1988 Fiscal Year Annual Research Report
透過型電子顕微鏡像のオンライン処理システムの開発と結晶像解析への応用
Project/Area Number |
62540240
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Research Institution | Kyoto Institute of Technology |
Principal Investigator |
塩尻 詢 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 教授 (10027774)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
関本 順 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 教務職員 (60142303)
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Keywords | 高分解能電子顕微鏡 / 顕微鏡像画像処理 / 結晶構造像解析 / 表面・界面構造 / 不規則系構造 |
Research Abstract |
本研究は、電子顕微鏡にカメラとマイクロコンピュータを接続することにより、高分解能電子顕微鏡法による構造観察を連続的・自動的に行う簡易なシステムを開発し、これによって化学変化に伴う結晶の成長・転移機構などを原子オーダーで解明することを目的にして実施した。 63年度においては、電子回折動力学理論(マルチスライス法)と電子幾何光学に基づく電子顕鏡計算機シミュレーション像と実際に撮影した観察像とを比較し構造決定を行うプログラムを開発し、また、電子顕微鏡観察像をカメラを通してコンピュータに取り込み結果を出力するまでのハードとソフトを開発することを計画し、これらについてはほぼ完成、昭和63年夏バンコックでの第4回アジヤ太平洋電子顕微鏡学会議で報告した。 さらに、顕微鏡試料を作製し、このシステムを用いて、観察結果を解析することを行い以下の応用成果を得た。 (1) 化学反応による物質の生成の原子格子的研究:銀とテルル薄膜の固相反応過程を解明し、格子間銀原子を含むテルルの超格子、Ag_<2-X>Te_<1+X>(x=0.4)、Ag_<2-X>Te(x=0.2)結晶の構造を決定した。 (2) 結晶表面、界面の超微細構造:Te蒸着薄膜の粒子の表面プロファイル像での観察を例にして、側表面の単原子層の膜厚方向のステップの長さも焦点の異なる像を撮影し、計算像と比較解析することによって決定できることを示した。また、(010)、(011)表面、結晶粒界の構造も原子的レベルで決定した。 (3) 不規則性構造:非晶質セレン蒸着薄膜の電子顕微鏡観察中の結晶化と分解の過程を観察し、非晶質セレンの構造を計算機で作成し、その電子顕微鏡像、電子回折像と実験像との比較から膜の構造とその変化を考察した。
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[Publications] S.Sekimoto: Proc.IVth Asia-Pacific Conference and Workshop on Electron Microscopy,Bangkok,1988. 61-62 (1988)
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[Publications] M.Shiojiri: Proc.IVth Asia-Pacific Conference and Workshop on Electron Microscopy,Bangkok,1988. 155-156 (1988)
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[Publications] M.Shiojiri: Proc.IVth Asia-Pacific Conference and Workshop on Electron Microscopy,Bangkok,1988. 169-170 (1988)
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[Publications] M.Shiojiri: Proc.IVth Asia-Pacific Conference and Workshop on Electron Microscopy,Bangkok,1988. 235-236 (1988)
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[Publications] M.Shiojiri: Thin Solid Films. 162. 235-246 (1988)
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[Publications] M.Shiojiri: JEOL news. 26E. 2-7 (1988)
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[Publications] 塩尻詢: 日本電子ニュース. 28. 2-7 (1988)
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[Publications] M.Shiojiri: In:Recent Development of Electron Microscopy 1987 Proc.4th Chainese-Japanese Electron Microscopy Seminar,Kunming,1987. 33-38 (1988)
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[Publications] M.Shiojiri: J.Electron Microscopy Technique. 12. 1-16 (1989)
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[Publications] M.Shiojiri: Bul.Inst.Chem.Res.Kyoto Univ.(1989)
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[Publications] M.Shiojiri: Ultramicroscopy.(1989)
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[Publications] M.Shiojiri: J.Electron Microscopy.
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[Publications] M.Shiojiri: Proc.5th Chainese-Japanese Electron Microscopy Seminar,Ulumuqi,1989.