放電励起による真空紫外希ガスエキシマレーザーの開発

1987 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 62550042
• Research Institution: Osaka Prefecture University
• Principal Investigator: 佐々木 亘 大阪府立大学, 工学部, 講師 (30081300)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 黒沢 宏 大阪府立大学, 工学部, 助手 (80109892)
• Keywords: エキシマレーザー / 希ガスエキシマレーザー / 真空紫外レーザー / 放電励起エキシマスペクトル

Research Abstract

本年度は初年度であったので, まず自作の小型放電管によるエキシマ生成の実験を行い, 次の成果が得られた.
1.放電励超によるアルゴンエキシマの生成を我国で始めて確認した. 真空紫外分光により, アルゴンエキシマからの発光を観測し, エキシマの生成を確かめた.
2.アルゴンエキシマの連続スペクトルを観測した. 90mmから146mmにわたる広い連続スペクトルが得られた. これは, 電子ビーム励超の場合よりスペクトル幅が広いことがわかった.
3.エキシマ生成の圧力依存性 100mmHg以上のアルゴン圧で明確なエキシマの生成が認められた. 圧力の増加とともに, 生成数が増加するが, アーク放電が最大使用圧力を限定することがわかった.
以上の実験結果を基礎に, 予定通り放電管を設計製作した. その特徴は下記のようなものである.
1.長い放電長: 電子ビーム励起より圧力制限条件が厳しいので, 最高利得が低く押えられることが予想される. これを補う方法として, 励起長を1mと電子ビームの2.5倍にした.
2.予備電離方式: 当初予想した以上に予備電離の重要性が大きいので, 紫外自動予備電離およびコロナ予備電離以外の種々の予備電離方式が実験できるように融通性をもたせた.
現在, この放電管を用いて, エキシマの生成機構の解明, 利得の測定などを行っている.