1987 Fiscal Year Annual Research Report
新(熱電子放射)型プラズマCVD装置による立方晶窒化ほう素膜の形成
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62460193
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| Research Institution | Nagaoka University of Technology |
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Principal Investigator |
一ノ瀬 幸雄 村岡技術科学大学, 工学部, 教授 (00115099)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
山本 直紀 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (90108184)
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| Keywords | CVD / 分光システム / 集量分析計 / プラズマ光 / 分光 / cBN膜 |
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| Research Abstract |
研究初年度にあたる62年度はほぼ予定通りの進行状況である. 62年度はCVD装置のチャンバーの改造ならびに高感度分光システケ,質量分析計の設置をおこなったので,それぞれの進行状況について報告する.
既存のCVD装置のチャンバーは日本真空技術(株)に依頼した. 主体となる改造は,各種システムとの接続機能の付加である. これにより分光システムならびに質量分析計をチャンバーに接続することが可能となった. また, 原料ガス導入端子の数を増やし,様々な実験条件に対応することを可能にした. さらに,チャンバーに冷却用パイプをとりつけ,長時間,高温実験に耐えるようにした. これらの結果,ほぼ計画通りの実験が可能になった.
高感度分光システムは以下のようなシステムからなっている. チャンバーにとりつけたスプラジル窓からプラズマ光をひろい,日本分光CTー25C型回折格子分光器で分光する. 分光された光は浜松ホトニクスR955フォトマルで検出され,その信号は日本分光DHーBPフォトマルホンダーを経て,横河電機3025型XYレコーダにて記録される. このシステムの設置は終了し,計画通りの動作を確認した.
質覧分析計は日本真空技術MSQー150Aマスフィルター型質量分析計を設置した. チャンバー内からオリフィスを通しガスを質量分析計に導入する. 質量分析計内は付属の真空装置により常に10^<-5>Torr程度の真空が得られている. 質量分析計からの信号は横河電機3025型XYレコーダにて記録される. このシステムについても計画通りの動作が確認された.
以上のシステムにより,cBN膜合成中の基礎データ測定を開始した. 現段階下は特に問題なく測定が進行している.
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[Publications] H.Saitoh;T.Fujii;T.Ishiguro;Y.Ichinose: INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON Non-Equilibrium Solid Phases of Metals and Alloys(SYMPOSIUM PROCEEDINGS).
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[Publications] N.Yamamoto;K.Nishida;H.Morino;Y.Ichinose: INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON Non-Equilibrium Solid Phases of Metals and Alloys(SYMPOSIUM PROCEEDINGS).
