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2014 Fiscal Year Research-status Report

サイドゲート制御型抵抗変化メモリの開拓

Research Project

Project/Area Number 26630141
Research InstitutionHokkaido University

Principal Investigator

高橋 庸夫  北海道大学, 情報科学研究科, 教授 (90374610)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 有田 正志  北海道大学, 情報科学研究科, 准教授 (20222755)
森江 隆  九州工業大学, 生命体工学研究科(研究院), 教授 (20294530)
Project Period (FY) 2014-04-01 – 2016-03-31
Keywords抵抗変化メモリ / 多値メモリ / アナログメモリ / 不揮発性機能デバイス / ニューラル素子 / 電子顕微鏡
Outline of Annual Research Achievements

超省電力で冗長性を有する集積化論理回路の構築を目指して、抵抗変化メモリ(ReRAM)の新たな機能応用が可能な、3端子構成の新型不揮発性機能デバイスを提案し、これを実現することを目指した。
ReRAM材料としてMoOxを用い、まず2端子の抵抗変化メモリ特性を評価した。その結果、ReRAM素子は応答速度が速く、且つ抵抗の変化率が大きいため、素子の付近に浮遊容量(配線や電極の浮遊容量が必ず存在する)が大きいと、抵抗スイッチ時に大きな電流が流れ、正しい特性が評価できないことが判明した。確度の高いシャープな特性を得るためには、ReRAM素子の直近に電流制限用素子を配置する必要があり、研究分担者である九州工業大学の森江教授の協力を得て、ReRAMの下層に電流制限用のMOSFETを埋め込んだ構造を実現した。MOSFETのゲートに印加する電圧により、ReRAMに流れる電流が制限され、オーバーシューなどが生じないように電流を精度良く制御することで、まだ不十分ではあるが、ある程度のアナログメモリとしての動作を示すことが判明した。
上記と並行して、動作原理を明確にするために検討予定の、透過型電子顕微鏡(TEM)内での評価装置の準備を行った。TEM内で、多端子のReRAMデバイスの動作評価が必要になることから、これに対応するTEM用のホルダーを含む測定ステムを構築した。本システムでは、16端子の測定端子を実現しており、このような多端子の特性評価が可能なTEMその場観察システムは世界中でどこでも実現されていない。作成したシステムに、ReRAMの電極として用いる予定の銅(Cu)細線を16端子分取り付けたTEM観察用基板を試作し、実際に、I-V特性評価が可能なことを確認した。電流を流すことでエレクトロマイグレーションが生じ、細線が断線することによりナノギャップが形成される様子を評価することができた。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

(理由)目的である、抵抗変化メモリ(ReRAM)のアナログに近い多値メモリ動作を実現することができたことに加え、動作原理解明の鍵となる、世界中のどこにもなかった多端子(16端子)のデバイスをTEMその場観察が可能なシステムを構築できたことによる。
ReRAMの多値メモリ動作は、ReRAM素子の直下にMOSFETを埋め込み、これにより、浮遊容量の影響を受けることなく電流を精度良く制御できることが重要である。これは、ReRAMの抵抗スイッチ速度が速い上に、抵抗変化率が大きいため、スイッチと同時に浮遊容量に蓄積された電荷がReRAMに流れ込むためである。すなわち、高性能なReRAMでは、余計に問題になるということである。実際、MOSFET搭載素子では特性が評価できるにもかかわらず、同じデザインルールで作製したMOSFET無しのReRAM素子では、抵抗スイッチと同時に破壊されてしまうことが確認された。研究分担者の協力を得て、この問題を解決し、ナノ秒台での応答と、電流制限による多値のメモリ特性を確認できたものである。
16端子のTEM内評価システムでは、(100)Siウエハ上に形成した25-100nm厚のSiNメンブレンを裏面からのアルカリエッチにより選択的に形成し、そのメンブレン上にデバイスを形成することで、TEM内で評価できるようにするものである。接点電極パターンの配置とTEM側のホルダーを工夫し、ワンタッチで16端子を装着可能なシステムとした。このため、素子を破壊することなく簡便に取り付けて評価することができる。実際、電子ビーム露光で作製したCu細線のTEM内でのエレクトロマイグレーションの評価に成功したことで、動作の確認ができている。

