新(熱電子放射)型プラズマCUD装置による立方晶窒化による素膜の形成

1988 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 62460193
• Research Institution: Nagaoka University of Technology
• Principal Investigator: 一ノ瀬 幸雄 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (00115099)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 山本 直紀 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (90108184)
• Keywords: CVD / 分光システム / 質量分析計 / プラズマ光 / 分光 / CBN

Research Abstract

CVD装置チャンバーの改造、高感度分光システム、質量分析計の取付けを行ない、それぞれの性能チェックを行ったのでその進捗状況を以下に報告する。
CVD装置のチャンバー改造の主体は、高感度分光システムおよび質量分析計の接続機能の取付けである。この改造により分光システム、質量分析性を同時に接続し、プラズマ発光分光が可能となるとともに活性種、反応種の質量分析から決定することができる装置となった。その具体的手法を次に述べる。
高感度分光システムは、チャンバーにとりつけた高純度石英窓(スプラジル)からプラズマ光を拾い、日本分光CT-25C型回折格子分光器に導入し分光する。分光された光は浜松ホトニクスR955フォトマルで検出され、その信号は日本分光DM-BPフォトマルホルダーを経て、横河電機3025型X-Yレコーダにて記録される。
一方、質量分析計は日本導光技術MSQ-150Aマスフィルター型質量分析計で、チャンバー内からオリフィスを通し、ガスを質量分析計に導く。質量分析計内は付属の真空装置により常時10^<-5>Torr程度の真空にしてある。質量分析計からの信号は横河電機3025型X-Yレコーダにより記録される。
以上の両システムにより、CBN合成中の基礎データを測定開始したところ、当初未知なるノイズの誘導により測定不能となった。ノイズの発生源の追究の結果、高同波電源からの微小なノイズが配線を通って誘導されることが分り、装置と電源を別室に切り離してノイズ誘導を解決することができたが、この対策に約半年費してしまった。現在、この遅れを挽回するべく努力中である。