2014 Fiscal Year Research-status Report
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26420320
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| Research Institution | Sophia University |
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Principal Investigator |
中岡 俊裕 上智大学, 理工学部, 准教授 (20345143)
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| Project Period (FY) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| Keywords | 量子ドット / 単一光子源 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究では、自己形成量子ドットを含むp-i-nダイオード構造に対して、高度な電子制御が可能な縦型単電子素子と同構造であるサイドゲート型ピラー構造を作りこみ、制御性の高い単一光子源を開発している。さらに、高温動作、集積化に向いた窒化物ナノワイヤについても研究を進めている。本年度は電子状態制御に求められるより微細な構造の作成に重点をおいて研究を進めた。これまでは電流注入発光はピラー部の直径が1um程度の比較的な大きな素子のみで観測できていたが、今回、200nm程度まで縮小し電流注入発光を得ることに成功した。閉じ込めポテンシャルの制御性の高いWLからの発光であることがわかった。現時点では歩留まりが高くなく、各プロセスにおける条件だしを行うことでこれを解決していく。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
3: Progress in research has been slightly delayed.
Reason
今回、200nm程度まで縮小し電流注入発光を得ることに成功した。閉じ込めポテンシャルの制御性の高いWLからの発光であることがわかった。一方で素子が量子ドットの分布に比べ非常に小さいため、素子作製には高い歩留まりが求められるが、現時点では歩留まりが十分でない。各プロセスにおける条件だしを行うことでこれを解決していく。
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| Strategy for Future Research Activity |
歩留まり低下の主要因はドライエッチングプロセスの不安定さにあり、より安定したエッチングが可能な条件を、プロセスガスの変更を含めて検討、詳細な条件だしを行うことでこれを解決していく。
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| Causes of Carryover |
素子作製に成功したが、歩留まりがわるく、素子をもちいた詳細な測定系構築を次年度に延期し、原因探求のための分析費用にあてたため。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
素子作製のプロセス関連消耗品と測定系構築に用いる
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[Presentation] Single InGaN nanocolumn spectroscopy2014
Author(s)
K. Sekine, Y. Onoue, T. Yoshiike, K. Asami, S. Ishizawa, T. Nakaoka, and K. Kishino,
Organizer
46th Solid State Devices and Materials (SSDM 2014)
Place of Presentation
Tsukuba International Congress Center（茨城県・つくば市）
Year and Date
2014-09-10
