1986 Fiscal Year Annual Research Report
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60890010
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| Research Institution | Tokai University |
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Principal Investigator |
高山 一男 東海大, 公・私立大学の付置, 教授 (20023690)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
福井 了太 日本真空KK技術開発部, 研究員
高木 憲一 日本真空KK技術開発部, 研究員
岡本 耕輔 日本真空KK技術開発部, 技士長
砂子 克彦 東海大学, 理学部物理学科, 助教授 (50056016)
矢部 栄二 東海大学, 開発技術研究所, 助教授 (70056018)
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| Keywords | イオン源 / プラズマ |
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| Research Abstract |
プラズマ・フィラメント型イオン源は、長寿命(300時間以上)で、酸素イオン生成が可能であることは、前年度までに報告してある。
本年度は、イオン注入用イオン源に要求されるイオン種、及び、イオンビーム量について、実用化を目的として、As【H_3】、P【F_3】、B【F_3】、及び【O_2】を用いて実験を行った。尚、イオン・ビームは40KVで引き出し、90゜磁場偏向型質量分析器で質量分析した質量スペクトルのピークの値である。Iisはイオン源でのアーク放電電流である。
(1)【As^+】イオン:【As^+】イオンは、As【H_3】ガス=1.9SCCM、Iis=1.7(A)で約10(mA)の【As^+】イオン電流値を確認した。
(2)【P^+】及び【B^+】イオン:【P^+】イオンは【PF_3】ガス=0.65SCCM、Iis=2.0(A)で、【B^+】イオンは【BF_3】ガス=1.3SCCM、Iis=3.0(A)で各々約3(mA)の【P^+】、及び【B^+】イオン電流値を確認した。
(3)【O^+】イオン:【O^+】イオンは【O_2】ガス=1.2SCCM、Iis=2.0(A)で約3(mA)の【O^+】イオン電流値を確認した。
現有、実験装置では排気系、及び電源装置関係に制限があるため充分なイオン電流値を得ることは不可能である。今後、実用化のためには大型の排気系、及び電源装置が必要である。
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[Publications] R.Fukui: Proc.10th Symp.on ISIAT'1986 Tokyo. 1. 87-92 (1986)
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[Publications] E.Yabe: Nucl.Instrum.Methods,B7(1987). 1. 209-211 (1987)
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[Publications] E.Yabe: Rev.Sci.Instrum. 1. 1-5 (1987)
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[Publications] 矢部栄二: 東海大学工学部紀要. 1. (1987)
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[Publications] E.Yabe: Japan J.Appl.Phys.
