反応性プラズマの制御

1987 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 62307013
• Research Institution: Kyoto University
• Principal Investigator: 板谷 良平 京都大学, 工学部, 教授 (90025833)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 田頭 博昭 北海道大学, 工学部, 教授 (10001174) ; 広瀬 全孝 広島大学, 工学部, 教授 (10034406) ; 旗野 嘉彦 東京工業大学, 理学部, 教授 (90016121) ; 後藤 俊夫 名古屋大学, 工学部, 教授 (50023255)
• Keywords: プロセシングプラズマ / プラズマプロセス / プラズマの制御

Research Abstract

本研究は, 物質科学の加工技術の基礎を成すプロセシングプラズマを意のままに制御する方策を探求し, これを体系化することを目的とした, 昭和63年度発足の重点領域研究として予定されている「反応性プラズマの制御」の, 具体的な研究計画立案のための準備を目的としたものである. 従って, 研究の実施経過は次の通りである.
第一回の計画立案のための会議を10月4日に東京で開催し, 昭和63年度から3か年間の研究計画を討議した. 即ち, 5つの計画研究班の10の計画研究のそれぞれについて, 内容の検討を行ない, 研究経費の大要を定めた.
第2回の会議は総括班会議として, 10月21日, 東京で開催した. ここでは, これ迄の経過の報告と本重点領域研究の包含範囲, 並びに運営方法についての基本に関する総括的討議を行ない計画研究の内容について検討した.
第3回は昭和63年1月5日, 京都に於いて班長会議を開き, 各研究班の公募研究を含めた研究方針を討議すると共に, 公募研究の研究課題の採択に係わる審査基準について討議した.
第4回として, 1月28日より30日迄, 藤沢市に於いてプロセシングプラズマ研究会を開催し, 反応性プラズマの制御に関するこの1年間の研究の進捗状況の把握に務めると共に, 次年度以降の研究発表会の在り方を討議した.
第5回は, 3月17日, 東京に於いて研究打ち合わせ会を開き, 昭和63年度の研究の方向を定めた. これを受けて, 幹事会を3月19日と22日に京都で開き, 昭和63年度の行事予定の細目を検討した.