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2014 Fiscal Year Research-status Report

結晶の格子歪み制御によるMg2Siの熱電特性向上

Research Project

Project/Area Number 26630304
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

舟窪 浩  東京工業大学, 総合理工学研究科(研究院), 教授 (90219080)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 秋山 賢輔  神奈川県産業技術センター, 化学技術部, 主任研究員 (70426360)
Project Period (FY) 2014-04-01 – 2016-03-31
KeywordsMg2Si / 熱電測定 / 格子歪
Outline of Annual Research Achievements

申請者は熱電材料として大きな期待を集めているMg2Siについて、熱電特性の評価が可能なエピタキシャル膜を絶縁体である(001)Al2O3基板上へ作製することに世界で初めて成功した。得られたMg2Siエピタキシャル膜は、約0.2%の格子歪みを有しており、p型伝導を示した。Mg2Siの研究は、格子歪みが無い焼結体や単結晶で行われており、n型伝導を示すことが広く知られている。エピタキシャル膜において、n型伝導ではなくp型伝導を示した結果は、格子歪みがMg2Siの伝導特性を支配する最も重要な支配因子である可能性を示している。本研究は、種々の結晶格子歪みを有したエピタキシャルMg2Si膜を作製し、格子歪みの熱電特性に及ぼす影響を明らかにする。得られた知見を基に、格子歪み制御による特性の向上方法を検討することで、Mg2Siの熱電特性を飛躍的に向上させることを目的としている。

種々の方位のMgO, SrTiO3やSiC単結晶基板上にMg2Siのエピタキシャル薄膜を作製可能であることを明らかにした。得られた膜の基板との方位関係を明らかにするとともに、結晶構造解析をおこなった。その結果、種々の歪を有したMg2Si膜の作製に成功しており、電気特性および熱電測定も異なっていることが明らかになった。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

種々の基板上に歪量の異なるエピタキシャル膜の作製に成功しており、次年度に膜の歪と熱電特性を系統的に研究するための試料作りができた。

Strategy for Future Research Activity

今後は主に、種々の組成のMg2Siエピタキシャル膜の作製と評価に取り組む。

1) エピタキシャル膜作製:従来Mg2Siに添加することで高い熱電特性が得られることが報告されている、p型のAgやn型のSn等での置換をまず行う。特に特性が低くMg2Siの実用化の大きな問題になっているp型に関しては、クラーク数が1桁で毒性が無いものの、これまでに十分な評価がされていないCaを試みる。組成の制御は、Mgディスク上に種々のチップを置いて行う。

2) 膜評価:得られた試料の評価は、初年度と同様の方法で評価を行う予定である。

Causes of Carryover

昨年度は作製した膜の結晶構造解析に多くの時間がかかり、当初予定したより作製した膜の数が少なく、膜作製に為の費用をすべて使用しなかった。

Expenditure Plan for Carryover Budget

結晶構造の評価方法は確立したので、膜の作製から評価を系統的に行い、当初の目的を達成する。

  • Research Products

    (15 results)

All 2015 2014 Other

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 5 results,  Acknowledgement Compliant: 2 results) Presentation (8 results) Book (1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Structural characterization of epitaxial Mg2Si films grown on MgO and MgO-buffered Al2O3 substrates2015

    • Author(s)
      Atsuo Katagiri, Shota Ogawa, Takahiro Oikawa, Masaaki Matsushima, Kensuke Akiyama, P. S. Sankara Rama Krishnan, and Hiroshi Funakubo
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 54 Pages: 07JC01-1-4

    • DOI

      10.7567/JJAP.54.07JC01

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Control of Iron Disilicide Crystal Structure by Using Liquid Phase Obtained by Au-Si Eutectic Reaction2015

    • Author(s)
      Kensuke Akiyama, Yuu Motoizumi, and Hiroshi Funakubo
    • Journal Title

      Materials Research Society Symposium Proceedings

      Volume: 1760 Pages: -

    • DOI

      doi: 10.1557/opl.2015.54

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Epitaxial Growth of Luminescent β-FeSi2 on modified Si(111) Surface by Silver2015

