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2015 Fiscal Year Annual Research Report

ヘルスモニタリング用高性能・多機能無線フレキシブルCMOS/MEMSデバイス

Research Project

Project/Area Number 26709026
Research InstitutionOsaka Prefecture University

Principal Investigator

竹井 邦晴  大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (20630833)

Project Period (FY) 2014-04-01 – 2016-03-31
Keywordsフレキシブルデバイス / 電子デバイス / ナノ材料 / 健康管理デバイス
Outline of Annual Research Achievements

本研究では、これまで実現がされてこなかったフレキシブル基板上での低消費電力・無線CMOS/MEMS集積デバイスの実現を目指した。平成26年度は、目標達成に向け、(1)CMOS回路とその集積デバイスをフレキシブル基板上に形成するプロセス技術の開発、(2)低消費電力化へ向けた各トランジスタの特性向上、(3)印刷形成したセンサとCMOS回路の集積化、の3点について研究開発を行った。そして平成27年度は、これらの結果をもとに(1)CMOS回路の更なる特性向上による低消費電力化及び無線システムの構築、(2)センサと回路の更なる集積化による高性能化、(3)ウェアラブル健康管理デバイス開発、の3点について研究開発を行った。まずCMOS回路の特性向上については、トランジスタ作製プロセスの改善及びナノ材料界面の最適化により、トランジスタ移動度を約1.5倍の10cm2/Vsまで向上させることが出来た。また高移動度トランジスタにより、比較的低消費電力のフリップフロップ回路及び差動増幅回路の開発に成功した。さらに本回路とセンサを集積化させることで、温度センサの出力を増幅回路で約38倍に増幅することが可能であることもわかった。最後に、その他のセンサも回路と集積化させることで、初めて活動量、体温、心拍などを計測可能なフレキシブル健康管理デバイスの開発に成功し、その実証試験を行った。またこれらのセンサ及び回路が、基板の曲げに対しても安定した動作をしていることを確認した。当初予定していた無線電源供給方法については、研究費と装置の関係上、開発を行うことが出来なかったが、無線コイルによる信号伝搬が可能であることは確認できており、さらに構造を工夫し装置を購入することで実現が可能であると考察している。

Research Progress Status

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Causes of Carryover

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Expenditure Plan for Carryover Budget

27年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (34 results)

All 2016 2015 Other

All Journal Article (8 results) (of which Peer Reviewed: 5 results,  Acknowledgement Compliant: 8 results,  Open Access: 1 results) Presentation (23 results) (of which Int'l Joint Research: 15 results,  Invited: 13 results) Book (2 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] An extremely highly selective flexible compliant tactile touch sensor sheet2016

    • Author(s)
      S. Nakata, K. Kanao, S. Harada, T. Arie, K. Takei
    • Journal Title

      Physica Status Solidi A

      Volume: 213 Pages: NA

    • DOI

      10.1002/pssa.201600078

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] 印刷形成した触覚・摩擦・温度分布計測可能な電子皮膚2016

    • Author(s)
      竹井邦晴
    • Journal Title

      光アライアンス

      Volume: 4月号 Pages: 32-36

    • Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Highly stable liquid-solid-metal contact toward multi-layered detachable flexible devices2015

    • Author(s)
      S. Harada, T. Arie, S. Akita, K. Takei
    • Journal Title

      Advanced Electronic Materials

      Volume: 1 Pages: 1500080

    • DOI

      10.1002/aelm.201500080

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Air ambient-operated pNIPAM-based flexible actuators stimulated by human body temperature and sunlight2015

    • Author(s)
      Y. Yamamoto, K. Kanao, T. Arie, S. Akita, K. Takei
    • Journal Title

      ACS Applied Materials & Interfaces

      Volume: 7 Pages: 11002-11006

    • DOI

      10.1021/acsami.5b02544

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] High performance, mechanically flexible, and vertically integrated three-dimensional carbon nanotube and InGaZnO complementarycircuits with a temperature sensor2015

    • Author(s)
      W. Honda, S. Harada, S. Ishida, T. Arie, S. Akita, K. Takei
    • Journal Title

      Advanced Materials

      Volume: 27 Pages: 4674-4680

    • DOI

      10.1002/adma.201502116

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Mechanically flexible and high-performance CMOS logic circuits2015

    • Author(s)
      W. Honda, T. Arie, S. Akita, K. Takei
    • Journal Title

      Scientific Reports

      Volume: 5 Pages: 15099

    • DOI

      10.1038/srep15099

    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] ウェアラブル健康管理パッチデバイスの開発に向けて2015

