1987 Fiscal Year Annual Research Report
超高温プラズマ診断用ショットキ・ダイオード検出器の開発
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62050008
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
水野 皓司 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (30005326)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
鈴木 哲 東北大学, 電気通信研究所, 助手 (90171230)
築島 隆繁 名古屋大学, 工学部, 教授 (20023020)
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| Keywords | サブミリ波 / GaAsショットキ・バリアー・ダイオード / ストイキオメトリー / 雑音 |
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| Research Abstract |
本研究は, サブミリ波超高温プラズマ診断技術において不可欠な高感度, 高速応答のショットキ・バリアー・ダイオード(SBD)の性能向上及び各研究機関への供給を目的として実施された.
1.SBDの性能向上
SBD検出期の性能は, その感度と雑音特性の両方に依存する. SBDの雑音特性については従来不明な点が多かったが, 本研究ではGaAs表面のストイキオメトリー(GaとAsの組成比)に注目し, それをESCA(Electron Spectroscopy for Chamical Anolysis)で分析しながら雑音特性との関係を調べた. その結果次のようなことが明らかになった. (1)GaAs表面のストイキオメトリーは雑音特性に影響を及ぼし, 1:1に近づくほど雑音(20MHz 以上の領域)が小さい. (2)GaAs表面のストイキオメトリーを1:1に近づけるためには, アンモニア水のリンスが効果的であり, 20MHz 以上の雑音が3dB以上低減される. (3)20MHz 以上の雑音に対して, GaAs表面の酸化物の影響は少ない.
2.SBDの供給
本年度は2研究機関に10ヶのSBDを供給した. 尚, 本研究が科学研究費補助金で開始されて以来, これまでの供給SBDの総数は160ヶ余りになっている.
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[Publications] Koji Mizuno: Int'l J.Infrared & Millimeter Wave. 4.3. 321-325 (1983)
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[Publications] 水野 皓司: 核融合研究. 51.1. (1984)
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[Publications] 水野 皓司: 電気学会 計測研究会. IMー85 7ー11. 11-19 (1985)
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[Publications] 鈴木 哲: 電子通信学会 電子デバイス研究会. EDDー86ー10. 71-78 (1986)
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[Publications] 鈴木 哲: 応用物理. (1988)
