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2015 Fiscal Year Research-status Report

UMS技術による強化ガラス評価法の研究

Research Project

Project/Area Number 26420380
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

荒川 元孝  東北大学, 医工学研究科, 特任助教 (00333865)

Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Keywords計測工学 / 超精密計測 / 超音波計測 / 強化ガラス / 表面応力
Outline of Annual Research Achievements

薄型、高信頼な強化ガラスが要求される中、高精度かつ信頼性の高い評価技術が要求されている。本研究代表者らは、物質・材料の音響特性を非破壊・非接触的に定量計測する「超音波マイクロスペクトロスコピー(UMS)」技術の基礎研究および材料評価への応用に関する研究を進めている。
本研究では、強化ガラスの評価パラメータである表面応力や応力層深さとUMS技術より測定される音響特性との間の関係を求める。これによって、強化ガラスの新しい評価技術としてUMS技術を用いた方法を確立することを目的とする。さらに、表面応力により、強化層の弾性率がどのように変わるのかを明らかにし、計測モデルを構築する。
本年度の成果は以下のとおりである。
化学強化ガラスの強化試料と未強化試料を用意し、平面超音波材料解析システムにより、VHF帯において縦波と横波の音速と減衰係数の周波数特性を測定した。また、光学法により表面応力と応力層深さの測定を行った。これらの結果より、単層モデルを仮定し、表面応力層の音速、減衰係数を推定した。その結果、圧縮応力層は、音速が大きいこと、音速の周波数特性が小さいこと、また、減衰係数が小さいことを明らかにした。これらの結果より、圧縮応力層が強固な構造であることを明らかにした。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

これまで、化学強化ガラスと物理強化ガラスに対して、LFB-UMCシステムを適用するとともに、光学法により得られた値と比較することにより、LSAW速度が表面応力や応力層深さに対して高い分解能を有していることを明らかにすることができた。また、バルク波の音速と密度の計測により化学強化ガラスの圧縮応力層の弾性率の抽出する方法を検討し、その推定を行った。また、音速や減衰係数の周波数特性から、圧縮応力層が強固な構造であることを明らかにした。

Strategy for Future Research Activity

これまでの研究を継続するとともに、以下の検討をおこなう。
1.応力緩和の影響の検討
応力緩和によって、時間が経つにつれて強化ガラスの表面強度が低下することが報告されている。熱処理による加速劣化試験を行った前後での表面強度と音響特性の間の関係を調べることにより、その評価方法を検討する。
2.計測モデルの構築
一般に、物理強化ガラスは強化層が厚く(板厚の1/6)、表面応力が小さい(100~150 MPa)。化学強化ガラスは、強化層が薄く(10-300 μm)、表面応力が大きい(300-800 MPa)。超音波の波長(225 MHzにおいて、LSAWで約13 μm、LSSCWで約25 μm程度)を考慮して、計測モデルを構築する。未強化試料および強化試料に対して、基板表面に対して平行に伝搬するLSAWおよびLSSCWの速度、基板表面に対して垂直に伝搬する縦波と横波の音速、および密度の結果をもとに、強化層の弾性定数、密度を見積もる。表面波とバルク波の特性の違いから、強化層の弾性率の異方性を導出する。

  • Research Products

    (2 results)

All 2015

All Presentation (2 results)

  • [Presentation] 超音波マイクロスペクトロスコピー技術による化学強化ガラスの表面応力層の評価2015

    • Author(s)
      荒川元孝, 櫛引淳一
    • Organizer
      第36回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • Place of Presentation
      つくば国際会議場(茨城県つくば市)
    • Year and Date
      2015-11-06 – 2015-11-06
  • [Presentation] 平面超音波材料解析システムによる化学強化ガラスの縦波音響特性2015

    • Author(s)
      荒川元孝, 櫛引淳一
    • Organizer
      2015年第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-14 – 2015-09-14

URL: 

Published: 2017-01-06  

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