1987 Fiscal Year Annual Research Report
人工格子堆積式スパッタ法による強磁性ホイスラ合金膜の磁気光学特性向上に関する研究
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62460117
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
直江 正彦 東京工業大学, 工学部, 教授 (40016465)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
星 陽一 東京工芸大学, 工学部, 講師 (20108228)
中川 茂樹 東京工業大学, 工学部, 助手 (60180246)
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| Keywords | 光磁気記録媒体 / 巨大カー回転角材料 / 強磁性ホイスラ合金 / 人工格子膜 / 交互堆積スパッタ法 / 対向ターゲット式スパッタ装置 |
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| Research Abstract |
PtMnSbホイスラー合金はC1bの結晶構造を持ち, 現在知られている材料の中でも最大のカー回転角を有するものである. この巨大なKerr回転角を利用すれば, S/N比の良好な光磁気記録媒体を作成することができる. 我々はこの材料の薄膜化と垂直磁気異方性を誘起させることを目的として実験を行った. まず対向ターゲート式スパッタ装置においてMnターゲット上にSbチップ, Ptチップを配置した複合ターゲット構造とし膜を堆積した. この場合, 膜中結晶子の配向面は基板温度が100℃から400℃に上昇するにしたがい, (111)→(220)→(111)→(111)+(400)と複雑に変化するが, 基板温度200℃, 膜堆積速度250
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[Publications] Yoichi Hoshi;Masahiko Naoe: IEEE Trans.on Magn.,. MAG-23. 2251-2253 (1987)
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[Publications] Akimitsu Morisako;Mitsunori Matsumoto;Masahiko Naoe: IEEE Trans.on Magn.MAG-23. 2470-2472 (1987)
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[Publications] Masahiko Naoe;Michio Yata;Kazumi Matsumoto: IEEE Trans.on Magn.MAG-23. 3429-3431 (1987)
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[Publications] Masao Nagakubo;Masahoko Naoe: Proc.of the International Symposium on Physics of Magnetic Materials,. 88-91 (1987)
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[Publications] Akimitsu Morisako;Mitsunori Matsumoto;Masahiko Naoe: Proc.of the InternationalSymposium on Physics of Magnetic Materials,. 126-129 (1987)
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[Publications] Masao Nagakubo;Tetsuya Yamamoto;Mashiko Naoe: J.Appl.Phys. to be published in 1988. (1988)
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[Publications] 直江正彦: "電気工学ハンドブック新版,電気学会編,分担執筆(第7編)" 天野良男, (1988)
