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2015 Fiscal Year Research-status Report

ナノインプリントグラフォエピタキシーの基礎研究

Research Project

Project/Area Number 26870505
Research InstitutionUniversity of Hyogo

Principal Investigator

岡田 真  兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (60637065)

Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Keywordsナノインプリント / 分子配向 / ナノインプリントグラフォエピタキシー
Outline of Annual Research Achievements

ナノインプリントグラフォエピタキシーは分子配向を有する微細構造物を作製する技術であり、パターニングした材料上に再度パターニングを行うことが出来るという特徴がある。
またこれまでの研究で、光反応性高分子液晶の一つであるP6CAMに対してナノインプリントグラフォエピタキシーを行うと作製されたラインの長軸に対して平行にP6CAM分子が配向することが分かっている。そのため、同一P6CAM上に2回ナノインプリントグラフォエピタキシーを行うことで、分子配向が2回誘起され、単純なパターン内に複雑な分子配向が発現するのではないかと考えた。そこで平成27年度はダブルナノインプリントグラフォエピタキシープロセスについて研究を行った。
1回目のナノインプリントグラフォエピタキシーでP6CAM上に1μmのラインアンドスペース(L&S)パターンを作製し、続いて1μm-L&Sパターンに対して直角になるように2μm-L&Sパターンモールドを配置して2回目のナノインプリントグラフォエピタキシーを行った。このようにして作製した2μm-L&S P6CAMパターンを偏光顕微鏡で観察した。その結果、形状は単純なL&Sパターンであるにもかかわらずドット状の分子配向パターンが発現していることが分かった。
以上のように、非常に簡便なダブルナノインプリントグラフォエピタキシーによって単純なパターン内に複雑な分子配向パターンを発現させることが出来ることを見出した。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

本研究課題である「ナノインプリントグラフォエピタキシーの基礎研究」を続けてきた結果着想したダブルナノインプリントグラフォエピタキシーは、形状因子と分子配向因子をより密に融合させることが出来るため、ナノインプリントグラフォエピタキシー技術の更なる発展が期待できる。また「研究実績の概要」には記述していないが、材料の流れが分子配向にどのような影響を与えるのか調べる実験に着手しており、当初の計画以上に進展している。

Strategy for Future Research Activity

これまでの研究からP6CAMに対してナノインプリントグラフォエピタキシーを行った場合、充填時の流れが分子配向に影響を与えていると推測している。そこで、充填時の流れが分子配向に与える影響について評価する。また、ダブルナノインプリントグラフォエピタキシープロセスを簡略化することで、各段階での分子配向状態を評価する。

  • Research Products

    (7 results)

All 2016 2015

All Presentation (7 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results)

  • [Presentation] ダブルナノインプリントグラフォエピタキシーによって作製した液晶高分子パターンの分子配向評価2016

    • Author(s)
      岡田真、谷口 雄亮、春山 雄一、小野 浩司、川月 喜弘、松井真二
    • Organizer
      2016年第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学(東京都目黒区)
    • Year and Date
      2016-03-19
  • [Presentation] ナノインプリントグラフォエピタキシーによって作製した液晶高分子ネガ型及びポジ型パターンの分子配向観察2016

    • Author(s)
      岡田真、谷口 雄亮、春山 雄一、小野 浩司、川月 喜弘、松井真二
    • Organizer
      2016年第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学(東京都目黒区)
    • Year and Date
      2016-03-19
  • [Presentation] Evaluation of Molecular Orientation of Photo-Cross-Linkable Liquid Crystalline Polymer in 200 nm-Line and Space Pattern by Measuring Diffraction Efficiency2015

    • Author(s)
      Makoto Okada, Yusuke Taniguchi, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
    • Organizer
      28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2015
    • Place of Presentation
      富山国際会議場(富山県富山市)
    • Year and Date
      2015-11-13
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 'Double nanoimprint-graphoepitaxy for localized liquid crystalline molecular orientation in imprinted pattern2015

    • Author(s)
      Makoto Okada, Yusuke Taniguchi, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
    • Organizer
      The 14th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology 2015
    • Place of Presentation
      Napa, USA
    • Year and Date
      2015-10-23
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Localized liquid crystalline molecular orientation in line and space pattern fabricated by double nanoimprint-graphoepitaxy2015

    • Author(s)
      Makoto Okada, Yusuke Taniguchi, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
    • Organizer
      The 41st International Conference on Micro and Nano Engineering 2015
    • Place of Presentation
      The Hague, The Netherlands
    • Year and Date
      2015-09-23
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] ダブルナノインプリントグラフォエピタキシーによる液晶分子の局所配向2015

    • Author(s)
      岡田真、谷口 雄亮、春山 雄一、小野 浩司、川月 喜弘、松井真二
    • Organizer
      2015年 第76回 応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-16
  • [Presentation] Temperature dependence of molecular orientation of liquid crystalline polymer induced by nanoimprint-graphoepitaxy2015

    • Author(s)
      Makoto Okada, Risa Hosoda, Yusuke Taniguchi, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
    • Organizer
      The 59th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication 2015
    • Place of Presentation
      San Diego, USA
    • Year and Date
      2015-05-27
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2017-01-06  

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