2015 Fiscal Year Annual Research Report
大型構造物を対象としたコムセルフビート距離計を用いた粗面の三次元絶対形状測定
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26630087
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
高増 潔 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70154896)
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| Project Period (FY) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| Keywords | コムレーザー / 距離測定 / 粗面 / 三次元測定 / 大型構造物 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
平成26年度の概念設計および基礎実験を踏まえて，問題点の解決と三次元化の基礎実験を行った．検討した問題点としては，ビートダウンにおける基準周波数の位相雑音による位相差計測精度の低下があげられる．これについては，二種類のコムレーザを使うことで解決できた．周波数発振器とコムレーザの位相雑音を比較すると，コムレーザの位相雑音が非常に小さいことが分かっている．このため，二台のコムレーザを利用してビートダウンを行うことで，位相雑音を小さくすることができた．この結果，位相検出におけるサイクリックエラーをなくすことを実現し，測定精度が向上した．
次に，スキャナーを利用して三次元絶対形状計測の方法を検討した．基礎実験として回転テーブルにミラーを設置しスキャナーとして利用した．3 mの距離に置いた粗面に対して，マイクロメートルオーダの絶対距離の測定ができ，測定物の形状測定が行えた．さらに，複数のビート周波数を利用することで，合致法による絶対距離測定が行え，絶対距離測定ができる範囲を広げることができた．
今後は，実用化を目指して，より高速で高精度な測定方法を開発するために，スキャナー部分および位相検出部分のより高度化を行う予定である．
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