    • Author(s)
      竹井邦晴
    • Journal Title

      エレクトロニクス実装学会誌

      Volume: 18 Pages: 422-427

    • Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] ウェアラブル・フレキシブル健康管理デバイス2015

    • Author(s)
      竹井邦晴
    • Journal Title

      応用物理

      Volume: 84 Pages: 1002-1007

    • Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] Challenge and perspective of macro-scale, multi-functional high performance flexible electronics2016

    • Author(s)
      K. Takei
    • Organizer
      SPIE Defense+Commercial Sensing
    • Place of Presentation
      Baltimore Convention Center (ボルチモア, アメリカ)
    • Year and Date
      2016-04-17 – 2016-04-21
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] All solution-processed flexible memory integrated with tactile sensor2016

    • Author(s)
      K. Kanao, S. Nakata, T. Arie, S. Akita, K. Takei
    • Organizer
      29th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2016)
    • Place of Presentation
      Shanghai International Conference Center (上海, 中国)
    • Year and Date
      2016-01-24 – 2016-01-28
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Flexible and high selective pressure sensitive rubber for tactile sensing2016

    • Author(s)
      S. Nakata, K. Kanao, S. Harada, T. Arie, S. Akita, K. Takei
    • Organizer
      29th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2016)
    • Place of Presentation
      Shanghai International Conference Center (上海, 中国)
    • Year and Date
      2016-01-24 – 2016-01-28
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 高性能・多機能フレキシブルセンサシート2016

    • Author(s)
      竹井邦晴
    • Organizer
      有機エレクトロニクス材料研究会 第215回研究会
    • Place of Presentation
      新宿NSビル(東京都・新宿区)
    • Year and Date
      2016-01-22 – 2016-01-22
    • Invited
  • [Presentation] ナノ材料を用いたフレキシブル材料・デバイスの作製技術・応用展開2016

    • Author(s)
      竹井邦晴
    • Organizer
      情報機構セミナー
    • Place of Presentation
      大田区産業プラザ(東京都・大田区)
    • Year and Date
      2016-01-18 – 2016-01-18
    • Invited
  • [Presentation] フレキシブルデバイス応用に向けた取り外し可能なシート間の電気接触の提案2015

    • Author(s)
      原田真吾、有江隆之、秋田成司、竹井邦晴
    • Organizer
      第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
    • Year and Date
      2015-10-28 – 2015-10-30
  • [Presentation] 無機ナノ材料の印刷技術による大面積フレキシブルデバイス2015

    • Author(s)
      竹井邦晴
    • Organizer
      機能性ハイブリッド材料研究会
    • Place of Presentation
      回路会館(東京都・杉並区)
    • Year and Date
      2015-10-21 – 2015-10-21
    • Invited
  • [Presentation] Printed high performance flexible device sheets2015

    • Author(s)
      K. Takei
    • Organizer
      228th ECS Meeting
    • Place of Presentation
      Phoenix Convention Center (フェニックス, アメリカ)
    • Year and Date
      2015-10-11 – 2015-10-15
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Nanomaterial-based printed flexible device sheets2015

    • Author(s)
      K. Takei
    • Organizer
      International Symposium on Thin Film Technologies for Flexible Devices (JSPS Autumn Meeting 2015)
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-14 – 2015-09-14
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] ナノ材料の印刷技術を用いた大面積フレキシブル・ウェアラブルデバイスシート2015

    • Author(s)
      K. Takei
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
    • Invited
  • [Presentation] 高い信頼性動作へ向けたpNIPAMアクチュエータへのCNT添加の検討2015

    • Author(s)
      山本祐輝、金尾顕一朗、有江隆之、秋田成司、竹井邦晴
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] フレキシブルCMOS回路、温度センサ三次元積層集積デバイス2015

    • Author(s)
      本田航、原田真吾、石田昌平、有江隆之、秋田成司、竹井邦晴
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] Inorganic-based heterogeneously integrated flexible transistors and sensors2015

    • Author(s)
      K. Takei
    • Organizer
      15th International Meeting on Information Display (IMID 2015)
    • Place of Presentation
      EXCO, (デグ, 韓国)
    • Year and Date
      2015-08-18 – 2015-08-21
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Printed Nanomaterial-based flexible sheets2015

    • Author(s)
      K. Takei
    • Organizer
      Nanotechnology Congress & Expo
    • Place of Presentation
      Fleming's Conference Hotel (フランクフルト, ドイツ)
    • Year and Date
      2015-08-11 – 2015-08-13
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Flexible and wearable sensors2015

