1987 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
62460195
|
|---|
| Research Institution | Kyushu University |
|---|
Principal Investigator |
根本 実 九州大学, 工学部, 教授 (90005265)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
堀田 善治 九州大学, 工学部, 助手 (20173643)
佐野 毅 九州大学, 工学部, 助手 (70037810)
|
|---|
| Keywords | 分析電子顕微鏡 / EDS定量分析 / 特性X線強度比 / 吸収補正 / 膜厚測定 / ニッケル合金状態図 / 超耐熱合金 / 合金元素の分配 |
|---|
| Research Abstract |
1.分析電子顕微鏡EDS定量分析の信頼性を高めるために種々の誤差の原因と各々についての改良法を検討した.
2.信頼性の高い定量分析には,k因子の正確な決定が必須条件であり,k因子の理論値と実験値の差異の原因を検討し,実験的決定において申請者らの開発した外挿法の改良と実際の応用を試みた.
3.X線強度の吸収補正と蛍光補正について定量的に検討した.
4.分析領域外で発生するX線の発生原因とその大きさ,試料表面層の影響,結晶方位依存性,X線カウント数などの測定特性X線強度値に及ぼす影響を調べ,各々に対する対策を検討した.
5.特性X線強度比法(DXA法)による膜厚測定について詳細に検討した. 定量分析の精度を上げるには,発生した特性X線の試料による吸収を補正が必要であり,そのためには試料の膜厚を測定しなければならない. 従来の膜厚測定法は電子線回析あるいは像から膜厚を測定するため,いずれも分析過程の電算機処理には直接組み込むことができない. 本研究では,DXA法を同一元素からの特性X線強度比だけではなく, 異種元素の特性X線強度比間まで拡張できることを見い出し,分析プロセスの完全電算機処理化への道を開いた. 改良DXA法の適用可能範囲,信頼性,問題点等を検討した.
6.改良DXA法をNiーAlーTaおよびNiーAlーMo3元合金状態図の解析に応用し,γーγ^12相域における合金元素の分配,2相および3相領域の相境界の温度変化等を実測し,従来の報告と比,検討した. その結果,分析電子顕微鏡により決定された状態図の信頼性は高く,従来の報告にはきわめて不確実なものがあることが明らかとなった. 今後更にEDS定量分析におけるDXA法の改良と電算機処理化の試み,準安定状態図の研究をすすめる予定である.
|
