1988 Fiscal Year Annual Research Report
新しい高効率高輝度紫外・真空紫外光源(エキシマ・フラッシュランプ)の研究開発
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62460137
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| Research Institution | KEIO UNIVERSITY |
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Principal Investigator |
小原 實 慶應義塾大学, 理工学部, 助教授 (90101998)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
中村 義春 慶應義塾大学, 理工学部, 助教授 (90051763)
野口 晃 慶應義塾大学, 理工学部, 教授 (90051648)
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| Keywords | エキシマ / マイクロ波放電 / 紫外光源 / 真空紫外光源 / フラッシュランプ |
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| Research Abstract |
昭和62年度の成果を踏まえて、昭和63年度は高繰り返し化による平均出力の増大、および連続放電励起の可能性調査の研究を実施し、次のような成果を得た。
1.2.45GHzのマイクロ波放電励起により100KHzの高繰り返し速度のArF(193nm)およびKrF(248nm)のエキシマランプを開発した。
2.連続放電励起に関しては、擬似連続マイクロ波励起を達成した。パルス幅8ms、繰り返し速度100Hzのエキシマランプ(ArF、KrF)を実現した。完全な連続放電励起でない理由は、マグネトロン管の安定動作のために、休止時間を設けているためである。
3.真空紫外ArFエキシマランプを55KHzの高繰り返し速度で励起すると、31.5Wの真空紫外光出力が8.2%の内部効率で発生できた。8ms、100Hzの擬似連続動作では、28.8Wの出力が4.4%の内部効率で得られた。これらの時の混合ガスは100Torrで、混合比はF_2/Ar/He/Ne/=2/2/48/48(%)であった。
4.紫外KrFエキシマランプを55KHzの高繰り返し速度で励起すると、平均出力43Wが内部効率12.5%で得られた。8ms、100Hzの擬似連続動作では、平均出力56Wが内部効率8.3%で発生できた。これらの時の混合ガスは50Torrで、混合比はF_2/Kr/He/Ne=2/1/48.5/48.5(%)であった。
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[Publications] Kumagai Hiroshi.: Applied Physics Letters. (1989)
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[Publications] Obara Minoru.: Applied Physics Letters. (1989)
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[Publications] Kumagai Hiroshi.: Journal of Applied Physics. (1989)
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[Publications] Kumagai Hiroshi.: IEEE Transaction on Plasma Science. 16. 453-458 (1988)
