2015 Fiscal Year Research-status Report
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26420170
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| Research Institution | Tokyo University of Agriculture and Technology |
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Principal Investigator |
涌井 伸二 東京農工大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70334472)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
中村 幸紀 岡山大学, 自然科学研究科, 講師 (90574012)
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| Project Period (FY) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| Keywords | 地震 / 除振装置 / 空圧 / スペクトラム強度 / 発災強度 / 露光装置 / 制御切り替え / 振動センサ |
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| Outline of Annual Research Achievements |
半導体ICを製造する中核装置としての露光装置には，地震対策が施されている．地震を感知した後に，装置の稼働を停止させるというものである．ところが，軽微な地震に反応して稼働停止にいたるケース，あるいは甚大な被害を及ぼす地震にも関わらず装置が停止しないという事例がある．高価な生産装置であるため，軽微な地震については，露光動作は停止させるものの装置全体はアクティブの状態にして，地震収束後にはICの生産を再開できるようにしたい．そのために，地震の加速度，変位という大きさの判定に加えて地震の周波数成分を判定するSI値を導入し，これらの情報を用いて露光装置全体を支える空圧式除振装置内の制御パラメータを切り替える手段の有効性を検討してきた．
本申請では，SI値に代えてDI値（発災強度）を導入する検討を行っている．理由はSI値に比べて地震検出の反応が速いことを活用するものである．本年度の成果は，(1)長周期地震および高周波地震のいくつかの実波形を用いて，床および除振台上のDI値・地震の加速度・地震の変位という情報を用いた空圧式除振装置の制御パラメータ切り替えアルゴリズムの構築，(2)DI値を検出する回路を2台設計・製作して，上記(1)で述べた床および除振台上のDI値の検出を実機検証，(3)上記(1)のシミュレーション結果の一部を検証する実機検証実験，(4)甚大な被害を及ぼす地震の検知により，除振装置そのものを速度センサ化して露光装置を保全できることをシミュレータを使って検証，である．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
SI値を用いた場合，この演算時間が長いためのため一定の期間は地震の影響を受けていた．これを回避するため，保護したい露光装置の地点から遠方に複数の地震観測ポイントを設け，ここの情報に基づいて地震が到達する瞬間に空圧式除振装置の制御切り替えを実施する検討も合わせて行った．観測地点を設けることは不可能ではないが，露光装置という一企業の装置保全という目的を達成するにはあまりにコストがかかる．そこで，露光装置に設置地点だけで迅速に保全を行わせるためにDI値を導入したのである．この基本アイディアの実証は完了した．
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| Strategy for Future Research Activity |
空圧式除振装置のシミュレータに，過去に起きた実際の地震波形を入力するという方法で制御切り替えのアルゴリズムを検証してきた．そして，実験用の空圧式除振装置を用いて，アルゴリズムの一部を実機検証してきた．
今後の方針は，(1)実機を用いたアルゴリズムの検証の推進，具体的には空圧式除振装置を速度センサ化したときの保全効果を検証すること，および(2)研究成果の論文誌投稿と国際会議での公表を行うことである．
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