Strategy for Future Research Activity

ReRAMデバイスのアナログメモリとしての特性向上のための材料の開拓と、サイドゲートを取り付けた新構成デバイスの開拓を進めると共に、TEM内での動作特性評価を進める。
ReRAM材料としては、MoOxに加え、WOxやTaOxを用いた構成、並びに、2層絶縁膜構成のReRAMとして、AlOx層を下層に配した構造のデバイスについて検討し、アナログメモリとしての特性向上を目指す。材料探索では、MOSFETを配置しないデバイスを用いて短時間で検討を進め、材料を絞った後、昨年度と同様に、下層にMOSFETを挿入したデバイスを用いてアナログメモリ動作や、パルスニューロン動作を目指したパルス書き込みによるアナログメモリ動作の検討を進め、ニューラルネットワークシステムの構築を目指す。加えて、リソグラフィーと薄膜形成技術を用いて、ReRAMにサイドゲートを取り付けるプロセスを立ち上げ、3端子デバイスとしての動作確認を目指す。この際、後述する、TEM内での動作原理確認の結果を参考に、並行して検討する。
TEM内でのReRAM動作の評価としては、構築した16端子のパターンを活用し、電子ビーム露光を用いてCu配線やCuギャップ電極をSiNメンブレン上に作製し、その上に、MoOxやWOxなどのReRAM材料を形成し、TEM内での電気的特性を評価する。電極形状やReRAM材料を工夫し、抵抗変化現象に伴う構造変化を観察し、動作原理を明確化すると共に、これを応用した新原理デバイスの構築を目指す。

Causes of Carryover

平成26年度は、国際会議に積極的に投稿することを計画していたが、当該分野のナノエレクトロニクスに関する比較的大きな国際会議(The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference)が北海道大学で開催された。招待講演2件を含む12件の発表(発表者はそれぞれ異なる)を行ったが、通常必要となる出張経費(一人当たり、5万円程度)が不要となった。また、関連分野の大きな国内会議(参加者6000人)も北海道大学で開催されたため、これに関する出張経費も不要となった。これらの事情により、計画上必要と考えていた出張費の旅費が60万円から70万円軽減された。このため、比較的大きな経費が繰越されることになった。これに加え、研究遂行上の電気部品や装置の消耗品類などの支出も、装置がたまたま故障無く動作したため、出費を抑えることができた。

Expenditure Plan for Carryover Budget

平成27年度は、同様に積極的に国際会議などでの発表を継続していく予定であり、国外の会議での発表も含まれるので、旅費の出費が大きくなる予定である。また、今回提案の抵抗変化メモリの開拓に向けて、新たな材料の検討が必要となることから、その材料費や作成プロセスの構築に向けての経費が必要となる。また、作成されたデバイスの評価のために、測定装置を整備する必要があることが判明したため、主に消耗品を購入し、整備していく。以上の計画で、繰越した経費を用いて、研究を遂行していく予定である。

  • Research Products

    (37 results)

All 2015 2014

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Acknowledgement Compliant: 2 results) Presentation (35 results) (of which Invited: 4 results)

  • [Journal Article] Coupling capacitance between double quantum dots tunable by number of electrons in Si quantum dots2015

    • Author(s)
      Takafumi Uchida1, Masashi Arita, Akira Fujiwara, and Yasuo Takahashi
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 117 Pages: 084316-1-6

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1063/1.4913393

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Filament formation and erasure in molybdenum oxide during resistive switching cycles2014