    • Author(s)
      Kensuke Akiyama and Hiroshi Funakubo
    • Journal Title

      Proceedings of SPIE

      Volume: 9366 Pages: 93660R-1-8

    • DOI

      10.1117/12.2079405

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] High Temperature Reproducible Preparation of Mg2Si Films on (001)Al2O3 substrates Using RF Magnetron Sputtering Method2014

    • Author(s)
      Atsuo Katagiri, Shota Ogawa, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Kensuke Akiyama, and Hiroshi Funakubo
    • Journal Title

      Mater. Res. Soc. Symp. Proc

      Volume: 1642 Pages: -

    • DOI

      10.1557/opl.2014.447

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Electrical Properties of (110)-Oriented Nondoped Mg2Si Films with p-Type Conduction Prepared by RF Magnetron Sputtering Method2014

    • Author(s)
      Shota Ogawa, Atsuo Katagiri, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Kensuke Akiyama, Yoshisato Kimura, Hiroshi Uchida, and Hiroshi Funakubo
    • Journal Title

      J. Electronic Mater.

      Volume: 43(6) Pages: 2269-2273

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Si粒子表面に形成した鉄シリサイドの光触媒効果による水素生成2015

    • Author(s)
      秋山賢輔,高橋亮,舟窪浩,入江寛,松本佳久
    • Organizer
      日本化学会第95春季年会
    • Place of Presentation
      日本大学 船橋キャンパス(千葉県)
    • Year and Date
      2015-03-28
  • [Presentation] AuコートSi上に合成した鉄シリサイドのPL発光特性2015

    • Author(s)
      秋山賢輔,舟窪浩
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス(神奈川県)
    • Year and Date
      2015-03-14
  • [Presentation] スパッタリング法によるCa-Si膜の作製と熱電特性評価2015

    • Author(s)
      上原睦雄、新井洋喜、小川正太、秋山賢輔、松島正明、内田寛、木村好里、舟窪浩
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学 湘南キャンパス(神奈川県)
    • Year and Date
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [Presentation] スパッタリング法によるCa-Si膜の作製と電気特性評価2015

    • Author(s)
      上原睦雄、新井洋喜、小川正太、秋山賢輔、松島正明、内田寛、木村好里、舟窪浩
    • Organizer
      第53回セラミックス基礎科学討論会
    • Place of Presentation
      京都テルサ(京都府民総合交流プラザ)(京都府)
    • Year and Date
      2015-01-08 – 2015-01-09
  • [Presentation] Si粒子表面に形成した鉄シリサイドの光触媒効果による水素生成2014

    • Author(s)
      秋山賢輔,高橋亮,吉水 暢治,舟窪浩,入江寛,松本佳久
    • Organizer
      第21回光触媒シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京大学 生産技術研究所(東京都)
    • Year and Date
      2014-12-12
  • [Presentation] Growth of low-defect-density β-FeSi2 on Si via vapor-liquid-solid (VLS) method using liquids phase obtained by Au-Si eutectic reaction2014

    • Author(s)
      Kensuke Akiyama and Hiroshi Funakubo
    • Organizer
      Materials Research Society Symposium 2014-fall meeting
    • Place of Presentation
      Hynes Convention Center and Sheraton Boston Hotel(USA)
    • Year and Date
      2014-12-02
  • [Presentation] β-FeSi2の光触媒効果による水素生成2014

    • Author(s)
      秋山賢輔, 原嘉昭,高橋亮, 吉水暢治, 舟窪浩, 入江寛, 松本佳久
    • Organizer
      第61回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学(北海道)
    • Year and Date
      2014-09-19
  • [Presentation] Photoluminescence properties of β-FeSi2 on Treated Si Surface by Metals2014

    • Author(s)
      Kensuke Akiyama and Hiroshi Funakubo
    • Organizer
      ICSS-SILICIDE 2014
    • Place of Presentation
      東京理科大学 葛飾キャンパス(東京都)
    • Year and Date
      2014-07-28
  • [Book] シリサイド系半導体の科学と技術(前田佳均 編著)2014

    • Author(s)
      秋山賢輔,末益 崇,舟窪 浩(他12名共著)
    • Total Pages
      84-93, 154-163
    • Publisher
      裳華房
  • [Remarks] 東京工業大学大学院総合理工学研究科舟窪研究室ホームページ

    • URL

      http://f-lab.iem.titech.ac.jp/f-lab.htm

URL: 

Published: 2016-05-27  

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