1986 Fiscal Year Annual Research Report
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61460141
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
藤岡 弘 阪大, 工学部, 助教授 (40029228)
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| Keywords | 電子ビームテスティング / リアルタイム計測 / 超広帯域二次電子検出器 |
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| Research Abstract |
1.超広帯域信号検出システム
(1)エネルギー分光器時間特性の軌道解析
試料面から分光器を経て、二次電子増倍管のシンチレータに到る放出二次電子の軌道を時間特性を含めて解析し、放出二次電子の持つエネルギー分布に基づく検出電子ビームパルスの時間分散を1ns以下に抑える分光器構造を設計した。
(2)上の解析に基づき、プリアンプ系を含めた総合帯域幅100MHzを持つ信号検出システムを設計、製作した。
2.リアルタイム電子ビームテスト装置
上記の信号検出システムを現有のストロボ走査電子顕微鏡に組み込み、二次電子信号検出特性を確認した。
3.ランダム故障解析の基礎実験
金属スタブ試料に100MHzの正弦波を印加し、これを本信号検出システムで検出、ディジタイジング・オシロスコープ上に波形表示し、ロジックレベルを帯域100MHzで検出できることを確認した。
次年度は、実デバイスに本システムを応用する実験を行う。
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