    • Author(s)
      Masaki Kudo, Masashi Arita, Yuuki Ohno, and Yasuo Takahashi
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 105 Pages: 173504-1-4

    • DOI

      http://dx.doi.org/10.1063/1.4898773

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] パターン依存酸化法を応用した直列三重結合シリコン量子ドットの作成2015

    • Author(s)
      内田貴史、吉岡勇、佐藤光、福地厚、有田正志、藤原聡、高橋庸夫
    • Organizer
      春季応用物理学会
    • Place of Presentation
      東海大学湘南キャンパス(平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] Si単電子トランジスタにおける電界によるドット内準位の変化2015

    • Author(s)
      佐藤光、内田貴史、吉岡勇、福地厚、有田正志、藤原聡、高橋庸夫
    • Organizer
      春季応用物理学会
    • Place of Presentation
      東海大学湘南キャンパス(平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] MOSFET挿入による抵抗変化型メモリの抵抗制御2015

    • Author(s)
      廣井孝弘, 中根明俊, 勝村玲音、福地 厚、有田正志、高橋庸夫、浦邊大史, 安藤秀幸, 森江隆
    • Organizer
      春季応用物理学会
    • Place of Presentation
      東海大学湘南キャンパス(平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] Cu系CBRAMにおける熱処理の影響2015

    • Author(s)
      中根 明俊、勝村玲音、廣井孝弘,、福地 厚、有田正志、高橋庸夫
    • Organizer
      春季応用物理学会
    • Place of Presentation
      東海大学湘南キャンパス(平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] MOSFET上に集積化したCu-MoOx-Al抵抗変化型メモリのアナログメモリ動作2015

    • Author(s)
      浦邊大史,富崎和正,安藤秀幸,森江隆,廣井孝弘,中根明俊, 福地厚, 有田正志,高橋庸夫
    • Organizer
      春季応用物理学会
    • Place of Presentation
      東海大学湘南キャンパス(平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] 多入力・多出力高機能デバイスを念頭においた3端子ナノドットアレイの高機能特性2015

    • Author(s)
      吉岡勇、佐藤光、内田貴史、福地 厚、有田正志、藤原聡、高橋庸夫
    • Organizer
      電子情報通信学会技術報告 電子デバイス研究会
    • Place of Presentation
      北海道大学
    • Year and Date
      2015-02-05 – 2015-02-06
  • [Presentation] Siマルチゲート二重量子ドット単電子トランジスタにおけるドット間結合の制御2015

    • Author(s)
      内田貴史、吉岡勇、佐藤光、藤原聡、有田正志、高橋庸夫
    • Organizer
      応用物理学会日本光学会北海道支部合同学術講演会
    • Place of Presentation
      旭川市 勤労者福祉会館
    • Year and Date
      2015-01-09 – 2015-01-10
  • [Presentation] MOSFETを接続した抵抗変化型メモリのスイッチ特性の向上2015

    • Author(s)
      廣井孝弘, 中根明俊, 福地 厚、有田正志、高橋庸夫
    • Organizer
      応用物理学会日本光学会北海道支部合同学術講演会
    • Place of Presentation
      旭川市 勤労者福祉会館
    • Year and Date
      2015-01-09 – 2015-01-10
  • [Presentation] 脳型集積回路の開発動向とナノデバイス・材料面からのブレークスルーの期待2014

    • Author(s)
      森江 隆
    • Organizer
      第37回アナログRF研究会
    • Place of Presentation
      キャンパスプラザ京都(京都)
    • Year and Date
      2014-12-03 – 2014-12-04
    • Invited
  • [Presentation] Gate-voltage tunable coupling capacitance of Si double-quantum-dots with multiple gates2014

