1987 Fiscal Year Annual Research Report
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62420021
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
日比野 倫夫 名古屋大学, 工学部, 教授 (40023139)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
内川 嘉樹 名古屋大学, 工学部, 教授 (20023260)
花井 孝明 名古屋大学, 工学部, 助手 (00156366)
杉山 せつ子 名古屋大学, 工学部, 助手 (00115586)
下山 宏 名古屋大学, 工学部, 助教授 (30023261)
丸勢 進 名古屋大学, 工学部, 教授 (20022981)
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| Keywords | 高解像度電子顕微鏡観察 / 試料損傷 / 走査透過電子顕微鏡 / 電界放出電子銃 / 信号演算処理 / ノイズ除去 |
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| Research Abstract |
62年度の研究実施計画通り,超高圧走査透過電顕の改良と信号演算システムの開発に関する研究を行った. 補助金についても計画通り使用し,備品として購入した画像処理・解析装置を基礎として信号演算の基本システムを開発し,また各種部品(消耗品)の購入によっては電顕の改良を行うことができた. 以下に本研究で得られた新たな知見,成果を記載する.
1, 電顕の改良
(1)電界放出電子銃の搭載・・・電子銃室をイオンポンプで直接排気する方法により10^<-8>Pa台の超高真空を得,また新しいモニター・コントロール法を開発して,1000kV電顕において世界で初めて電界放出電流を得,像観察にも成退した. (2)電界放出電子銃の最適動作の検討・・・微小電子プローブに対する浮遊電磁界および機械的振動の影響を検討した結果,加速管中央付近にクロスオーバーを形成するのがよいことが分った. (3)エネルギー分析器の安定度向上・・・非弾性散乱および非散乱電子の高精度分離のために,分析器マグネットの励磁電流安定度の向上を図り,1×10^<-6>より良い安定度を得た.
2.信号演算システムの開発
(1)高効率信号取込み・・・信号取込みにおけるフィルタ条件を検討し,フィルタの製作を行い,その効果を確認した. (2)ノイズ除去のソフトウェア・・・複数画像間の相関と重ね合せを併用したノイズ除去および評価のためのソフトウェアを開発した. (3)コントラスト増強ソフトウェア・・・弾性,非弾性散乱電子および非散乱電子間の演算によるコントラスト増強のための演算ソフトウェアを開発した.
以上の如く,62年度の研究は順調に進展しており,計画通り63年度の研究を進めることができると考える.
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Research Products
(10 results)
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[Publications] 丸勢 進: Abstracts of the Hawaii Seminar on Electron Microscopy. 15-16 (1987)
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[Publications] 下山 宏: Abstracts of the Hawaii Seminar on Electron Microscopy. 21-22 (1987)
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[Publications] 丸勢 進: Hitachi Instrument News. 11. 10-14 (1987)
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[Publications] 日比野倫夫: 日本電子顕微鏡学会分科会予稿集. 5-8 (1987)
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[Publications] 池田 晋: 応用物理. 56. 97-105 (1987)
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[Publications] 杉山範雄: Micro Beam Analysis ′87. 79-81 (1987)
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[Publications] 久野裕次: IEEE Trans. Magnetics. (1988)
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[Publications] 日比野倫夫: Proc. 4th Asia-Pacific Conference on Electron Microscopy. (1988)
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[Publications] 丸勢 進: Proc. 4th Asia-Pacific Conference on Electron Microscopy. (1988)
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[Publications] 杉山範雄: Scanning. (1988)
