1988 Fiscal Year Annual Research Report
地域電子技術者と学内の共同利用半導体集積回路機能デバイス試作研究システムの開発
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62880035
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| Research Institution | Miyagi National College of Technology (M.N.C.T.) |
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Principal Investigator |
唐澤 信司 宮城高専, 電気工学科, 教授 (10042243)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
東山 尚稔 日本電気, 民生LSI事業部, 技術課長
佐々木 〓彦 宮城高専, 電気工学科, 助教授 (50026308)
八木 正昭 宮城高専, 電気工学科, 教授 (80005371)
小枝 昌造 宮城高専, 電気工学科, 教授 (30042229)
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| Keywords | 地域電子技術者 / 工業教育 / 公開講座 / 産学交流 / 試作研究 / 半導体集積回路 / 半導体機能素子 / 研究システム |
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| Research Abstract |
63年度は、半導体センサ素子の製作を中心とした公開講座を実施し、温度センサ組込み型シリコン拡散抵抗ヒーターの開発等の共同研究を行なった。
まず公開講座は、第1回目と同様にして昭和63年7月26日より8月4日までの9日間にわたり開催した。第2回目は講師8名、実験補助者7名。受講者6名で第1回目より盛大であった。試作素子は応力集中型拡散抵抗加重センサと応力集中型MOS-FET加重センサであった。
試作した拡散抵抗ならびにMOS型トランジスタの電気的特性は直ち測定された。しかし加重特性は試験装置の試作が重ねられていた事情で、研究としては温度制御機能素子の開発の分野でいくつかの成果が得られた。それらは別紙の4編の研究論文にまとめられた。
研究技術教科書としては、次の項目がまとめられた。
1.半導体制御機能素子
1.1 半導体温度センサ
1.2 半導体ストレインゲージ
2.試作研究におけるコンピュータ利用技術
2.1 プロッターのコンピュータ制御
2.2 測定器のコンピュータ制御
3.研究発表の手法
3.1 研究発表の目的
3.2 研究発表の実際
本企画によって得られた成果は別紙の研究発表一覧のみならず、波及効果として学生の学会講演件数の増加、あるいは卒業研究論文の質の向上に貢献した。本研究はスタッフのみならず、受講された電子技術者あるいは波及効果として地域に研究心の振興にも寄与した。
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[Publications] 唐澤信司: みやぎ産業科学. 2号. 13-16 (1988)
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[Publications] 唐澤信司: 第34回半導体集積回路技術シンポジウム. 85-90 (1988)
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[Publications] 唐澤信司,桑島健次,工藤治夫: 昭和63年度電気関係学会東北支部連合大会. 226 (1988)
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[Publications] 赤間朋子,桑島健次: 昭和63年度電子情報通信学会学生会研究発表会論文集. 19. 36 (1988)
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[Publications] 小野寺朗: 昭和63年度電子情報通信学会学生会研究発表会論文集. 19. 37 (1988)
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[Publications] 唐澤信司: 1989年度電子情報通信学会春季全国大会講演論文集. C-240 (1989)
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[Publications] 唐澤信司: "半導体センサの製作" 宮城工業高等専門学校電気工学科, 1-56 (1988)