    • Author(s)
      Takafumi Uchida, Masashi Arita, Akira Fujiwara, Seiji Samukawa, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      Eleventh International Conference on Flow Dynamics (ICFD 2014)
    • Place of Presentation
      Sendai International Center, Sendai, Japan
    • Year and Date
      2014-10-08 – 2014-10-10
  • [Presentation] マルチゲートSi単電子トランジスタを用いたpotential barrierの電圧制御2014

    • Author(s)
      内田貴史、吉岡勇、佐藤光、有田正志、藤原聡、高橋庸夫
    • Organizer
      秋季応用物理学会
    • Place of Presentation
      北海道大学
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] 3端子ナノドットアレイの高機能の創出(2)2014

    • Author(s)
      吉岡勇、佐藤光、内田貴史、有田正志、藤原聡、高橋庸夫
    • Organizer
      秋季応用物理学会
    • Place of Presentation
      北海道大学
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] Si単電子トランジスタにおける励起準位の分類2014

    • Author(s)
      佐藤光、内田貴史、吉岡勇、有田正志、藤原聡、高橋庸夫
    • Organizer
      秋季応用物理学会
    • Place of Presentation
      北海道大学
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] エレクトロマイグレーションによるCuナノギャップ電極の作製と応用2014

    • Author(s)
      米坂 瞭太、越智隼人、村上暢介、有田正志、高橋庸夫
    • Organizer
      秋季応用物理学会
    • Place of Presentation
      北海道大学
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] Cu/MoOx/TiN ReRAM の初期スイッチ過程における導電フィラメント2014

    • Author(s)
      有田正志、大野裕輝、工藤昌輝、高橋庸夫
    • Organizer
      秋季応用物理学会
    • Place of Presentation
      北海道大学
    • Year and Date
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [Presentation] Growth and Shrinkage of Conductive Filament in Cu/MoOx ReRAMs observed by means of in-situ TEM2014

    • Author(s)
      Masashi Arita, Yuuki Ohno, Masaki Kudo and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      2014 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2014)
    • Place of Presentation
      Tsukuba International Congress Center, Japan
    • Year and Date
      2014-09-08 – 2014-09-11
  • [Presentation] Set-Reset時の抵抗変化メモリ(ReRAM)の透過型電子顕微鏡によるその場観察2014

    • Author(s)
      高橋庸夫
    • Organizer
      STARC ワークショップ2014
    • Place of Presentation
      新横浜国際ホテル
    • Year and Date
      2014-09-03
  • [Presentation] Evolution of conductive filaments in Cu/MoOx CBRAM observed by means of in-situ TEM2014

    • Author(s)
      Masashi Arita, Yuuki Ohno, Masaki Kudo, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
    • Invited
  • [Presentation] High-frequency operation of Si single-electron transistor beyond cutoff by the use of rectifying effect2014

    • Author(s)
      Yasuo Takahashi, Hiroto Takenaka, Akira Fujiwara, and Masashi Arita
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
    • Invited
  • [Presentation] Double-quantum-dot Si single-electron transistor with multiple gates2014

    • Author(s)
      Takafumi Uchida, Isamu Yoshioka, Hikaru Sato, Masashi Arita, Akira Fujiwara, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
  • [Presentation] Highly functionality of three-terminals nanodot array2014

    • Author(s)
      Isamu Yoshioka, Hikaru Sato, Takafumi Uchida, Akira Fujiwara, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
  • [Presentation] The research of excited states in Si-SET2014

    • Author(s)
      Hikaru Sato, Takafumi Uchida, Isamu Yoshioka, Akira Fujiwara, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
  • [Presentation] Real time transmission electron microscopy observation of Cu / MoOx ReRAMs2014

    • Author(s)
      Masaki Kudo, Yuuki Ohno, Takahiro Hiroi, Kouichi Hamada, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
  • [Presentation] Study on in-situ TEM observation of WOx ReRAMs with Cu top electrodes2014

    • Author(s)
      Akihito Takahashi, Yuuki Ohno, Masaki Kudo, Akitoshi Nakane, Arita, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
  • [Presentation] In-situ observation of electromigration-induced atomic steps movement2014

