借用費と学会発表(国際会議)を予定している.
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Expenditure Plan for Carryover Budget |
研削盤借用:499,998円 国際会議参加費:49万円 その他契約額:5651円
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Research Products
(4 results)