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2014 Fiscal Year Research-status Report

高圧電性ScAlN薄膜を有するダイヤモンドSAWの研究

Research Project

Project/Area Number 26420299
Research InstitutionChiba University

Principal Investigator

藤井 知  千葉大学, 事務局, 特任研究員 (30598933)

Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Keywords圧電薄膜 / スパッタリング
Outline of Annual Research Achievements

我々の研究グループでは、次世代に必要となる弾性波素子用圧電薄膜、特に、高音速・高圧電性の特徴を持つのScAlN薄膜の形成方法について研究を行っている。これまで進めきたことは、シリコン基板を用い、(1)合金スパッタ装置の成長方法の最適化の実施、(2)その圧電膜の物性及び素子評価である。これまでの結果、ScxAl1-x(x=32及び43%)の合金ターゲットを用いたRFマグネトロン反応性スパッタリング法により、Si(100)面のウエハ上に良好な六方晶系c軸配向性を持つScxAl1-xN薄膜を形成出来ることを確認した。薄膜中のSc濃度は、43at%ターゲットの場合32at%、32at%ターゲットの場合23at%となる。Sc濃度32at%ターゲットの場合、C軸配向とSc濃度ともに30時間以上安定的にScxAl1-xN薄膜を形成出来出来ることを示した。また、素子特性もAlNに比べ圧電特性は5倍以上の大きさを持ち、次世代の弾性波素子の材料として、十分なポテンシャルを持つことが示された。しかしながら、Sc濃度が43at%のターゲットを用いた場合、50時間以上ターゲットを使用すると、六方晶系c軸配向性の薄膜が得られなくなる。その原因について、FIB加工-断面TEMにて分析したところ、ScxAl1-xN /Si界面にScの高濃度の薄膜が形成やアモルファス層が厚いことが分かった。推定される原因としてシリコン基板のチャージアップなどが考えらる。しかし、ScxAl1-xN薄膜形成の成長初期をコントロールすることにより、ScxAl1-xN薄膜の良好な六方晶系c軸配向性を安定的に得られ、SAWフィルタの特性も遜色ないことが分かった。今後、さらなるSc濃度の増加と、ダイヤモンド基板上にScxAl1-xN薄膜形成や、それを用いたSAWデバイスを試作し、その評価を行う予定である。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

ScAl合金スパッタの有効性が示され、通常のRFマグネトロンスパッタリング装置にて、簡便にScAlN薄膜が形成できることを示した。また、Sc濃度が増えれば、熱平衡からScAlN薄膜のC軸配向が困難になるものの、結晶構造の近いシード層の導入により、配向が改善されることを示した。

Strategy for Future Research Activity

現状の薄膜中のSc濃度は、ターゲット組成より10%程低い。この原因について設備の改造を含め検討を行い、さらなるSc濃度の向上と、弾性波デバイスにしたときの特性について示して行きたい。

Causes of Carryover

本年5月の国際学会に合わせて、年度末の2月〜3月に、ナノプラットフォーム事業に参画している産総研や物材機構の装置を利用した。年度末であったため、正確な費用が年度末では、見込めず、越すことになった。

Expenditure Plan for Carryover Budget

当初の計画通りより、前倒しに進めており、今年度以降、さらに、ターゲットの購入やスパッタリング設備等の改造を含め、本研究が進展するよう進める。

  • Research Products

    (3 results)

All 2015 2014

All Presentation (3 results)

  • [Presentation] Highly C-Axis Oriented ScAlN Thin Films Deposited Using a Sc-Al Alloy Target2015

    • Author(s)
      S. Fujii, M. Sumisaka,G. Tang, Y. Suzuki, S. Otomo, T. Omori, K. Hashimoto
    • Organizer
      2015 International Microwave Symposium
    • Place of Presentation
      米国、アリゾナ州フェニックス
    • Year and Date
      2015-05-17 – 2015-05-22
  • [Presentation] Sputter Deposition of ScAlN Thin Films Using a Sc-Al Alloy Target2014

    • Author(s)
      M. Sumisaka, S. Fujii, G. Tang, Y. Suzuki, S. Otomo, T. Omori, K. Hashimoto
    • Organizer
      第35回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集(国際学会)
    • Place of Presentation
      日本、東京
    • Year and Date
      2014-12-03 – 2014-12-05
  • [Presentation] Deposition of highly c-axis-oriented ScAlN thin films by RF magnetron sputtering using a Sc-Al alloy target2014

    • Author(s)
      S. Fujii, S. Shimizu, M. Sumisaka, Y. Suzuki, S. Otomo, T. Omori, K. Hashimoto
    • Organizer
      IEEE International Frequency Control Symposium
    • Place of Presentation
      Taipei, Taiwan
    • Year and Date
      2014-05-19 – 2014-05-22

URL: 

Published: 2016-05-27  

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