    • Author(s)
      Yosuke Murakami, Ryouta Yonesaka, Kouichi Hamada, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
  • [Presentation] Fabrication of Cu nanogaps by electromigration and its application2014

    • Author(s)
      Ryouta Yonesaka, Hayato Ochi, Yosuke Murakami, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
  • [Presentation] Switching characteristics of Cu-MoOx ReRAM2014

    • Author(s)
      Takahiro Hiroi, Akitoshi Nakane, Takashi Fujimoto, Masashi Arita, Hideyuki Ando, Takashi Morie, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
  • [Presentation] Resistance switching of WOx prepared by reactive sputtering at room temperature2014

    • Author(s)
      Akitoshi Nakane, Takahiro Hiroi, Masaki Kudo, Masashi Arita, Hideyuki Ando, Takashi Morie, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
  • [Presentation] Magnetoresistance and microstructure of Fe-MgF2 single layer granular films2014

    • Author(s)
      Toshihiro Yokono, Eita Sato, Yosuke Murakami, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      The 6th IEEE International Nanoelectronics Conference, (IEEE INEC 2014)
    • Place of Presentation
      Hokkaido Univ., Japan
    • Year and Date
      2014-07-28 – 2014-07-31
  • [Presentation] In-situ TEM Observation of ReRAM Switching2014

    • Author(s)
      Yasuo Takahashi and Masashi Arita
    • Organizer
      The 2014 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2014)
    • Place of Presentation
      Ryukoku University Avanti Kyoto Hall, Kyoto, Japan
    • Year and Date
      2014-06-19 – 2014-06-20
    • Invited
  • [Presentation] Tunable coupling capacitance of double-quantum-dot single-electron transistor with multiple gates2014

    • Author(s)
      Takafumi Uchida, Isamu Yoshioka, Hikaru Sato, Masashi Arita, Akira Fujiwara, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      2014 Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW-2014)
    • Place of Presentation
      Hilton Hawaian Village, Honolulu, Hawaii
    • Year and Date
      2014-06-08 – 2014-06-09
  • [Presentation] Highly functional three-teminal nanodot array device with almost independent input gates2014

    • Author(s)
      Isamu Yoshioka, Takafumi Uchida, Masashi Arita, Akira Fujiwara, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      2014 Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW-2014)
    • Place of Presentation
      Hilton Hawaian Village, Honolulu, Hawaii
    • Year and Date
      2014-06-08 – 2014-06-09
  • [Presentation] Real-time resistive switching of Cu/MoOx ReRAM observed in transmission electron microscope2014

    • Author(s)
      Masaki Kudo, Yuuki Ohno, Takahiro Hiroi, Takashi Fujimoto, Kouichi Hamada, Masashi Arita, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      2014 Silicon Nanoelectronics Workshop (SNW-2014)
    • Place of Presentation
      Hilton Hawaian Village, Honolulu, Hawaii
    • Year and Date
      2014-06-08 – 2014-06-09
  • [Presentation] Dynamical observation of Cu/MoOx resistive RAM2014

    • Author(s)
      Masashi Arita, Masaki Kudo, Yuuki Ohno, Yosuke Murakami, and Yasuo Takahashi
    • Organizer
      EMRS 2014 Spring Meeting (EMRS-14)
    • Place of Presentation
      the Congress Center in Lille (France)
    • Year and Date
      2014-05-26 – 2014-05-30
  • [Presentation] Cu/MoOx抵抗変化メモリのTEMその場評価2014

    • Author(s)
      有田正志、大野裕輝、工藤昌輝、高橋庸夫
    • Organizer
      日本顕微鏡学会第70回記念学術講演会
    • Place of Presentation
      幕張メッセ国際会議場
    • Year and Date
      2014-05-11 – 2014-05-14

URL: 

Published: 2016-05-27  

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