    • Author(s)
      K. Takei
    • Organizer
      16th International Conference on Human-Computer Interaction (HCI International 2015)
    • Place of Presentation
      Westin Bonaventure Hotel (ロサンゼルス, アメリカ)
    • Year and Date
      2015-08-02 – 2015-08-07
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Carbon nanotube-based printed flexible electronics: Materials, fabrication, and applications2015

    • Author(s)
      K. Takei
    • Organizer
      16th International Conference on the Science and Application of Nanotube (NT15)
    • Place of Presentation
      名古屋大学(愛知県・名古屋市)
    • Year and Date
      2015-06-29 – 2015-07-03
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Carbon nanotube-based high selective tactile pressure and temperature sensor arrays for an artificial skin application2015

    • Author(s)
      K. Kanao, S. Harada, Y. Yamamoto, W. Honda, T. Arie, S. Akita, K. Takei
    • Organizer
      16th International Conference on the Science and Application of Nanotube (NT15)
    • Place of Presentation
      名古屋大学(愛知県・名古屋市)
    • Year and Date
      2015-06-29 – 2015-07-03
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Flexible, printed tactile, friction, and temperature sensor array for artificial skin2015

    • Author(s)
      S. Harada, K. Kanao, Y. Yamamoto, T. Arie, S. Akita, K. Takei
    • Organizer
      18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015)
    • Place of Presentation
      Dena'ina Convention Center (アンカレジ, アメリカ)
    • Year and Date
      2015-06-21 – 2015-06-25
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Biological inspired superhydrophobic and self-cleaning flexible silicone rubber2015

    • Author(s)
      S. Harada, T. Arie, S. Akita, K. Takei
    • Organizer
      18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015)
    • Place of Presentation
      Dena'ina Convention Center (アンカレジ, アメリカ)
    • Year and Date
      2015-06-21 – 2015-06-25
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Inorganic material-based flexible CMOS circuit and optical sensor2015

    • Author(s)
      W. Honda, T. Arie, S. Akita, K. Takei
    • Organizer
      18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015)
    • Place of Presentation
      Dena'ina Convention Center (アンカレジ, アメリカ)
    • Year and Date
      2015-06-21 – 2015-06-25
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Electrical powerless, thermal and optical responsive polymer-based actuator2015

    • Author(s)
      Y. Yamamoto, K. Kanao, T. Arie, S. Akita, K. Takei
    • Organizer
      18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015)
    • Place of Presentation
      Dena'ina Convention Center (アンカレジ, アメリカ)
    • Year and Date
      2015-06-21 – 2015-06-25
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 印刷形成したフレキシブルセンサシートの開発とそのウェアラブル応用への課題2015

    • Author(s)
      竹井邦晴
    • Organizer
      情報技術協会セミナー
    • Place of Presentation
      技術情報協会(東京都・品川区)
    • Year and Date
      2015-05-22 – 2015-05-22
    • Invited
  • [Presentation] Printed flexible sensor sheet2015

    • Author(s)
      K. Takei
    • Organizer
      Energy Materials Nanotechnology (EMN) Phuket Meeting
    • Place of Presentation
      Holiday Inn Resort Phuket (プーケット, タイ)
    • Year and Date
      2015-05-04 – 2015-05-07
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Book] ウェアラブルデバイスの小型、薄型化と伸縮、柔軟性の向上技術2015

    • Author(s)
      竹井邦晴、野村武史、坂井光治、前川貴、圓本吉彦、大武裕治、粟生浩之、松本博文、八甫谷明彦、吉澤徳夫、宮崎政志、中尾知、伊達仁昭、高橋浩一、清川清、馬塲宏行、河合隆史、藤掛英夫、小須田司、他54名
    • Total Pages
      510 (455-463)
    • Publisher
      技術情報協会
  • [Book] Wearable and Flexible Sensor Sheets toward Periodic Health Monitoring2015

    • Author(s)
      K. Takei, A. Nag, S. C. Mukhopadhyay, W. Xu, M.-C. Huang, S. Pirbhulal, H. Zhang, W. Wu, Y. T. Zhang, H. Ghasemzadeh, R. Jafari, J. Yuan, K. K. Tan, P. Bagade, A. Banerjee, S. K. S. Gupta, N. J. Blasdel, C. N. Monty, M. Farooq, E. Sazonov, 他15名
    • Total Pages
      333 (175-191)
    • Publisher
      Springer
  • [Remarks] ナノ材料-フレキシブルデバイスグループ

    • URL

      https://sites.google.com/site/kuniharutakeijp/

URL: 

Published: 2017-01-06  

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